一种便于装载的晶圆装载支架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于装载的晶圆装载支架，包括本体和固定底板，还包括能够对测距仪进行防护的防护结构、增加安装稳定性的安装结构和能够便于装载晶圆的夹持结构，所述固定底板顶端的一侧安装有本体，且固定底板顶端的另一侧安装有安装盒，所述安装盒顶端的中间位置处安装有驱动电机，且安装盒的内部安装有螺纹杆。本实用新型专利技术通过安装有支撑杆和超声波测距仪，当放置板在下降时会对活动板施加压力，使活动板底端的复位弹簧受力并缩短长度，而铰接杆角度发生改变并推动连接块向一侧移动，连接块在移动的过程中能够推动支撑杆左右移动，当支撑杆向两侧移动到极限时，放置板无法继续下降，从而实现对超声波测距仪的保护。从而实现对超声波测距仪的保护。从而实现对超声波测距仪的保护。

【技术实现步骤摘要】
一种便于装载的晶圆装载支架


[0001]本技术涉及晶圆加工
，具体为一种便于装载的晶圆装载支架。

技术介绍

[0002]随着社会的发展，集成电路产品使用的越来越频繁，而晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。
[0003]随着晶圆装载支架的不断安装使用，在使用过程中发现了下述问题：
[0004]1.传统的晶圆装载支架在使用的过程中，无法将晶圆进行夹持保护放置，同时不便于进行晶圆的装载。
[0005]2.传统的晶圆装载支架不便于进行支架本体的安装，造成装置灵活性低。
[0006]3.传统的晶圆装载支架无法对支架内部的测距仪进行保护，容易造成测距仪的受损。
[0007]所以需要针对上述问题设计一种便于装载的晶圆装载支架。

