控制系统、控制方法以及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种控制系统、控制方法以及基板处理装置，能够恰当地对装置进行操作。控制对基板进行处理的基板处理装置的控制系统具有：第一终端和第二终端，所述第一终端和所述第二终端配置于与所述基板处理装置相同的场所，从用户处接受针对所述基板处理装置进行的控制的指示；第三终端，其配置于与所述基板处理装置不同的场所，从用户处接受针对所述基板处理装置进行的控制的指示；以及控制装置，其在探测到所述基板处理装置的异常的情况下，将所述第三终端对所述基板处理装置进行的控制设为无效。设为无效。设为无效。

【技术实现步骤摘要】
控制系统、控制方法以及基板处理装置


[0001]本公开涉及一种控制系统、控制方法以及基板处理装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中公开了一种设定为半导体制造装置接受对半导体制造装置进行操作控制的多个终端中的发送了排他请求的仅一个终端的操作控制的专有状态的系统。根据专利文献1，能够减少操作者在操作上的混乱。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2003
‑
037048号公报

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]本公开提供一种能够恰当地进行针对装置的操作的技术。
[0008]用于解决问题的方案
[0009]本公开的一个方式的控制系统是控制对基板进行处理的基板处理装置的控制系统，所述控制系统具有：第一终端和第二终端，所述第一终端和所述第二终端配置于与所述基板处理装置相同的场所，从用户处接受对所述基板处理装置进行的控制的指示；第三终端，其配置于与所述基板处理装置不同的场所，从用户处接受对所述基板处理装置进行的控制的指示；以及控制装置，其在探测到所述基板处理装置的异常的情况下，使所述第三终端对所述基板处理装置的控制设为无效。
[0010]专利技术的效果
[0011]根据本公开，能够恰当地对装置进行操作。
附图说明
[0012]图1是表示实施方式所涉及的控制系统的结构例的图。
[0013]图2A是表示实施方式所涉及的控制装置的硬件结构例的图。
[0014]图2B是表示实施方式所涉及的基板处理装置的一例的图。
[0015]图3是表示实施方式所涉及的控制装置的功能结构的一例的图。
[0016]图4是表示实施方式所涉及的控制系统的处理的一例的序列图。
[0017]图5A是说明实施方式所涉及的主终端、子终端以及远程终端的显示画面的一例的图。
[0018]图5B是说明实施方式所涉及的手持终端的显示画面的一例的图。
[0019]附图标记说明
[0020]1：控制系统；10A：主终端；10B：子终端；10C：手持终端；10D：远程终端；20：控制装置；21：异常探测部；22：异常时切换部；23：接受部；24：切换部；25：控制部；30：基板处理装
置；31：传递模块；32：加载互锁真空模块；33A：工艺模块；33B：工艺模块；33C：工艺模块；40A：第一开关；40B：第二开关；40C：第三开关；301A：端口；301B：端口；301C：端口；301D：端口。
具体实施方式
[0021]下面，参照附图来说明本公开的实施方式。此外，在本说明书和附图中，有时通过对实质上相同的构成要素标注相同的标记来省略重复的说明。
[0022]<系统结构>
[0023]图1是表示实施方式所涉及的控制系统1的结构例的图。根据实施方式所涉及的控制系统1，能够恰当地对装置进行操作。下面，说明控制系统1控制基板处理装置的例子，该基板处理装置对平板显示器(Flat Panel Display：FPD)用的基板进行处理。此外，公开的控制系统1能够控制各种装置。
[0024]在图1中，控制系统1具有主终端10A(“第一终端”的一例。)、子终端10B(“第二终端”的一例。)、手持终端10C(“第四终端”的一例。)、远程终端10D(“第三终端”的一例。)、控制装置20以及基板处理装置30。此外，下面，在无需区分主终端10A、子终端10B、手持终端10C以及远程终端10D的各终端的情况下，简称为“终端10”。
[0025]另外，控制系统1还具有未图示的第一开关40A、第二开关40B、第三开关40C(下面，在无需区分的情况下，简称为“开关40”)。终端10与控制装置20可以经由网络N连接，并且，及控制装置20与开关40可以经由网络N连接。此外，主终端10A、子终端10B、手持终端10C以及远程终端10D的数量不限定于图1的例子。
[0026]终端10为从用户(维修员、工程师等)处接受用于控制基板处理装置30的操作的装置。终端10可以具有计算机。
[0027]另外，终端10也可以不具有计算机。在该情况下，终端10可以具有显示从控制装置20接收到的显示画面的信息的监视器或触摸面板显示器。另外，终端10可以具有用于接受来自用户的操作的键盘和鼠标、或触摸面板显示器。
[0028](关于主终端10A)
