【技术实现步骤摘要】
一种提高晶硅太阳能电池转换效率的氧化退火工艺
[0001]本专利技术属于晶硅太阳能电池制造
，涉及一种氧化退火工艺，具体涉及一种提高晶硅太阳能电池转换效率的氧化退火工艺。
技术介绍
[0002]为了提高晶硅太阳能电池转换效率，目前主流光伏企业电池制造商将产品升级为选择性发射极背面钝化高效电池。其与常规传统的电池产品相比，制造工序扩展为制绒、扩散、SE（选择性重掺发射极）、刻蚀、氧化、背钝化、镀膜、背面开槽、丝网印刷+烧结。在常规电池制造流程上增加了SE、氧化、背钝化和背面开槽四道工序，其都是为了进一步获得更高的电池转换效率，提高企业自身在行业内的影响力及竞争力。
[0003]其中，氧化工艺为使用氮气、氧气混合气体在650～780
°
高温下、在常压或低压下，以石英舟为硅片载体进到带有电阻丝加热的石英舟管内进行的工艺。其原理为氧原子填充到硅片表面悬挂键上或者进入到硅片内部填充到空缺、位错、层错等缺陷位置，最终在硅片表面形成一层厚度约为2～5nm质量致密且均匀的二氧化硅层。该氧化层能够修复硅片表面晶...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种提高晶硅太阳能电池转换效率的氧化退火工艺，其特征在于，包括如下步骤：S4，升温氧化：加热控温系统自动控温至工艺目标温度，升温氧化目标温度680～760℃，同时向工艺炉管内通入5000～10000sccm的氮气和500～1000sccm的氧气，时间300～600s；S6，降温氧化：加热控温系统停止加热，降低工艺温度，降温氧化目标温度650～700℃，同时向工艺炉管内通入20000～30000sccm的氮气和3000～6000sccm的氧气，时间600～1000s；S7，阶梯式降温退火一：继续降低工艺温度，阶梯式降温退火一目标温度600～650℃，同时向工艺炉管内通入20000～30000sccm的氮气，时间1200～2000s；S8，阶梯式降温退火二：继续降低工艺温度，阶梯式降温退火二目标温度550～600℃，同时向工艺炉管内通入20000～30000sccm的氮气，时间1200～1800s。2.根据权利要求1所述的提高晶硅太阳能电池转换效率的氧化退火工艺，其特征在于，包括如下步骤：S4，升温氧化：加热控温系统自动控温至工艺目标温度，升温氧化目标温度680～760℃，同时向工艺炉管内通入5000～10000sccm的氮气和500～1000sccm的氧气，时间300～600s；S6，降温氧化：加热控温系统停止加热，降低工艺温度，降温氧化目标温度650～700℃，同时向工艺炉管内通入20000～30000sccm的氮气和3000～6000sccm的氧气，时间600～1000s；S7，阶梯式降温退火一：继续降低工艺温度，阶梯式降温退火一目标温度600～650℃，同时向工艺炉管内通入20000～30000sccm的氮气，时间1200～2000s；S8，阶梯式降温退火二：继续降低工艺温度，阶梯式降温退火二目标温度550～600℃，同时向工艺炉管内通入20000～30000sccm的氮气，时间1200～1800s；S9，阶梯式降温退火三：继续降低工艺温度，阶梯式降温退火三目标温度500～550℃，同时向工艺炉管内通入20000～30000sccm的氮气，时间1200～1500s。3.根据权利要求2所述的提高晶硅太阳能电池转换效率的氧化退火工艺，其特征在于，包括如下步骤：S1，装片：自动化将刻蚀后的硅片装入氧化退火工序专用的石英舟内；S2，进舟：打开炉门，自动化将装满待工艺硅片的石英舟搬运输送到工艺炉管内，进舟速度100～200mm/s，时间400～700s，进舟过程中通入5000～20000sccm的氮气，待工艺硅片搬运输送到工艺炉管内后关闭炉门...
【专利技术属性】
技术研发人员：景艳娇，彭平，范新川，陈庆发，夏中高，李旭杰，郭飞，杨杰，
申请(专利权)人：平煤隆基新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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