技术实现思路

[0008]本技术的目的在于提供一种便于装载的晶圆装载支架，以解决上述
技术介绍
中提出现有无法将晶圆进行夹持保护放置、不便于进行支架本体的安装和无法对支架内部的测距仪进行保护的问题。
[0009]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于装载的晶圆装载支架，包括本体和固定底板，还包括能够对测距仪进行防护的防护结构、增加安装稳定性的安装结构和能够便于装载晶圆的夹持结构；
[0010]所述固定底板顶端的一侧安装有本体，且固定底板顶端的另一侧安装有安装盒，所述安装盒顶端的中间位置处安装有驱动电机，且安装盒的内部安装有螺纹杆，所述驱动电机的输出端延伸至安装盒的内部并安装有螺纹杆，且螺纹杆的外侧套设有活动块，所述活动块的一侧延伸至本体的内部并安装有放置板，且夹持结构安装于放置板顶端的两侧；
[0011]所述安装结构安装于固定底板外部的两侧；
[0012]所述本体内部底端的中间位置处安装有超声波测距仪，所述防护结构安装于本体内部的底端。
[0013]优选的，所述防护结构包括活动板，所述活动板安装于本体内部两侧之间的下端，且活动板底端的两侧均铰接有铰接杆，所述本体内部两侧的活动板下方设置有滑杆，且活动板外部的两侧均套设有连接块，所述连接块与铰接杆相铰接，且连接块的底端安装有支撑杆。
[0014]优选的，所述本体内部底端的两侧均开设有滑轨，且支撑杆的底端均设置有与滑轨相匹配的滑块，同时本体和支撑杆之间通过滑块和滑轨滑动连接构成滑动结构。
[0015]优选的，所述活动板底端两端的中间位置处均焊接有复位弹簧，且复位弹簧与滑
杆之间呈焊接一体化结构。
[0016]优选的，所述安装结构包括凸块、推进杆、推进板和安装槽，所述安装槽套设于固定底板两侧的中间位置处，且安装槽底端的中间位置处转动连接有推进杆，所述推进杆的顶端延伸至安装槽的内部并安装有推进板，且推进板的顶端等间距安装有凸块。
[0017]优选的，所述安装槽呈的横截面呈C形，且安装槽关于固定底板水平方向的中轴线对称分布。
[0018]优选的，所述夹持结构包括柔性垫、固定板、连接弹簧、放置槽和夹持板，所述固定板安装于放置板顶端的两侧，且固定板的一侧等间距焊接有连接弹簧，所述连接弹簧的一侧安装有夹持板，且夹持板的一侧安装有柔性垫，所述柔性垫的一侧等间距开设有放置槽。
[0019]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0020]（1）、通过安装有安装槽、固定底板、推进杆和推进板，将安装槽套设于固定底板与桌面的外部，接着通过转动推进杆推动向推进板顶端移动，通过推进板能够减少桌面与安装槽之间的距离，从而将安装槽固定在固定底板的外侧，增加装置使用时的稳定性；
[0021]（2）、通过安装有放置板、活动板、复位弹簧、铰接杆、连接块、支撑杆和超声波测距仪，当放置板在下降时会对活动板施加压力，使活动板底端的复位弹簧受力并缩短长度，而铰接杆角度发生改变并推动连接块向一侧移动，连接块在移动的过程中能够推动支撑杆左右移动，当支撑杆向两侧移动到极限时，放置板无法继续下降，从而实现对超声波测距仪的保护，增加装置使用时的灵活性；
[0022]（3）、通过安装有夹持板、连接弹簧、固定板、柔性垫和放置槽，通过晶圆自身的宽度对夹持板施加压力，使夹持板一侧的连接弹簧受力并缩短长度，接着连接弹簧向固定板移动，使得柔性垫之间的距离增加，接着将晶圆卡合放置在放置槽的内部，再通过连接弹簧自身的弹力能够将放置槽恢复至初始的位置并且进行夹持放置，便于装载晶圆，增加使用时的灵活性。
附图说明
[0023]图1为本技术正面剖视结构示意图；
[0024]图2为本技术侧视剖视结构示意图；
[0025]图3为本技术正视结构示意图；
[0026]图4为本技术图1中A处放大结构示意图。
[0027]图中：1、本体；2、放置板；3、活动板；4、铰接杆；5、支撑杆；6、滑杆；7、超声波测距仪；8、固定底板；9、复位弹簧；10、滑块；11、滑轨；12、安装结构；1201、凸块；1202、推进杆；1203、推进板；1204、安装槽；13、螺纹杆；14、活动块；15、夹持结构；1501、柔性垫；1502、固定板；1503、连接弹簧；1504、放置槽；1505、夹持板；16、安装盒；17、驱动电机；18、连接块。
具体实施方式
[0028]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]实施例1：请参阅图1
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4，一种便于装载的晶圆装载支架，包括本体1和固定底板8，还包括能够对测距仪进行防护的防护结构、增加安装稳定性的安装结构12和能够便于装载晶圆的夹持结构15；
[0030]固定底板8顶端的一侧安装有本体1，且固定底板8顶端的另一侧安装有安装盒16，安装盒16顶端的中间位置处安装有驱动电机17，该驱动电机17的型号可为RDX
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V36F5E13，驱动电机17的输入端通过导线与启动开关的输出端电连接，且安装盒16的内部安装有螺纹杆13，驱动电机17的输出端延伸至安装盒16的内部并安装有螺纹杆13，且螺纹杆13的外侧套设有活动块14，活动块14的一侧延伸至本体1的内部并安装有放置板2，且夹持结构15安装于放置板2顶端的两侧；
[0031]安装结构12安装于固定底板8外部的两侧；
[0032]本体1内部底端的中间位置处安装有超声波测距仪7，防护结构安装于本体1内部的底端；
[0033]请参阅图1
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4，一种便于装载的晶圆装载支架还包括长度调节结构，防护结构包括活动板3，活动板3安装于本体1内部两侧之间的下端，且活动板3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于装载的晶圆装载支架，包括本体（1）和固定底板（8），其特征在于：还包括能够对测距仪进行防护的防护结构、增加安装稳定性的安装结构（12）和能够便于装载晶圆的夹持结构（15）；所述固定底板（8）顶端的一侧安装有本体（1），且固定底板（8）顶端的另一侧安装有安装盒（16），所述安装盒（16）顶端的中间位置处安装有驱动电机（17），且安装盒（16）的内部安装有螺纹杆（13），所述驱动电机（17）的输出端延伸至安装盒（16）的内部并安装有螺纹杆（13），且螺纹杆（13）的外侧套设有活动块（14），所述活动块（14）的一侧延伸至本体（1）的内部并安装有放置板（2），且夹持结构（15）安装于放置板（2）顶端的两侧；所述安装结构（12）安装于固定底板（8）外部的两侧；所述本体（1）内部底端的中间位置处安装有超声波测距仪（7），所述防护结构安装于本体（1）内部的底端。2.根据权利要求1所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述防护结构包括活动板（3），所述活动板（3）安装于本体（1）内部两侧之间的下端，且活动板（3）底端的两侧均铰接有铰接杆（4），所述本体（1）内部两侧的活动板（3）下方设置有滑杆（6），且活动板（3）外部的两侧均套设有连接块（18），所述连接块（18）与铰接杆（4）相铰接，且连接块（18）的底端安装有支撑杆（5）。3.根据权利要求1所述的一种便于装载的晶圆装载支架，其特征在于：所述本体（1）内部底端的两侧均开设有滑轨（11），且支撑杆（5）的底端均设置有与滑轨（11）相匹配的滑块（10），同时本...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑东来，缪小波，卞志佳，
申请(专利权)人：江苏嘉兆电子有限公司，
类型：新型
国别省市：