[0029]主终端10A和子终端10B例如可以设置(配置)于与基板处理装置30相同的场所(现场、本地)。在该情况下，作为与基板处理装置30相同的场所，例如主终端10A和子终端10B可以设定于例如设置基板处理装置30的工厂等设施内。另外，作为与基板处理装置30相同的场所，主终端10A和子终端10B例如也可以设定于设置基板处理装置30的清洁室内。
[0030]主终端10A例如可以设置于控制装置20的附近。主终端10A可以不具有计算机，具有键盘、鼠标以及触摸面板显示器。在该情况下，主终端10A的键盘和鼠标可以通过USB(Universal Serial Bus：通用串行总线)线缆来与控制装置20连接。另外，主终端10A的触摸面板显示器例如显示通过DVI(Digital Visual Interface：数字视频接口)线缆或传输模拟RGB分量视频信号的VGA线缆等显示器线缆从控制装置20接收到的显示画面的信息，并且通过RS
‑
232C线缆将从用户输入的信息传输至控制装置20。
[0031](关于子终端10B)
[0032]子终端10B例如可以设置于该设施内的与主终端10A分离的场所。子终端10B可以不具有计算机，具有触摸面板显示器。在该情况下，子终端10B的触摸面板显示器与控制装
置20例如可以通过传输模拟RGB分量视频信号的VGA线缆、传输从用户输入的信息(输入信号)的RS
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232C线缆、将该视频信号和该输入信号传输至IP网络的装置、以及LAN(Local Area Network：局域网)等连接。
[0033](关于手持终端10C)
[0034]手持终端10C例如可以为能够在设置基板处理装置30的工厂等设施内利用的便携式终端。手持终端10C例如通过LAN线缆、PLC(Power Line Communications：电力线通信)用线缆以及RS
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232C线缆等线缆(有线)而与基板处理装置30连接，经由基板处理装置30来与控制装置20进行通信。此外，手持终端10C可以通过无线LAN、BLE(Bluetooth(注册商标)Low Energy：低功耗蓝牙)及NFC(Near field communication：近场通信)等近距离无线通信而与基板处理装置30连接，经由基板处理装置30来与控制装置20进行通信。
[0035](关于远程终端10D)
[0036]远本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种控制系统，控制对基板进行处理的基板处理装置，所述控制系统具有：第一终端和第二终端，所述第一终端和所述第二终端配置于与所述基板处理装置相同的场所，从用户处接受对所述基板处理装置进行的控制的指示；第三终端，其配置于与所述基板处理装置不同的场所，从用户处接受对所述基板处理装置进行的控制的指示；以及控制装置，其在探测到所述基板处理装置的异常的情况下，将所述第三终端对所述基板处理装置进行的控制设为无效。2.根据权利要求1所述的控制系统，其特征在于，所述控制装置在探测到所述基板处理装置的异常的情况下，将所述第一终端和所述第二终端中的任一方对所述基板处理装置进行的控制设为有效。3.根据权利要求1或2所述的控制系统，其特征在于，所述控制装置使所述第三终端显示表示所述第一终端和所述第二终端中的至少一方对所述基板处理装置进行的控制的结果的信息。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的控制系统，其特征在于，还具有：第一开关，其用于将所述第二终端和所述第三终端对所述基板处理装置进行的控制设为无效；以及第二开关，其用于将所述第一终端和所述第三终端对所述基板处理装置进行的控制设为无效，在所述第一开关先于所述第二开关被进行了操作的情况下，所述控制装置将所述第一终端对所述基板处理装置进行的控制设为有效并将所述第二终端对所述基板处理装置进行的控制设为无效，并在所述第二开关被进行了操作时向用户通知表示所述第一开关已先被进行了操作的信息。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的控制系统，其特征在于，还具有：第三开关，其用于将所述第一终端和所述第二终端对所述基板处理装置进行的控制设为无效；以及通知装置，其与所述第三开关进行了对应，所述控制装置在探测到所述基板处理装置的异常的情况下，将所述第三开关的操作设为无效，在所述基板处理装置的异常恢复了的情况下，通过所述通知装置向用户通知所述第三开关的操作变成有效。6.根据权利要求5所述的控制系统，其特征在于，在所述基板处理装置的异常恢复了的情况下，所述控制装置通过所述通知装置向用户通知所述第三开关的操作变成有效，在...

【专利技术属性】
技术研发人员：高桥秀树，小泉真，富田尚宏，加茂信一，女部田雄总，小川纯一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：