基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法技术

一种基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，属于微小零件非接触形貌测量技术领域。本发明专利技术为解决现有微小零件的三维形貌很难获得精确测量的问题。包括：将被测目标固定在三维电动平移台的z轴升降台上，视觉测头固定在二维转台上，并使被测目标的中心位于二维转台的两轴线交点处，将两轴线交点处作为坐标原点，使视觉测头的光轴通过坐标原点；控制二维转台旋转带动视觉测头绕坐标原点二维旋转扫描，实现对被测目标的三维形貌观测。本发明专利技术可实现微小零部件表面三维形貌精确测量。发明专利技术可实现微小零部件表面三维形貌精确测量。发明专利技术可实现微小零部件表面三维形貌精确测量。

【技术实现步骤摘要】
基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法


[0001]本专利技术涉及基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，属于微小零件非接触形貌测量


技术介绍

[0002]在工业和国防等行业中，经常会有微小零件三维尺寸的检测需求，对各种复杂形状的微小零件进行三维形貌检测始终是个难题。由于尺寸太小，各种基于结构光的扫描仪很难精确地测出零件的三维尺寸信息，同时各种接触式检测设备如三坐标测量机也很难实现微小零件的三维形貌测量。

技术实现思路

[0003]针对现有微小零件的三维形貌很难获得精确测量的问题，本专利技术提供一种基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法。
[0004]本专利技术的一种基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，包括，
[0005]将被测目标固定在三维电动平移台的z轴升降台上，视觉测头固定在二维转台上，并使被测目标的中心位于二维转台的两轴线交点处，将两轴线交点处作为坐标原点，使视觉测头的光轴通过坐标原点；
[0006]控制二维转台旋转带动视觉测头绕坐标原点二维旋转扫描，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，其特征在于包括，将被测目标(5)固定在三维电动平移台的z轴升降台(3)上，视觉测头(6)固定在二维转台上，并使被测目标(5)的中心位于二维转台的两轴线交点处，将两轴线交点处作为坐标原点，使视觉测头(6)的光轴通过坐标原点；控制二维转台旋转带动视觉测头(6)绕坐标原点二维旋转扫描，实现对被测目标(5)的三维形貌观测。2.根据权利要求1所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，其特征在于，所述被测目标(5)通过水平支撑架(4)固定在三维电动平移台的z轴升降台(3)上。3.根据权利要求2所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，其特征在于，所述三维电动平移台包括x轴平移台(1)、y轴平移台(2)和z轴升降台(3)，x轴平移台(1)位于底层，y轴平移台(2)安装于x轴平移台(1)的运动工作台上，x轴平移台(1)和y轴平移台(2)的运动方向互相垂直；z轴升降台(3)安装于y轴平移台(2)的运动工作台上，z轴升降台(3)的运动方向垂直于xy平面。4.根据权利要求3所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，其特征在于，水平支撑架(4)的一端固定于z轴升降台(3)的运动工作台中心，另一端连接被测目标(5)。5.根据权利要求4所述的基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢丙辉，刘炳国，刘国栋，陈凤东，甘雨，庄志涛，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：