一种金属化膜生产用镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:30135892 阅读:15 留言:0更新日期:2021-09-23 14:45
本发明专利技术的一种金属化膜生产用镀膜装置,属于真空镀膜装置技术领域,包括真空箱、移动架、旋转组件、自转组件、蒸发组件以及遮挡组件,移动架通过多组万向轮设置在真空箱内壁的底部,旋转组件设置在移动架的顶部,自转组件通过轴承座设置在旋转组件的顶部,蒸发组件设置在移动组件的下方,遮挡组件设置在蒸发组件的上方,本发明专利技术的有益效果是,在旋转组件以及自转组件的作用下,镀件不仅可以沿着第一转盘的圆心公转,还能够沿着连接杆的轴心实现自转,使得在镀膜时镀膜层更加均匀,在蒸发组件以及遮挡组件的作用下,可以在真空箱未达到适当温度以及足够的真空程度之前,对蒸发材料进行遮挡,防止此时镀件进行低质量的镀膜。防止此时镀件进行低质量的镀膜。防止此时镀件进行低质量的镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种金属化膜生产用镀膜装置


[0001]本专利技术涉及真空镀膜装置
,具体讲是一种金属化膜生产用镀膜装置。

技术介绍

[0002]金属化镀膜是为了在非金属材料上镀上一层金属膜,使这些非金属材料具有了抗静电及电磁屏蔽功能,同时增强其表面强度,使之具有金属光泽等等金属材料的特性,真空镀膜是指在高真空的条件下加热金属或非金属材料,使其蒸发并凝结于镀件(塑料、半导体或绝缘体)表面而形成薄膜的一种方法,然而现有的技术在进行金属化镀膜的过程中,由于镀件在装置中只能绕着固定的轴转动,容易造成镀膜不均匀的情况,影响镀膜质量,而且现有的镀膜装置在蒸镀材料被加热充分之前就被镀在了镀件上,这也会降低镀膜的质量。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种金属化膜生产用镀膜装置,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0004]本专利技术的技术方案是:包括有:
[0005]真空箱;
[0006]移动架,设置在真空箱内;
[0007]旋转组件,设置在移动架的顶部;
[0008]自转组件,设置在旋转组件的上方;
[0009]蒸发组件,设置在移动架的下方;
[0010]遮挡组件,设置在蒸发组件的上方;
[0011]其中,旋转组件包括有支撑柱、驱动电机、第一转盘以及固定在移动架顶部的连接转轴,所述支撑柱设置在移动架的顶部,所述驱动电机竖直设置在支撑柱的顶部,连接转轴内部中空,所述连接转轴设置在支撑柱之外,所述第一转盘设置在驱动电机的上方,连接转轴的顶部与所述第一转盘的底部转动连接,所述第一转盘的中心处开设有第一齿槽,所述驱动电机的输出轴上套设有第一齿轮,第一齿轮在第一齿槽的内部,且第一齿轮与第一齿槽啮合。
[0012]进一步的,所述自转组件包括有第二转盘、轴承座以及多组镀件架,所述第二转盘设置在第一转盘的上方,所述轴承座的底部与第一转盘的顶部转动连接,轴承座的顶部与第二转盘的底部转动连接,所述第二转盘的中心处开设有第二齿槽,所述轴承座的内部开设有供驱动电机输出轴通过的孔槽,所述驱动电机的输出轴上套设有第二齿轮,所述第二齿轮与第二齿槽啮合,多组所述镀件架呈圆周分布在第一转盘的顶部。
[0013]进一步的,每组所述镀件架包括有套管、从动齿轮以及镀件托,所述第二转盘的侧壁开设有圆形齿盘,所述套管的底部与所述第一转盘的顶部固定连接,套管的顶部与从动齿轮转动连接,所述从动齿轮与第二转盘啮合,所述从动齿轮上固定连接有连接杆,所述连接杆通过套管延伸至第一转盘的下方,所述套管的底部安装有可拆卸的镀件托。
[0014]进一步的,所述蒸发组件包括有蒸发器、蒸发台以及坩埚,所述蒸发器设置在真空箱内壁的底部,所述蒸发台设置在蒸发器的上方,所述蒸发台的顶部开设有圆形通槽,所述坩埚通过所述通槽设置在蒸发台上。
[0015]进一步的,所述遮挡组件包括有驱动部件、两块遮挡板以及两个导轨,两个所述导轨平行设置在蒸发台的顶部,两个所述导轨分别位于坩埚的两侧,两块遮挡板并列设置在两个导轨的顶部,每块遮挡板均与两个导轨滑动配合。
[0016]进一步的,所述驱动部件包括有转动电机、两组互相平行的齿条组以及两个连接齿轮,所述转动电机设置在蒸发台底部的一侧,两组齿条组分别设置在两块遮挡板底部的两侧,每组齿条组均包括有两个相互平行的齿条,两个齿条相对的一侧均设有齿槽,两个齿条分别与两块遮挡板的底部固定连接,每个所述连接齿轮对应两个齿条,且所述连接齿轮设置在两个齿条之间,每个连接齿轮均和与自身对应的两个齿条啮合,所述转动电机的输出轴上套设有螺纹杆,所述螺纹杆与靠近转动电机一侧的遮挡板螺纹连接。
[0017]进一步的,所述真空箱的顶部设置有真空泵,所述真空泵的输出端与真空箱内部连通。
[0018]进一步的,所述移动架的底部设置有多组万向轮,所述真空箱内壁的底部开设有供万向轮通过的限位槽。
[0019]本专利技术通过改进在此提供一种金属化膜生产用镀膜装置,与现有技术相比,具有如下改进及优点:
