一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置，包括机架、自动上下料机构及依次设置于机架上的上料运输机构、撕膜输送机构、除尘运输机构、贴膜运输机构、缓存运输机构、撕保护膜运输机构、下料运输机构；上料运输机构及下料运输机构分别与自动上下料机构连接。本实用新型专利技术通过自动上下料机构将基板夹取到上料运输机构上，并依次由上料运输机构、撕膜输送机构、除尘运输机构、贴膜运输机构、缓存运输机构、撕保护膜运输机构及下料运输机构进行输送操作，使得每个镀膜设备的工序完成后都能由相应的输送机构进行输送，最终由所述在佛能够上下料机构将基板从所述下料运输机构上取下，从而实现镀膜设备中对基板的全自动输送。送。送。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置


[0001]本技术实施例涉及镀膜设备
，尤其涉及一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。现有的镀膜设备中，对于镀膜基板在各个工序中的输送都是通过人工进行的，该种搬运方式极大的增加了镀膜基板在运输过程中受到污染的几率，且人工搬运效率低下，使得整个镀膜流水作业拖沓，极大的影响了企业的镀膜效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置。
[0004]为了实现上述目的，本技术提供了一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置，包括机架、自动上下料机构及依次设置于机架上的上料运输机构、撕膜输送机构、除尘运输机构、贴膜运输机构、缓存运输机构、撕保护膜运输机构、下料运输机构；所述上料运输机构及下料运输机构分别与自动上下料机构连接。
[0005]进一步地，所述机架呈凹字形且所述自动上下料机构设置于所述凹字形的敞口端处；所述自动上下料机构包括自动上下料基座、装设于自动上下料基座上的三维移动机械手及装设于三维移动机械手上的夹料组件，所述夹料组件包括与三维移动机械手连接的夹料基板、装设于夹料基板上的夹料杆及分别装设于夹料杆两侧的定位仿形块和夹料动力件，所述夹料动力件装设有固定块。
[0006]进一步地，所述上料运输机构包括装设于机架上的上料输送基座、装设于上料输送基座上且用于输送镀膜设备基板的上料输送带、装设于上料输送带两端的上料输送轮及用于带动上料输送轮转动的上料输送动力件；所述上料运输机构还包括上料定位组件，所述上料定位组件包括装设于上料输送基座上一侧的上料定位基座、装设于上料定位基座上的上料定位动力件及装设于上料定位动力件输出端的上料定位仿形块。
[0007]进一步地，所述撕膜输送机构包括装设于机架上的撕膜输送基座、装设于撕膜输送基座上且用于输送镀膜设备基板的撕膜输送带、装设于撕膜输送带两端的撕膜输送轮及用于带动撕膜输送轮转动的撕膜输送动力件。
[0008]进一步地，所述除尘运输机构包括装设于机架上的除尘输送基座、装设于除尘输送基座上且用于输送镀膜设备基板的除尘输送带、装设于除尘输送带两端的除尘输送轮及用于带动除尘输送轮转动的除尘输送动力件。
[0009]进一步地，所述贴膜运输机构包括依次连接的第一贴膜输送组件、第二贴膜输送组件及第三贴膜输送组件，所述第二贴膜输送组件装设于所述机架的凹字形底端中部；所
述第一贴膜输送组件包括第一竖向输送组件和第一竖向输送组件连接的第一横向输送组件；所述第一竖向输送组件包括装设于机架上的第一竖向输送基座、装设于第一竖向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第一竖向输送带、装设于第一竖向输送带两端的第一竖向输送轮及用于带动第一竖向输送轮转动的第一竖向输送动力件，所述第一横向输送组件包括装设于机架上的第一横向输送基座、装设于第一横向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第一横向输送带、装设于第一横向输送带两端的第一横向输送轮及用于带动第一横向输送轮转动的第一横向输送动力件；所述第二贴膜输送组件包括第二横向输送组件，所述第二横向输送组件包括装设于机架上的第二横向输送基座、装设于第二横向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第二横向输送带、装设于第二横向输送带两端的第二横向输送轮及用于带动第二横向输送轮转动的第二横向输送动力件；所述第三贴膜输送组件包括第三横向输送组件及与第三横向输送组件连接的第二竖向输送组件，所述第三横向输送组件包括装设于机架上的第三横向输送基座、装设于第三横向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第三横向输送带、装设于第三横向输送带两端的第三横向输送轮及用于带动第三横向输送轮转动的第三横向输送动力件；所述第二竖向输送组件包括装设于机架上的第二竖向输送基座、装设于第二竖向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第二竖向输送带、装设于第二竖向输送带两端的第二竖向输送轮及用于带动第二竖向输送轮转动的第二竖向输送动力件。
[0010]进一步地，所述缓存运输机构包括装设于机架上的缓存输送基座、装设于缓存输送基座上且用于输送镀膜设备基板的缓存输送带、装设于缓存输送带两端的缓存输送轮及用于带动缓存输送轮转动的缓存输送动力件。
