一种石英制品抽真空设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种石英制品抽真空设备，包括设备框架，所述设备框架包括工作基台，所述工作基台下方设置有连通于石英制品内腔的抽真空组件，所述工作基台上设置有产品密封组件，所述产品密封组件抵接石英制品，所述产品密封组件包括有柔性密封部，所述柔性密封部可包覆密封石英制品上的通口。通过产品密封组件上的柔性密封部对石英制品上的通口进行包覆密封，确保柔性密封部能够伴随石英产品形变调整位置，保证密封效果不受影响，有效提升抽真空测试结果的精确性。真空测试结果的精确性。真空测试结果的精确性。

【技术实现步骤摘要】
一种石英制品抽真空设备


[0001]本技术涉及石英玻璃加工
，尤其是涉及一种石英制品抽真空设备。

技术介绍

[0002]随着半导体行业发展，硅片加工设备厂商设计开发加工机台在真空环境内进行硅片生产制造。石英制品作为硅片加工过程中重要部件，随着设备的改进，石英制品结构相应的改进升级，加工难度越来越高。为保证石英制品品质符合要求，不会出现裂缝造成密封失效，不会在使用过程中破碎而造成额外的损失，要求石英制品在出厂检测时增加抽真空检测确保石英制品符合设计要求。目前对石英制品抽真空检测时，大多采用O圈密封的方式对石英制品的通口进行密封，但这种密封方式在抽真空检测过程中无法匹配石英制品所产生的形变，容易产生真空泄漏而导致检测结果不准确。
[0003]例如一种在中国专利文献上公开的“一种石英管高真空密封结构”，其公告号“CN210287587U”，包括设于石英管端部的密封件、设于密封件和石英管之间的第一密封圈和第二密封圈、用于将密封件锁紧在石英管端部的锁紧机构、设于密封件中的位于第一密封圈和第二密封圈之间的环形间隙、开设于密封件上的与环形间隙连通的抽气口；第一密封圈和第二密封圈具有水平排列状态和竖直排列状态；第一密封圈和第二密封圈处于竖直排列状态时，密封结构还包括设于环形间隙中的环形隔垫、开设于环形隔垫上的且相互连通的第一气孔和第二气孔，第一气孔与抽气口连通，第二气孔用于连通第一密封圈和第二密封圈。这种结构通过双层密封圈进行双层密封，但是这种结构在石英制品因温度或压力作用下产生形变时，无法跟贴石英制品进行同步运动，故依然存在泄漏风险。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中，石英制品抽真空过程中发生形变时，真空设备的密封结构无法同步跟进形变以避免密封失效的问题，本技术提供了一种石英制品抽真空设备，通过产品密封组件上的柔性密封部对石英制品上的通口进行包覆密封，确保柔性密封部能够伴随石英产品形变调整位置，保证密封效果不受影响，有效提升抽真空测试结果的精确性。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种石英制品抽真空设备，包括设备框架，所述设备框架包括工作基台，所述工作基台下方设置有连通于石英制品内腔的抽真空组件，所述工作基台上设置有产品密封组件，所述产品密封组件抵接石英制品，所述产品密封组件包括有柔性密封部，所述柔性密封部可包覆密封石英制品上的通口。所述工作基台用于安置石英制品，确保在抽真空过程中石英制品足够稳定。柔性密封部能对石英制品的通口进行包覆贴合，当石英制品在抽真空过程中形变，柔性密封部始终贴合通口边沿，以此实现密封结构的密封稳定性。所述石英制品的主体为长方体结构，所述石英制品的通口分别位于长方体沿长度方向的两侧面，所述通口为长方形通槽。而柔性密封部则对长方形通槽的长边进行包覆密封，因为在抽真空过程中，石英制品的形变主要发生在石英制品的长边方向上，具体的表现为石英制品的顶面
与底面沿石英制品长边方向收缩，石英制品沿长度方向的两侧面向石英制品中部移动，在这种变化中，柔性密封部始终包覆于通口边沿的长边。
[0007]作为优选，所述产品密封组件包括内部设置有密封腔的密封块，所述密封腔内设置有沿密封块宽度方向延伸的滑轨，所述滑轨上设置有电磁铁组件和滑移块，所述柔性密封部设置于密封块的内侧面，所述柔性密封部与滑移块连接，所述柔性密封部为片体，所述柔性密封部包括有铁制牵引条。所述电磁铁组件设置于密封块内部，所述柔性密封部伸入石英制品通口内，而在电磁铁的作用下，设置有铁制牵引条的柔性密封部贴合通口内壁，配合密封块的内侧面实现对石英制品通口的夹合式包覆密封。所述滑移块贯通密封块设置，所述滑移块一端与柔性密封部连接，另一端设置于密封块外侧。
[0008]作为优选，所述密封块内侧面还设置有静密封部，所述静密封部包括沿密封块内侧面边缘设置的密封槽，所述密封槽内设置有密封圈。所述静密封部的密封圈对石英制品的通口进行覆盖密封，所述密封圈为环形结构，由于柔性密封部主要对石英制品通口的长边进行密封，故静密封部与柔性密封部互补，不但能对石英制品通口的短边进行密封，也能在柔性密封部的基础上实现整体密封。
