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本发明公开了一种提高晶硅太阳能电池转换效率的氧化退火工艺，包括升温氧化工艺温度680～760℃，同时通入氮气5000～10000sccm和氧气500～1000sccm，时间300～600s；降温氧化工艺温度650～700℃，同时通入氮气20...
该专利属于平煤隆基新能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过平煤隆基新能源科技有限公司授权不得商用。

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