[0011]进一步地，所述撕保护膜运输机构包括装设于机架上的撕保护膜输送基座、装设于撕保护膜输送基座上且用于输送镀膜设备基板的撕保护膜输送带、装设于撕保护膜输送带两端的撕保护膜输送轮及用于带动撕保护膜输送轮转动的撕保护膜输送动力件。
[0012]进一步地，所述下料运输机构包括装设于机架上的下料输送基座、装设于下料输送基座上且用于输送镀膜设备基板的下料输送带、装设于下料输送带两端的下料输送轮及用于带动下料输送轮转动的下料输送动力件；所述下料运输机构还包括下料定位组件，所述下料定位组件包括装设于下料输送基座上的下料定位基座、装设于下料定位基座上的下料定位动力件及装设于下料定位动力件输出端的下料定位仿形块。
[0013]进一步地，所述镀膜设备基板自动化取放流水线装置还包括控制机构及与控制机构连接的视觉机构；所述视觉机构包括装设于三维移动机械手上的摄像头。
[0014]本技术的有益效果在于：本技术通过所述自动上下料机构将基板夹取到上料运输机构上，由所述上料运输机构输送至所述撕膜输送机构上进行撕膜操作，撕膜后再由所述撕膜输送机构输送到除尘运输机构上进行除尘操作，再由除尘运输机构输送到贴膜运输机构上进行贴膜操作，再由贴膜运输机构输送到缓存运输机构，并由缓存运输机构将基板输送至撕保护膜运输机构上进行撕保护膜操作，再由撕保护膜运输机构将基板输送到下料运输机构上，最终由所述自动上下料机构将基板夹取实现下料操作，从而实现镀膜设备中对基板的全自动输送。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的一个立体图。
[0016]图2为本技术提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置去掉自动上下料机构及安全防护网的一个立体图。
[0017]图3为本技术提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的自动上下料机构的一个立体图。
[0018]图4为本技术提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的加料组件的一个立体图。
[0019]图5为本技术提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的定位仿形块的一个立体图。
[0020]图6为本技术提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的夹料动力件的一个立体图。
[0021]图7为本技术提出的一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置的上料运输机构的一个立体图。
[0022]图8为图7的A部分的放大图
[0023]图9为本技术提出的一种镀膜设备基板自动化本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜设备基板自动化取放流水线装置，其特征在于，包括机架、自动上下料机构及依次设置于机架上的上料运输机构、撕膜输送机构、除尘运输机构、贴膜运输机构、缓存运输机构、撕保护膜运输机构、下料运输机构；所述上料运输机构及下料运输机构分别与自动上下料机构连接；所述机架呈凹字形且所述自动上下料机构设置于所述凹字形的敞口端处；所述贴膜运输机构包括依次连接的第一贴膜输送组件、第二贴膜输送组件及第三贴膜输送组件，所述第二贴膜输送组件装设于所述机架的凹字形底端中部。2.根据权利要求1所述的镀膜设备基板自动化取放流水线装置，其特征在于，所述自动上下料机构包括自动上下料基座、装设于自动上下料基座上的三维移动机械手及装设于三维移动机械手上的夹料组件，所述夹料组件包括与三维移动机械手连接的夹料基板、装设于夹料基板上的夹料杆及分别装设于夹料杆两侧的定位仿形块和夹料动力件，所述夹料动力件装设有固定块。3.根据权利要求1所述的镀膜设备基板自动化取放流水线装置，其特征在于，所述上料运输机构包括装设于机架上的上料输送基座、装设于上料输送基座上且用于输送镀膜设备基板的上料输送带、装设于上料输送带两端的上料输送轮及用于带动上料输送轮转动的上料输送动力件；所述上料运输机构还包括上料定位组件，所述上料定位组件包括装设于上料输送基座上一侧的上料定位基座、装设于上料定位基座上的上料定位动力件及装设于上料定位动力件输出端的上料定位仿形块。4.根据权利要求1所述的镀膜设备基板自动化取放流水线装置，其特征在于，所述撕膜输送机构包括装设于机架上的撕膜输送基座、装设于撕膜输送基座上且用于输送镀膜设备基板的撕膜输送带、装设于撕膜输送带两端的撕膜输送轮及用于带动撕膜输送轮转动的撕膜输送动力件。5.根据权利要求1所述的镀膜设备基板自动化取放流水线装置，其特征在于，所述除尘运输机构包括装设于机架上的除尘输送基座、装设于除尘输送基座上且用于输送镀膜设备基板的除尘输送带、装设于除尘输送带两端的除尘输送轮及用于带动除尘输送轮转动的除尘输送动力件。6.根据权利要求1所述的镀膜设备基板自动化取放流水线装置，其特征在于，所述第一贴膜输送组件包括第一竖向输送组件和第一竖向输送组件连接的第一横向输送组件；所述第一竖向输送组件包括装设于机架上的第一竖向输送基座、装设于第一竖向输送基座上且用于输送镀膜设备基板的第一竖向输送带、装设于第一竖向输送带两端的第一竖向输送轮及用于带动第一竖向输送轮转动的第一竖向输送动力件，所述第一横向输送组件包括装设于机架上...

【专利技术属性】
技术研发人员：周明勇，
申请(专利权)人：深圳市智云杰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：