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一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法技术
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文档序号:30171511
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一种基于活动掩膜板的金属电加热丝电解刻蚀方法,其特征是:根据金属电加热丝形状,设计制作第一掩膜板和第二掩膜板,第一掩膜板用于刻蚀电加热丝内部区域,第二掩膜板用于刻蚀电加热丝外部区域;同时制作平板式金属材质阴极;在硅胶薄膜上贴覆金属箔片,形成...
该专利属于南京航空航天大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京航空航天大学授权不得商用。
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