一种半导体抛光机用抛光盘制造技术

本发明专利技术公开了一种半导体抛光机用抛光盘，包括抛光盘本体，所述抛光盘本体底部设置有锁紧定位组件，所述锁紧定位组件包括置物盒，所述置物盒内部贯穿有活动槽。本发明专利技术通过根据抛光盘本体的使用情况进行使用调节，在无需进行使用时对抛光盘本体进行防护收纳，在需要进行使用时对抛光盘本体进行夹持固定，可将抛光盘本体放置于两个定位夹之间，转动调节螺杆，通过传送皮带的传动下使两个调节螺杆通过旋转轴承转动，两个定位夹对抛光盘本体进行有效夹持固定，可根据抛光盘使用的角度进行调节，拉动调节架板，选取对应定位螺孔，通过使用定位螺杆进行有效固定，从而实现抛光盘便于更换的同时进行夹紧以及调节。同时进行夹紧以及调节。同时进行夹紧以及调节。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体抛光机用抛光盘


[0001]本专利技术用于半导体
，具体涉及一种半导体抛光机用抛光盘。

技术介绍

[0002]半导体，指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。半导体是指一种导电性可受控制，范围可从绝缘体至导体之间的材料，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，今日大部分的电子产品，如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联，常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等，而硅更是各种半导体材料中，在商业应用上最具有影响力的一种；抛光盘用来给物体打磨抛光，分为好多种，有水晶抛光盘，羊毛抛光盘，绒布抛光盘等，根据硬度不同，可以根据需要选择，在抛光的时候，视线要集中在抛光盘的边缘，不要超出边角位，以防止抛穿边角位。抛亦子板时，边角位较多，较多的面积较小的平面，可用抛光盘的边沿去抛这些平面。
[0003]在半导体进行加工的过程中，会对半导体进行打磨，抛光盘在使用的同时需要利用辅助器械达到打磨抛光的过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于半导体抛光机用抛光盘，包括抛光盘本体（1），其特征在于，所述抛光盘本体（1）底部设置有锁紧定位组件，所述锁紧定位组件包括置物盒（2），所述置物盒（2）内部贯穿有活动槽（3），所述活动槽（3）内壁两侧均开设有第一滑槽（4），所述第一滑槽（4）内部滑动连接有第一滑块（5），两个所述第一滑块（5）之间固定连接有防护调节板（6），所述防护调节板（6），所述防护调节板（6）内壁一侧开设有锁紧螺孔（7），所述锁紧螺孔（7）的数量设置有多个，每相邻两个所述锁紧螺孔（7）之间的距离相等，所述置物盒（2）内壁一侧贯穿有锁紧螺杆（8），所述锁紧螺杆（8）延伸至锁紧螺孔（7）内部，所述置物盒（2）内部开设有固定室（9），所述固定室（9）内壁底端开设有第二滑槽（10），所述第二滑槽（10）内部滑动连接有夹紧板（11），所述夹紧板（11）的数量设置有两个，两个所述夹紧板（11）关于固定室（9）中轴线对称设置，所述夹紧板（11）外壁一侧与固定室（9）内壁之间固定连接有复位弹簧（12），所述复位弹簧（12）的数量设置有两组，每组所述复位弹簧（12）的数量设置有两个，两个所述夹紧板（11）之间设置有连接底板（15），所述置物盒（2）外壁一侧固定连接有可视板（13），所述防护调节板（6）外壁一侧固定连接有手持手柄（14）。2.根据权利要求1所述的一种用于半导体抛光机用抛光盘，其特征在于：所述连接底板（15）顶部设置有高度调节组件，所述高度调节组件包括固定板（16），所述固定板（16）与连接底板（15）固定连接，所述固定板（16）的数量设置有两个，两个所述固定板（16）关于连接底板（15）中轴线对称设置。3.根据权利要求2所述的一种用于半导体抛光机用抛光盘，其特征在于：所述固定板（16）内壁两侧均开设有第三滑槽（17），所述第三滑槽（17）内部滑动连接有第二滑块（18），两个所述第二滑块（18）...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘超超，高娟，
申请(专利权)人：上海芯莘科技有限公司，
类型：发明
国别省市：