一种清洗装置制造方法及图纸

本申请公开了一种清洗装置，属于半导体清洁技术领域，该清洗装置包括：壳体，所述壳体形成清洁腔室；定位机构，定位机构的夹持部设置在清洁腔室内，夹持部用于夹持待清洁件；出液单元，出液单元的出液口设置在清洁腔室内，出液口中流出的清洁液能够流至待清洁件；擦拭机构，擦拭机构包括擦拭头，擦拭头设置在清洁腔室内，并能够接触待清洁件；出气机构，出气机构的出气口设置在清洁腔室内，出气机构通过出气口向待清洁件吹气。该清洗装置能自动清洗并吹干待清洁件，减少不合格品产出，提高对待清洁件的清洁效率和擦拭效果，减少人力、降低成本，提高待清洁件如晶片的清洁程度，以满足清洁度要求高的待清洁件的需求。要求高的待清洁件的需求。要求高的待清洁件的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种清洗装置


[0001]本申请涉及一种清洗装置，属于半导体清洁


技术介绍

[0002]在工业生产中，很多设备部件都会被飞溅上污渍，例如一些设备上装有圆型的灯罩来提供照明，并且配有圆形的玻璃透明镜片，在加工零件时会使用切削液、机油、煤油等，机械加工时油液飞溅到镜片上会存留油污，每加工完一件产品镜片存在油污必须及时清理，如果不及时清理影响照明及观察易产出不合格产品。
[0003]现有的操作是通过人工清理、擦拭存在镜片表面的油污，具体是工人使用浸润有清洁液的纸或软布，对镜片进行擦拭清洁，但是在人工擦拭过程中存在擦拭后再污染的问题，并且容易造成镜片损坏。故人工清洁方法工作强度大、擦拭效果差、效率低、存在安全隐患、并且成本高，因此有必要设计一种清洗装置，以克服上述问题。

技术实现思路

[0004]为了解决上述问题，本申请提出了一种清洗装置，该清洗装置能自动清洗并吹干待清洁件，待清洁件经清洗吹干后表面不会存留污渍及清洁液，并且吹干过程还可以吹除待清洁件表面颗粒，减少不合格品产出，提高对待清洁件的清洁效率和擦拭效果，减少人力、本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗装置，其特征在于，包括：壳体，所述壳体形成清洁腔室；定位机构，所述定位机构的夹持部设置在所述清洁腔室内，所述夹持部用于夹持待清洁件；出液单元，所述出液单元的出液口设置在所述清洁腔室内，所述出液口中流出的清洁液能够流至所述待清洁件；擦拭机构，所述擦拭机构包括擦拭头，所述擦拭头设置在所述清洁腔室内，并能够接触所述待清洁件；出气机构，所述出气机构的出气口设置在所述清洁腔室内，所述出气机构通过所述出气口向所述待清洁件吹气。2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述定位机构包括第一控制臂，所述夹持部设置在所述第一控制臂末端，所述第一控制臂能够伸缩和/或旋转；和/或所述擦拭机构包括第二控制臂，所述擦拭头设置在所述第二控制臂末端，所述第二控制臂能够伸缩和/或旋转。3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述定位机构包括第一升降部，所述第一升降部、第一控制臂、夹持部依次连接，所述第一升降部带动所述第一控制臂和夹持部上升和下降；和/或所述擦拭机构包括第二升降部，所述第二升降部、第二控制臂、擦拭头依次连接，所述第二升降部能够带动所述第二控制臂和擦拭头上升和下降。4.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述定位机构包括第一基座，所述第一控制臂设置在第一基座上；所述擦拭机构包括第二基座，所述第二控制臂设置在第二基座上；所述夹持部和擦拭头设置于同一高度上，以使得所述擦拭头能够接触所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张超，李磊磊，史建伟，张耀文，
申请(专利权)人：山东天岳先进科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：