一种便于装载的晶圆装载支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于装载的晶圆装载支架，包括本体和固定底板，还包括能够对测距仪进行防护的防护结构、增加安装稳定性的安装结构和能够便于装载晶圆的夹持结构，所述固定底板顶端的一侧安装有本体，且固定底板顶端的另一侧安装有安装盒，所述安装盒顶端的中间位置处安装有驱动电机，且安装盒的内部安装有螺纹杆。本实用新型专利技术通过安装有支撑杆和超声波测距仪，当放置板在下降时会对活动板施加压力，使活动板底端的复位弹簧受力并缩短长度，而铰接杆角度发生改变并推动连接块向一侧移动，连接块在移动的过程中能够推动支撑杆左右移动，当支撑杆向两侧移动到极限时，放置板无法继续下降，从而实现对超声波测距仪的保护。从而实现对超声波测距仪的保护。从而实现对超声波测距仪的保护。

【技术实现步骤摘要】
一种便于装载的晶圆装载支架


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体为一种便于装载的晶圆装载支架。

技术介绍

[0002]随着社会的发展，集成电路产品使用的越来越频繁，而晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
[0003]随着晶圆装载支架的不断安装使用，在使用过程中发现了下述问题：
[0004]1.传统的晶圆装载支架在使用的过程中，无法将晶圆进行夹持保护放置，同时不便于进行晶圆的装载。
[0005]2.传统的晶圆装载支架不便于进行支架本体的安装，造成装置灵活性低。
[0006]3.传统的晶圆装载支架无法对支架内部的测距仪进行保护，容易造成测距仪的受损。
[0007]所以需要针对上述问题设计一种便于装载的晶圆装载支架。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于提供一种便于装载的晶圆装载支架，以解决上述
技术介绍
中提出现有无法将晶圆进行夹持保护放置、不便于进行支架本体的安装和无法对支架本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于装载的晶圆装载支架，包括本体（1）和固定底板（8），其特征在于：还包括能够对测距仪进行防护的防护结构、增加安装稳定性的安装结构（12）和能够便于装载晶圆的夹持结构（15）；所述固定底板（8）顶端的一侧安装有本体（1），且固定底板（8）顶端的另一侧安装有安装盒（16），所述安装盒（16）顶端的中间位置处安装有驱动电机（17），且安装盒（16）的内部安装有螺纹杆（13），所述驱动电机（17）的输出端延伸至安装盒（16）的内部并安装有螺纹杆（13），且螺纹杆（13）的外侧套设有活动块（14），所述活动块（14）的一侧延伸至本体（1）的内部并安装有放置板（2），且夹持结构（15）安装于放置板（2）顶端的两侧；所述安装结构（12）安装于固定底板（8）外部的两侧；所述本体（1）内部底端的中间位置处安装有超声波测距仪（7），所述防护结构安装于本体（1）内部的底端。2.根据权利要求1所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述防护结构包括活动板（3），所述活动板（3）安装于本体（1）内部两侧之间的下端，且活动板（3）底端的两侧均铰接有铰接杆（4），所述本体（1）内部两侧的活动板（3）下方设置有滑杆（6），且活动板（3）外部的两侧均套设有连接块（18），所述连接块（18）与铰接杆（4）相铰接，且连接块（18）的底端安装有支撑杆（5）。3.根据权利要求1所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述本体（1）内部底端的两侧均开设有滑轨（11），且支撑杆（5）的底端均设置有与滑轨（11）相匹配的滑块（10），同时本...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑东来，缪小波，卞志佳，
申请(专利权)人：江苏嘉兆电子有限公司，
类型：新型
国别省市：