废气处理装置及其排气湿度控制方法制造方法及图纸

本申请提供一种废气处理装置及其排气湿度控制方法，用于处理半导体制程产生的废气。一种废气处理装置包括依次连通的反应腔体、水箱、水洗系统、湿度仪和废气管路；所述水洗系统设置有水泵、调节阀和温度检测仪；其中，所述水泵将所述水箱中的水抽出并通过所述调节阀进入所述水洗系统；所述温度检测仪用于检测所述水洗系统中经过水洗后的气体的温度；所述湿度仪用于检测排出所述水洗系统的气体的湿度。本申请的废气处理装置通过增加排气管路的气体水分监测，使用调节阀调节水路喷淋的开度，从而控制管路的喷水量，控制排气湿度在合理标准以下。以下。以下。

【技术实现步骤摘要】
废气处理装置及其排气湿度控制方法


[0001]本专利技术涉及泛半导体
，具体而言，涉及一种废气处理装置及其排气湿度控制方法，用于处理半导体制程产生的废气。

技术介绍

[0002]在半导体科学技术的发展中，半导体制程生产中会用到大量的有毒、腐蚀性强且易燃的特殊气体、化学品和有机溶剂等原材料，这些物质所产生的废气在冗长的排气过程中，因其气体性质可能会引发风管堵塞、管路腐蚀等，导致气体泄漏、火灾爆炸等事故，所以应先在就近的小型废气处理设备(Local Scrubber)进行处理，后再进入中央处理系统处理。
[0003]废气处理设备中会用到水给处理后的气体降温或者将溶于水的气体进行水溶处理。所以处理后的气体中会含有水分，如果气体湿度过大，当气体流经厂务排气管路时会冷凝形成水珠，使厂务排气管路存水。有腐蚀性水泄露的风险和厂务管道内部的水回流到废气处理装置的风险。
[0004]目前降低排气湿度的方式有增加气体吹扫和增加冷凝装置两种方式。
[0005]1)通过气体吹扫降低排气湿度，是在排气管路吹入大量的压缩空气，降低单位体积内气体的含水量，从而降低排气湿度，并未实际减少水汽含量，同时增加了气体的消耗量。
[0006]2)冷凝装置是在排气管通过冷却水(PCW)制造一个低于室温的环境，将气体中的水在废气处理装置内冷凝，方式排到厂务端，该方式对冷水流量要求大，降低气体湿度效果不是很明显。
[0007]在所述
技术介绍
部分，公开的上述信息仅用于加强对本申请的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术信息。