[0009]进一步的，所述柔性密封部包括沿密封块中轴线对称设置的上密封部和下密封部，所述上密封部包括有弹性密封件，所述弹性密封件顶部设置有安置槽，所述铁制牵引条设置于安置槽中。所述上密封部用于包覆石英制品通口的上侧长边，所述下密封部用于包覆石英制品通口的下侧长边。所述铁制牵引条设置于弹性密封件的外侧，当电磁铁启动时，能对石英制品通口另一侧的铁制牵引条进行强吸引，由于铁制牵引条为软性绳索，在电磁铁的作用下，故能够紧贴石英制品内壁以靠近电磁铁。由于铁制牵引条嵌合安装在安置槽中，故铁制牵引条远离电磁铁的一端被弹性密封件包裹，当铁制牵引条贴合石英制品内壁时，弹性密封件亦贴合于石英制品内壁。而值得注意的是，铁制牵引条自由端的弹性密封件与石英制品的光滑内壁紧紧贴合，以此实现有效密封。
[0010]进一步的，所述电磁铁组件包括上磁组和下磁组，所述上磁组设置于上密封部远离密封块内侧面的一侧，所述下磁组设置于下密封部远离密封块内侧面的一侧，所述上磁组和下磁组尾部分别设置有延伸至密封块外侧的连接部，所述上磁组底部和下磁组顶部均设置有滑移块，所述两滑移块之间设置有伸缩杆。当两片柔性密封部伸入石英制品通口后，电磁铁启动，由于每个产品的通口宽度均有差异，故通过两滑移块分别驱动上、下磁组向上、下两侧移动，使得柔性密封部同步移动直至靠合通口的上、下边沿；在靠合完成后，通过上磁组尾部的连接部将上侧电磁铁继续向上移动，通过下磁组尾部的连接部将下侧电磁铁继续向下移动，两组铁制牵引条自然对所对应的通口边沿进行包覆，并在包覆完成后隔着石英制品的侧面保持向电磁铁所在方向的靠合状态，以此保证铁制牵引条及其背部的弹性密封件对通口进行夹合式包覆密封。所述伸缩杆则用于通过电机驱动滑移块移动，以此保证柔性密封部对石英制品通口的包覆密封顺利完成。
[0011]作为优选，所述伸缩杆外部套合设置有调节臂，所述调节臂铰接于设备框架。所述调节臂用于调整产品密封组件与石英制品侧面上通口的距离，当石英制品放置于工作基台上的预设位置后，悬臂转动，使得产品密封组件靠近并抵接石英制品的侧面，所述悬臂对石英制品的抵接力及悬臂的摆动后维持力通过试验得到，以确保静密封面完成对石英制品的侧面密封为适宜。当石英制品发生形变沿长度方向收缩时，铁制牵引条始终对通口保持包
覆状态，且悬臂始终与石英制品侧面为“微抵接”状态，既不会因为石英制品的收缩造成密封失效，亦不会同传统的压合密封结构对石英制品造成较大的水平方向力，该水平方向力会对石英制品的强度造成影响，同时会影响抽真空过程中升降触头上压力传感器的信息收集。
[0012]作为优选，所述设备框架上设置有减震组件，所述减震组件包括设置于工作基台与设备框架之间的减震器。所述减震组件用于将抽真空工作过程中产生的振动进行削弱，避免其振动影响石英制品的泵体以及产品密封组件与石英制品之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英制品抽真空设备，其特征是，包括设备框架，所述设备框架包括工作基台，所述工作基台下方设置有连通于石英制品内腔的抽真空组件，所述工作基台上设置有产品密封组件，所述产品密封组件抵接石英制品，所述产品密封组件包括有柔性密封部，所述柔性密封部可包覆密封石英制品上的通口。2.根据权利要求1所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述产品密封组件包括内部设置有密封腔的密封块，所述密封腔内设置有沿密封块宽度方向延伸的滑轨，所述滑轨上设置有电磁铁组件，所述柔性密封部设置于密封块的内侧面，所述柔性密封部为片体，所述柔性密封部包括有铁制牵引条。3.根据权利要求2所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述密封块内侧面还设置有静密封部，所述静密封部包括沿密封块内侧面边缘设置的密封槽，所述密封槽内设置有密封圈。4.根据权利要求2所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述柔性密封部包括沿密封块中轴线对称设置的上密封部和下密封部，所述上密封部包括有弹性密封件，所述弹性密封件顶部设置有安置槽，所述铁制牵引条设置于安置槽中。5.根据权利要求4所述的一种石英制品抽真空设备，其特征是，所述电磁铁组件包括上磁组和下磁组，所述上磁组设置于上...

【专利技术属性】
技术研发人员：项瀚翀，耿健，吴然红，杨军，
申请(专利权)人：杭州大和热磁电子有限公司，
类型：新型
国别省市：