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一种基于多轴精密运动机构的微小零件三维形貌测量方法，属于微小零件非接触形貌测量技术领域。本发明为解决现有微小零件的三维形貌很难获得精确测量的问题。包括：将被测目标固定在三维电动平移台的z轴升降台上，视觉测头固定在二维转台上，并使被测目标的中...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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