技术实现思路

[0008]本申请旨在提供一种废气处理装置及其排气湿度控制方法，用于处理半导体制程产生的废气，能够将废气处理过程中的排气湿度控制在合理标准以下。
[0009]根据本申请的一方面，提出一种废气处理装置，包括依次连通的反应腔体、水箱、水洗系统、湿度仪和废气管路；所述水洗系统设置有水泵、调节阀和温度检测仪；其中，所述水泵将所述水箱中的水抽出并通过所述调节阀进入所述水洗系统；所述温度检测仪用于检测所述水洗系统中经过水洗后的气体的温度；所述湿度仪用于检测排出所述水洗系统的气体的湿度。
[0010]根据一些实施例，所述废气处理装置还包括控制系统，所述控制系统控制所述调节阀的开度。
[0011]根据本申请的另一方面，提出一种废气处理装置的排气湿度控制方法，所述控制方法包括：标定获得在预先设定好的湿度区间内所述湿度和所述调节阀的开度的对应关
系；根据所述对应关系对所述调节阀的开度进行反比例控制，将所述湿度控制在所述湿度区间内。
[0012]根据一些实施例，所述控制方法还包括：控制所述经过水洗后的气体的温度保持稳定。
[0013]根据一些实施例，所述标定获得在预先设定好的湿度区间内所述湿度和所述调节阀的开度的对应关系的步骤包括：在水洗过程中调节所述调节阀，直至所述湿度位于预先设定好的湿度区间的下限值，记录此时所述调节阀的开度，作为第一开度；逐渐增大所述调节阀的开度，直至所述湿度达到位于预先设定好的湿度区间的上限值，记录此时所述调节阀的开度，作为第二开度；根据所述第一开度、所述湿度区间的下限值、所述第二开度和所述湿度区间的上限值获得所述湿度区间内的所述湿度和所述调节阀的开度的对应关系。
[0014]根据一些实施例，所述根据所述第一开度、所述湿度区间的下限值、所述第二开度和所述湿度区间的上限值获得所述湿度区间内的所述湿度和所述调节阀的开度的对应关系的步骤中，以所述第二开度和所述第一开度的差为第一开度差，以所述湿度区间的上限值和所述湿度区间的下限值的差为第一湿度差，并以所述第一开度差和所述第一湿度差的商作为正比例系数：其中，k(n)是正比例系数，W(n)是第二开度，Z(n)是第一开度，Y(n)是湿度区间的上限值，X(n)是湿度区间的下限值，n是对应的湿度区间；进而建立所述湿度区间内所述调节阀的开度关于所述水洗系统的气体湿度值的正比例方程：f(x)＝k(n)*x+Z(n)，其中，f(x)是设备运行时所述湿度区间内调节阀的实时开度，x是实时气体湿度值。
[0015]根据一些实施例，所述根据所述对应关系对所述调节阀进行反比例控制，将所述湿度控制在所述湿度区间内的步骤包括：获得控制所述调节阀的开度的反比例系数：其中，ki(n)是反比例系数。
[0016]根据一些实施例，所述根据所述对应关系对所述调节阀进行反比例控制，将所述湿度控制在所述湿度区间内的步骤还包括：建立控制所述调节阀的开度的反比例方程：f(x)＝ki(n)*x+W(n)。
[0017]根据一些实施例，所述根据所述对应关系对所述调节阀进行反比例控制，将所述湿度控制在所述湿度区间内的步骤还包括：建立控制所述调节阀的开度的反比例方程：
[0018]根据一些实施例，所述预先设定好的湿度区间的湿度上下限间隔为4％。
[0019]根据本申请的一些实施例，通过增加排气管路的气体水分监测，使用调节阀调节水路喷淋的开度，从而控制管路的喷水量，控制排气湿度在合理标准以下。
[0020]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性的，并不能限制本申请。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1示出根据本申请示例实施例的废气处理装置的结构示意图。
[0023]图2示出根据本申请示例实施例的废气处理装置的排气湿度控制方法流程示意图。
[0024]图3示出根据本申请示例实施例的排气湿度和调节阀开度标定方法流程示意图。
[0025]图4示出根据本申请示例实施例的调节阀的开度反比例控制方法流程示意图。
具体实施方式
[0026]现在将参考附图更全面地描述示例实施例。然而，示例实施例能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施例；相反，提供这些实施例使得本申请将全面和完整，并将示例实施例的构思全面地传达给本领域的技术人员。在图中相同的附图标记表示相同或类似的部分，因而将省略对它们的重复描述。
[0027]所描述的特征、结构或特性可以以任何合适的方式结合在一个或更多实施例中。在下面的描述中，提供许多具体细节从而给出对本公开的实施例的充分理解。然而，本领域技术人员将意识到，可以实践本公开的技术方案而没有这些特定细节中的一个或更多，或者可以采用其它的方式、组元、材料、装置或等。在这些情况下，将不详细示出或描述公知结构、方法、装置、实现、材料或者操作。
[0028]附图中所示的流程图仅是示例性说明，不是必须包括所有的内容和操作/步骤，也不是必须按所描述的顺序执行。例如，有的操作/步骤还可以分解，而有的操作/步骤可以合并或部分合并，因此实际本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，用于处理半导体制程产生的废气，其特征在于，包括依次连通的反应腔体、水箱、水洗系统、湿度仪和废气管路；所述水洗系统设置有水泵、调节阀和温度检测仪；其中，所述水泵将所述水箱中的水抽出并通过所述调节阀进入所述水洗系统；所述温度检测仪用于检测所述水洗系统中经过水洗后的气体的温度；所述湿度仪用于检测排出所述水洗系统的气体的湿度。2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，还包括控制系统，所述控制系统控制所述调节阀的开度。3.一种根据权利要求1或2所述的废气处理装置的排气湿度控制方法，其特征在于，所述控制方法包括：标定获得在预先设定好的湿度区间内所述湿度和所述调节阀的开度的对应关系；根据所述对应关系对所述调节阀的开度进行反比例控制，将所述湿度控制在所述湿度区间内。4.根据权利要求3所述的控制方法，其特征在于，还包括：控制所述经过水洗后的气体的温度保持稳定。5.根据权利要求3所述的控制方法，其特征在于，所述标定获得在预先设定好的湿度区间内所述湿度和所述调节阀的开度的对应关系的步骤包括：在水洗过程中调节所述调节阀，直至所述湿度位于预先设定好的湿度区间的下限值，记录此时所述调节阀的开度，作为第一开度；逐渐增大所述调节阀的开度，直至所述湿度达到位于预先设定好的湿度区间的上限值，记录此时所述调节阀的开度，作为第二开度；根据所述第一开度、所述湿度区间的下限值、所述第二开度和所述湿度区间的上限值获得所述湿度区间内的所述湿度和所述调节阀的开度的对应关系。6.根据权利要求5所述的控制方法，其特征在于，所述根据所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨春涛，杨春水，张坤，王继飞，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：