【技术实现步骤摘要】
一种使用等离子转移弧加热的高温蒸发器
[0001]本技术涉及高温蒸发器
，具体涉及一种使用等离子转移弧加热的高温蒸发器。
技术介绍
[0002]在使用蒸发冷凝气相法制备各种粉体时，需要使用到高温蒸发器，现有的高温蒸发器较多的使用电加热，如中频加热、电阻加热、等离子电弧加热等，或几种加热方法配合使用，特殊领域还会使用激光加热，而不同的加热方法对高温蒸发器结构有不同的一些结构要求。如中频加热需要坩埚或坩埚内被加热体导电并在坩埚外侧环绕安装；电阻加热需要自身结构耐温较高，可以坩埚底部或周边安装，也可以在坩埚顶部安装插入被加热体中进行接触加热；等离子电弧加热需要在电极间产生等离子电弧从高温蒸发器上方向下喷射，在等离子弧下方设置被加热体。等离子非转移弧高温蒸发器结构相对简单，可以不需要坩埚直接向弧中间喷射原料，原料在经过等离子非转移弧时被加热，但加热能量相对较小；等离子转移弧需要两个相间隔的电极，等离子转移弧枪为阴极，被加热体为阳极，此加热结构的优点是加热能量高，高温蒸发器内部温度高，特别适合于沸点高的材料制备成粉体时使用，但是
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种使用等离子转移弧加热的高温蒸发器，其特征在于：包括壳体、坩埚、转移弧枪和电源，所述坩埚设置于壳体的内腔中，所述坩埚由坩埚本体和安装于坩埚本体上方的坩埚盖组成，坩埚盖与坩埚本体之间间隔设置有若干个垫块，相邻两个垫块之间形成载流气入口，载流气入口与设置在坩埚本体外侧的载流气输入预热通道连接，载流气输入预热通道的端部连接有导气通道，导气通道延伸至壳体外侧，所述转移弧枪安装于壳体上方且其下端延伸至坩埚盖内侧，坩埚本体底部设置有导电管，导电管内安装有导电棒，导电管底端安装有将导电棒固定密封的导电环，导电棒、转移弧枪分别与电源电性连接。2.如权利要求1所述的一种使用等离子转移弧加热的高温蒸发器，其特征在于：所述坩埚为单层结构坩埚、半熔式结构坩埚、多层异质结构坩埚及多层同质结构坩埚中任意一种。3.如权利要求2所述的一种使用等离子转移弧加热的高温蒸发器，其特征在于：所述坩埚为多层异质结构坩埚，包括位于最外层的支撑固定坩埚，支撑固定坩埚内部设置有一至四层陶瓷坩埚，每相邻两层陶瓷坩埚之间、最外层的陶瓷坩埚与支撑固定坩埚之间均填充有陶瓷粉。4.如权利要求1所述的一种使用等离子转移弧加热的高温蒸发器，其特征在于：所述坩埚本体为漏斗状结构，坩埚盖为下大上小内凹的圆拱状或锥台状结构。5.如权利要求1所述的一种使用等离子转移弧加热...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵登永，彭家斌，余善海，潘经珊，张仁东，
申请(专利权)人：江苏博迁新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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