基板载体、成膜装置及成膜方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不使基板载体整体的重量大幅增大而能够在保持基板的状态下稳定地翻转、传送的基板载体。基板载体具备：具有保持基板的第一面及作为第一面的相反侧的面的第二面的板状构件；配置在第一面侧，分别具有用于保持基板的粘着面的多个粘着构件；以及配置在第二面侧的第一肋，多个粘着构件包括沿着第一面排成列状的第一粘着构件组，将第一粘着构件组的各自的粘着面垂直投影到第一面而得到的区域与将第一肋垂直投影到第一面而得到的区域重叠。域重叠。域重叠。

【技术实现步骤摘要】
基板载体、成膜装置及成膜方法


[0001]本专利技术涉及基板载体、成膜装置及成膜方法。

技术介绍

[0002]作为制造有机EL显示器的方法，已知有经由以规定的图案形成有开口的掩模在基板上成膜，由此形成规定的图案的膜的掩模成膜法。在掩模成膜法中，在将掩模与基板进行了位置对合之后，使掩模与基板紧贴进行成膜。
[0003]专利文献1记载了使基板保持于夹盘(也称为“基板载体”)，按照各夹盘传送基板的情况。由此，即使是挠曲大的大面积基板也能够进行传送。而且，专利文献1中记载了下述内容：使基板以其处理面朝向铅垂方向上方的状态保持于基板载体，然后，机械地保持基板载体的侧面并通过使其旋转180
°
而翻转，将基板的处理面改变成朝向铅垂方向下方。
[0004]【现有技术文献】
[0005]【专利文献】
[0006]【专利文献1】日本特开2013
‑
55093号公报

技术实现思路

[0007]【专利技术要解决的课题】
[0008]近年来，为了有机EL显示器的大面积化、生产效率本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板载体，其特征在于，所述基板载体具备：板状构件，所述板状构件具有保持基板的第一面及作为所述第一面的相反侧的面的第二面；多个粘着构件，所述多个粘着构件配置在所述第一面侧，分别具有用于保持所述基板的粘着面；及第一肋，所述第一肋配置在所述第二面侧，所述多个粘着构件包括沿着所述第一面排成列状的第一粘着构件组，将所述第一粘着构件组的各自的所述粘着面垂直投影到所述第一面而得到的区域与将所述第一肋垂直投影到所述第一面而得到的区域重叠。2.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，在所述第二面中还具有沿着所述板状构件的周缘部配置的第二肋。3.根据权利要求2所述的基板载体，其特征在于，所述多个粘着构件包括沿着所述板状构件的周缘部排列的第二粘着构件组，将所述第二粘着构件组的各自的所述粘着面垂直投影到所述第一面而得到的区域与将所述第二肋垂直投影到所述第一面而得到的区域重叠。4.根据权利要求2所述的基板载体，其特征在于，所述第一肋的刚性比所述第二肋的刚性高。5.根据权利要求2所述的基板载体，其特征在于，所述第一肋的与长度方向垂直的截面的截面积大于所述第二肋的与长度方向垂直的截面的截面积。6.根据权利要求2所述的基板载体，其特征在于，构成所述第一肋的材料的杨氏模量大于构成所述第二肋的材料的杨氏模量。7.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述多个粘着构件包括沿着所述板状构件的周缘部排列的第二粘着构件组。8.根据权利要求7所述的基板载体，其特征在于，在所述第一粘着构件组的排列方向上，在所述第一粘着构件组的两侧配置有所述第二粘着构件组中的两组，将所述第二粘着构件组中的所述两组的所述粘着面垂直投影到所述第一面而得到的区域与将所述第一肋垂直投影到所述第一面而得到的区域重叠。9.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，在与所述第一粘着构件组的排列方向交叉的方向上，所述第一肋配置于所述板状构件的中央。10.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述第一肋拆装自如地配置于所述板状构件。11.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述多个粘着构件拆装自如地配置于所述板状构件。12.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述第一肋拆装自如地配置于所述板状构件，
所述多个粘着构件拆装自如地配置于所述板状构件。13.根据权利要求1所述的基板载体，其特征在于，所述基板...

【专利技术属性】
技术研发人员：铃木健太郎，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，
类型：发明
国别省市：