一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法技术

一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法，其特征是：根据金属电加热丝形状，设计制作第一掩膜板和第二掩膜板，第一掩膜板用于刻蚀电加热丝内部区域，第二掩膜板用于刻蚀电加热丝外部区域；同时制作平板式金属材质阴极；在硅胶薄膜上贴覆金属箔片，形成待刻蚀电加热薄膜；将第一掩膜板压紧待刻蚀电加热薄膜，对加热薄膜上的电加热丝进行刻蚀；然后采用第二掩模版替换掉第一掩模版，再次对电加热丝进行刻蚀，最终获得所需电加热丝线路。本发明专利技术环保性好，掩模板可重复使用，且无需对每一个金属箔片贴覆感光胶和曝光，工艺简单，能够有效提高生产效率、降低成本、减少环境污染。减少环境污染。减少环境污染。

【技术实现步骤摘要】
一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法


[0001]本专利技术涉及一种柔性电加热薄膜的生产，尤其涉及一种大面积片状金属线路加热薄膜的电解刻蚀生产方法。具体地说是一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法。

技术介绍

[0002]柔性电加热薄膜是一种面状发热的薄膜，具有可弯曲、能折叠、加热效率高等优势，在医疗、半导体、航空航天等很多领域中得到应用。柔性电加热薄膜结构包含有金属加热层和绝缘隔热层, 金属加热层紧密贴覆在绝缘隔热层之上。其中金属加热层为片状金属线路电加热丝，厚度在数十微米至一百余微米之间，一般采用铁镍合金或者不锈钢薄片加工制备而成。绝缘隔热层一般采用硅胶薄膜。
[0003]目前柔性电加热薄膜的一种常见生产方法为：先将金属箔片（铁镍合金或不锈钢箔片）贴覆在硅胶薄膜上，形成待刻蚀电加热膜。再在金属箔片上贴敷感光膜，对感光膜进行曝光显出需要蚀刻去除的金属部分，感光膜未曝光部分则覆盖着需要保留的金属电阻丝线路。然后将此电加热膜整体放入腐蚀机中进行化学腐蚀，腐蚀液体为酸性溶液。腐蚀结束后取出加热膜并脱去感光膜，即获得成品片状柔性本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法，其特征是：包括以下步骤：步骤1、根据金属电加热丝（1）的形状尺寸，设计第一掩膜板（2）和第二掩膜板（3）的形状与尺寸；其中，第一掩膜板（2）为镂空结构，用于电解刻蚀金属电加热丝（1）所包围的内部区域（4），第一掩膜板（2）的外形尺寸超过金属箔片（6.2）的外边界（6.3）；第二掩膜板（3）也为镂空结构，用于电解刻蚀金属电加热丝（1）外部区域（5），所示外部区域一直沿伸到金属箔片（6.2）的外边界（6.3）；步骤2、采用不导电的非金属材料制作第一掩膜板（2）和第二掩膜板（3）；采用金属材料制作平板式阴极（7）；步骤3、制作待刻蚀电加热薄膜（6）：在绝缘硅胶薄膜（6.1）上贴覆金属箔片（6.2），形成待刻蚀电加热薄膜；准备好所有待刻蚀电加热薄膜；步骤4、将待刻蚀电加热薄膜（6）放置在电解工作台上，用绝缘导线（8）将金属箔片（6.2）与直流电源（9）的正极连接，绝缘导线（8）与金属箔片（6.2）的连接处为即将电解刻蚀的金属电加热丝（1）的引脚位置（1.1）；将第一掩膜板（2）放置在待刻蚀电加热薄膜（6）上、调整好位置、压紧金属箔片（6.2）；在后...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘壮，高长水，刘鑫，于晓宇，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：