[0020]其一,在旋转组件以及自转组件的作用下,镀件不仅可以沿着第一转盘的圆心公转,还能够沿着连接杆的轴心自转,使得在镀膜时镀膜层更加均匀,具体的,镀膜生产开始后,驱动电机开始工作,由于驱动电机输出轴上套设的第一齿轮与第一转盘上开设的第一齿槽啮合,第一转盘开始转动,继续带动位于第一齿盘上的镀件架转动,从而实现了镀件的公转效果,此时,由于驱动电机上套设的第二齿轮又与第二转盘上开设的第二齿盘啮合,第二转盘也随之发生转动,第二转盘外侧的圆形齿盘又与每组从动齿轮啮合,从动齿轮的底部又通过连接杆与镀件托连接,从而使得镀件能够沿着连接杆的轴心转动。
[0021]其二,在蒸发组件以及遮挡组件的作用下,可以在真空箱未达到适当温度以及足够的真空程度之前,对蒸发材料进行遮挡,防止此时镀件被镀膜,因为此时蒸发箱内的参与气体多,镀膜效果差,可用性低,具体的,当镀膜过程开始时,转动电机转动,由于转动电机通过螺纹杆与其自身靠近的一块遮挡板螺纹连接,又由于遮挡板与导轨滑动配合,此时遮挡板开始在水平方向上运动,两块遮挡板的底部两侧设置的两组平行齿条,每组平行齿条之间设置有连接齿轮,连接齿轮又分别与两个齿条啮合,因此当其中一块遮挡板发生运动时,另一块遮挡板就会随之靠近或者远离,从而实现了对蒸发材料的遮挡或者开启。
[0022]其三,移动架底部设置的万向轮与真空箱内壁底部的限位槽滑动配合,可以有效地对移动架以及固定在移动架上的其他组件进行限位,使得移动架始终位于真空箱内壁底部的蒸发组件正上方,以提高镀膜效果。
附图说明
[0023]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步解释:
[0024]图1为本专利技术立体结构示意图;
[0025]图2为本专利技术的部分结构图;
[0026]图3为本专利技术的侧视图;
[0027]图4为本专利技术的局部剖视图;
[0028]图5为图4中A处放大图;
[0029]图6为图4的B处放大图;
[0030]图7为本专利技术部分剖视示意图;
[0031]图8为图7中C处放大图。
[0032]附图标记说明:1、真空箱;2、旋转组件;3、自转组件;4、移动架;5、蒸发组件;6、遮挡组件;11、第一转盘;12、第二转盘;13、从动齿轮;14、连接转轴;15、镀件托;16、蒸发器;17、蒸发台;18、万向轮;19、坩埚;20、转动电机;21、轴承座;22、套管;23、连接杆;24、遮挡板;25、支撑柱;26、驱动电机;30、真空泵;31、第一齿轮;32、第一齿槽;33、齿条;34、连接齿轮;35、导轨;37、第二齿轮;38、第二齿槽;39、圆形齿盘;40、镀件架;41、圆形通槽。
具体实施方式
[0033]下面将结合附图1至图8对本专利技术进行详细说明,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种金属化膜生产用镀膜装置,其特征在于,包括有:真空箱(1);移动架(4),设置在真空箱(1)内;旋转组件(2),设置在移动架(4)的顶部;自转组件(3),设置在旋转组件(2)的上方;蒸发组件(5),设置在移动架(4)的下方;遮挡组件(6),设置在蒸发组件(5)的上方;其中,旋转组件(2)包括有支撑柱(25)、驱动电机(26)、第一转盘(11)以及固定在移动架(4)顶部的连接转轴(14),所述支撑柱(25)设置在移动架(4)的顶部,所述驱动电机(26)竖直设置在支撑柱(25)的顶部,连接转轴(14)内部中空,所述连接转轴(14)设置在支撑柱(25)之外,所述第一转盘(11)设置在驱动电机(26)的上方,连接转轴(14)的顶部与所述第一转盘(11)的底部转动连接,所述第一转盘(11)的中心处开设有第一齿槽(32),所述驱动电机(26)的输出轴上套设有第一齿轮(31),第一齿轮(31)在第一齿槽(32)的内部,且第一齿轮(31)与第一齿槽(32)啮合。2.根据权利要求1所述的一种金属化膜生产用镀膜装置,其特征在于:所述自转组件(3)包括有第二转盘(12)、轴承座(21)以及多组镀件架(40),所述第二转盘(12)设置在第一转盘(11)的上方,所述轴承座(21)的底部与第一转盘(11)的顶部转动连接,轴承座(21)的顶部与第二转盘(12)的底部转动连接,所述第二转盘(12)的中心处开设有第二齿槽(38),所述轴承座(21)的内部开设有供驱动电机(26)输出轴通过的孔槽,所述驱动电机(26)的输出轴上套设有第二齿轮(37),所述第二齿轮(37)与第二齿槽(38)啮合,多组所述镀件架(40)呈圆周分布在第一转盘(11)的顶部。3.根据权利要求2所述的一种金属化膜生产用镀膜装置,其特征在于:每组所述镀件架(40)包括有套管(22)、从动齿轮(13)以及镀件托(15),所述第二转盘(12)的侧壁开设有圆形齿盘(39),所述套管(22)的底部与所述第一转盘(11)的顶部固定连接,套管(22)的顶部与从动齿轮(13)转动连接,所述从动齿轮(13)与第二转盘(12)啮合,所述从动齿轮(13)上固定连接有连接杆...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘玲
申请(专利权)人:芜湖鑫国电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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