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本实用新型公开了一种使用等离子转移弧加热的高温蒸发器,包括壳体、坩埚、转移弧枪和电源,坩埚设置于壳体的内腔中,坩埚由坩埚本体和安装于坩埚本体上方的坩埚盖组成,坩埚盖与坩埚本体之间间隔设置有若干个垫块,相邻两个垫块之间形成载流气入口,载流气入...该专利属于江苏博迁新材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏博迁新材料股份有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种使用等离子转移弧加热的高温蒸发器,包括壳体、坩埚、转移弧枪和电源,坩埚设置于壳体的内腔中,坩埚由坩埚本体和安装于坩埚本体上方的坩埚盖组成,坩埚盖与坩埚本体之间间隔设置有若干个垫块,相邻两个垫块之间形成载流气入口,载流气入...