基板取放装置及取放方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板取放装置及取放方法。所述基板取放装置包括至少一机械手臂，机械手臂上设置有多根基板叉，每根基板叉上均设置有多个真空吸盘以及与多个真空吸盘连接的CDA管路；其中，机械手臂上还设置有多个压力电子表头和多个电磁阀，任一压力电子表头对应量测任一基板叉上的多个真空吸盘的真空度，任一电磁阀对应控制任一基板叉上的CDA管路的通断。本发明专利技术通过设置多个电磁阀，且任一电磁阀对应控制任一基板叉上的CDA管路的通断，当真空度达到预设范围的真空吸盘的数量满足要求时，可以通过电磁阀将真空度未达到预设范围的真空吸盘对应的CDA管路断开，避免机台报警宕机，可以有效改善机械手臂的吸真空异常，提高基板取放装置的稳定性。装置的稳定性。装置的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
基板取放装置及取放方法


[0001]本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种基板取放装置及取放方法。

技术介绍

[0002]在显示面板的生产过程中，通常需要使用磁控溅镀设备进行镀膜制程。在镀膜制程中，通常需要采用机械手臂吸附玻璃基板，然后将玻璃基板从水平状态翻转至垂直状态，或从垂直状态翻转至水平状态。在吸附过程中，由于玻璃基板的面积过大(2940毫米*3370毫米)，不可避免的会发生吸真空异常(指的是真空状态时吸盘与玻璃基板接触状态不佳，导致真空度不足，真空度不达报警)。
[0003]现有的机械手臂上设置有7根基板叉，每根基板叉上设置有11个吸盘，单根基板叉上有1个压力电子表头，当发生吸真空异常时，技术人员到达现场作业，常规作业手法是手动尝试再次吸附，复机。现有技术无法精准找到导致吸真空异常的吸盘，并且，现状都是技术人员到达现场，手动再次吸附后就会吸附正常。因此，吸真空异常导致机台宕机浪费了很多生产时间，导致生产效率低。故，有必要改善这一缺陷。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供一种基板取放装置，用于解决现有技术的基板取放装置发生吸真空异常，导致机台宕机，导致生产效率低的技术问题。
[0005]本专利技术实施例提供一种基板取放装置，包括至少一机械手臂，所述机械手臂上设置有多根基板叉，每根所述基板叉上均设置有多个真空吸盘以及与所述多个真空吸盘连接的CDA管路；其中，所述机械手臂上还设置有多个压力电子表头和多个电磁阀，任一所述压力电子表头对应量测任一所述基板叉上的所述多个真空吸盘的真空度，任一所述电磁阀对应控制任一所述基板叉上的所述CDA管路的通断。
[0006]在本专利技术实施例提供的基板取放装置中，所述CDA管路包括总管路和多个分管路，任一所述分管路的一端与所述总管路连通，另一端与任一所述真空吸盘连通。
[0007]在本专利技术实施例提供的基板取放装置中，所述真空吸盘包括吸盘嘴、与所述吸盘嘴密封连接的波纹管以及与所述波纹管密封连接的连杆，所述分管路通过所述连杆与所述真空吸盘连通。
[0008]在本专利技术实施例提供的基板取放装置中，任一所述分管路上设置有一所述压力电子表头和一所述电磁阀。
[0009]本专利技术实施例还提供一种基板取放方法，包括步骤：
[0010]S1、提供至少一机械手臂，所述机械手臂上设置有多根基板叉，每根所述基板叉上均设置有多个真空吸盘以及与所述多个真空吸盘连接的CDA管路，所述机械手臂上还设置有多个压力电子表头和多个电磁阀，任一所述压力电子表头对应量测任一所述基板叉上的所述多个真空吸盘的真空度，任一所述电磁阀对应控制任一所述基板叉上的所述CDA管路的通断；
[0011]S2、打开所述多个电磁阀，利用所述多个真空吸盘吸取所述基板；
[0012]S3、通过所述多个压力电子表头分别量测任一所述基板叉上的所述多个真空吸盘的真空度；
[0013]S4、判断真空度达到预设范围的所述真空吸盘的数量是否满足要求；
[0014]S401、若不满足要求，利用所述多个真空吸盘重新吸取一次，并重复步骤S3和S4；
[0015]S402、若满足要求，控制所述机械手臂翻转所述基板。
[0016]在本专利技术实施例提供的基板取放方法中，所述步骤S401还包括：当重新吸取次数达到一定次数仍不满足要求时，停止重新吸取并切换为手动取放模式，发出报警信号。
[0017]在本专利技术实施例提供的基板取放方法中，所述要求包括第一条件和第二条件，所述第一条件为：任一所述基板叉上真空度达到所述预设范围的所述真空吸盘的数量大于或等于第一阈值，所述第一阈值小于或等于任一所述基板叉上的所述真空吸盘的总数；所述第二条件为：所有所述基板叉上真空度达到所述预设范围的所述真空吸盘的数量大于或等于第二阈值，所述第二阈值小于或等于所有所述基板叉上的所述真空吸盘的总数。
