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本发明提供一种不使基板载体整体的重量大幅增大而能够在保持基板的状态下稳定地翻转、传送的基板载体。基板载体具备：具有保持基板的第一面及作为第一面的相反侧的面的第二面的板状构件；配置在第一面侧，分别具有用于保持基板的粘着面的多个粘着构件；以及配...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

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