下载一种便于装载的晶圆装载支架的技术资料

文档序号:30196890

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本实用新型公开了一种便于装载的晶圆装载支架,包括本体和固定底板,还包括能够对测距仪进行防护的防护结构、增加安装稳定性的安装结构和能够便于装载晶圆的夹持结构,所述固定底板顶端的一侧安装有本体,且固定底板顶端的另一侧安装有安装盒,所述安装盒顶端...
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