[0018]在本专利技术实施例提供的基板取放方法中，所述第一阈值大于或等于任一所述基板叉上的所述真空吸盘的总数*9/11，所述第二阈值大于或等于所有所述基板叉上的所述真空吸盘的总数*71/77。
[0019]在本专利技术实施例提供的基板取放方法中，所述步骤S402还包括：关闭真空度未达到所述预设范围的所述真空吸盘对应的所述电磁阀。
[0020]在本专利技术实施例提供的基板取放方法中，所述预设范围为0.08兆帕至0.09兆帕。
[0021]有益效果：本专利技术实施例提供的一种基板取放装置，包括至少一机械手臂，机械手臂上设置有多根基板叉，每根基板叉上均设置有多个真空吸盘以及与多个真空吸盘连接的CDA管路；其中，机械手臂上还设置有多个压力电子表头和多个电磁阀，任一压力电子表头对应量测任一基板叉上的多个真空吸盘的真空度，任一电磁阀对应控制任一基板叉上的CDA管路的通断。本专利技术通过设置多个电磁阀，且任一电磁阀对应控制任一基板叉上的CDA管路的通断，当真空度达到预设范围的真空吸盘的数量满足要求时，可以通过电磁阀将真空度未达到预设范围的真空吸盘对应的CDA管路断开，避免机台报警宕机，当真空度达到预设范围的真空吸盘的数量不满足要求时，重新吸取，当重新吸取一定次数仍不满足要求时，切换手动取放模式并发出报警信号，即实现了当机械手臂吸真空异常时基板取放装置智能处理，可以有效改善机械手臂的吸真空异常，提高基板取放装置的稳定性。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
[0023]图1是本专利技术实施例提供的基板取放装置的基本结构示意图。
[0024]图2是本专利技术实施例提供的基板叉的基本结构示意图。
[0025]图3是本专利技术实施例提供的真空吸盘的基本结构示意图。
[0026]图4是本专利技术实施例提供的基板取放方法的流程图。
具体实施方式
[0027]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。在附图中，为了清晰及便于理解和描述，附图中绘示的组件的尺寸和厚度并未按照比例。
[0028]如图1、图2所示，为本专利技术实施例提供的基板取放装置的基本结构示意图和本专利技术实施例提供的基板叉的基本结构示意图，所述基板取放装置包括至少一机械手臂10，所述机械手臂10上设置有多根基板叉11，每根所述基板叉11上均设置有多个真空吸盘110以及与所述多个真空吸盘110连接的CDA(Compressed Dry Air，压缩干燥空气)管路111；其中，所述机械手臂10上还设置有多个压力电子表头12和多个电磁阀13，任一所述压力电子表头12对应量测任一所述基板叉11上的所述多个真空吸盘110的真空度，任一所述电磁阀13对应控制任一所述基板叉11上的所述CDA管路111的通断。
[0029]需要说明的是，本专利技术实施例提供的基板取放装置包括至少一个机械手臂10，图1中以包括两个机械手臂为例进行说明，其中之一用于取基板，位于图1中的右下方，其中另一用于放基板，位于图1中的左上方。当需要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板取放装置，其特征在于，包括至少一机械手臂，所述机械手臂上设置有多根基板叉，每根所述基板叉上均设置有多个真空吸盘以及与所述多个真空吸盘连接的CDA管路；其中，所述机械手臂上还设置有多个压力电子表头和多个电磁阀，任一所述压力电子表头对应量测任一所述基板叉上的所述多个真空吸盘的真空度，任一所述电磁阀对应控制任一所述基板叉上的所述CDA管路的通断。2.如权利要求1所述的基板取放装置，其特征在于，所述CDA管路包括总管路和多个分管路，任一所述分管路的一端与所述总管路连通，另一端与任一所述真空吸盘连通。3.如权利要求2所述的基板取放装置，其特征在于，所述真空吸盘包括吸盘嘴、与所述吸盘嘴密封连接的波纹管以及与所述波纹管密封连接的连杆，所述分管路通过所述连杆与所述真空吸盘连通。4.如权利要求2所述的基板取放装置，其特征在于，任一所述分管路上设置有一所述压力电子表头和一所述电磁阀。5.一种基板取放方法，其特征在于，包括步骤：S1、提供至少一机械手臂，所述机械手臂上设置有多根基板叉，每根所述基板叉上均设置有多个真空吸盘以及与所述多个真空吸盘连接的CDA管路，所述机械手臂上还设置有多个压力电子表头和多个电磁阀，任一所述压力电子表头对应量测任一所述基板叉上的所述多个真空吸盘的真空度，任一所述电磁阀对应控制任一所述基板叉上的所述CDA管路的通断；S2、打开所述多个电磁阀，利用所述多个真空吸盘吸取所述基板；S3、通过所述多个压力电子表...

【专利技术属性】
技术研发人员：田孟顺，刘宏茂，杨清斗，
申请(专利权)人：深圳市华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：