一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构制造技术

本申请提供一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，真空蒸镀机的伞架治具1通过所述双保险连接结构2与真空蒸镀机的为伞架治具1提供驱动力的部件连接，伞架治具1包括伞架基架11和连接杆12，所述连接杆12固定在伞架基架11的中心的顶端，连接杆12包括固定部121和杆体部122，连接杆12通过固定部121与伞架基架11固定，杆体部122的上部具有凹槽123和水平通孔124，水平通孔124位于凹槽123的上方，所述双保险连接结构2包括：卡件21和保险销22，杆体部122穿过为伞架治具1提供驱动力的部件，将卡件21卡入杆体部122的凹槽123内，保险销22插入杆体部122的水平通孔124内，将伞架治具1与真空蒸镀机的为伞架治具1提供驱动力的部件进行双保险连接。保险连接。保险连接。

【技术实现步骤摘要】
一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构


[0001]本技术涉及真空蒸镀机
，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构。

技术介绍

[0002]真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。
[0003]在真空蒸镀的加工工艺中，一般包括蒸镀源以及设置在蒸镀源上方用来承载被镀膜工件的伞状治具，伞状治具固定被镀膜工件，并且在蒸镀的过程中，为了镀膜的均匀性，一般伞状治具会进行，即伞状治具会真空蒸镀机的为伞架治具提供驱动力的部件连接，镀膜完成后伞状治具取出。但是，在现有技术中，要么为了伞状治具旋转时的牢固性，采用复杂的连接结构将伞架治具与提供驱动力的部件连接，那么伞状治具取出时不易取出；要么为了方便伞状治具取出，那么伞状治具旋转时存在安全隐患。
[0004]有鉴于此，本技术提供一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，其特征在于，真空蒸镀机的伞架治具(1)通过所述双保险连接结构(2)与真空蒸镀机的为伞架治具(1)提供驱动力的部件连接，伞架治具(1)包括伞架基架(11)和连接杆(12)，所述连接杆(12)固定在伞架基架(11)的中心的顶端，连接杆(12)包括固定部(121)和杆体部(122)，连接杆(12)通过固定部(121)与伞架基架(11)固定，杆体部(122)的上部具有凹槽(123)和水平通孔(124)，水平通孔(124)位于凹槽(123)的上方，所述双保险连接结构(2)包括：卡件(21)和保险销(22)，杆体部(122)穿过为伞架治具(1)提供驱动力的部件，将卡件(21)卡入杆体部(122)的凹槽(123)内，保险销(22)插入杆体部(122)的水平通孔(124)内，将伞架治具(1)与真空蒸镀机的为伞架治具(1)提供驱动力的部件进行双保险连接。2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，其特征在于，伞架基架(11)包括通孔(111)，通孔(111)有多个，通孔(111)均匀分布在伞架基架(11)上。3.如权利要求1所述的真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，其特征在于，伞架治具(1)还包括：托盘(13)、压盖(14)、和压条(15)，托盘(13)为中空的薄片，将被镀膜工件放置在托盘(13)上，压盖(14)盖在被镀膜工件上，压条(15)压住压盖(14)，使得托盘(13)、被镀膜工件及压盖(14)与伞架基架(11)固定。4.如权利要求3所述的真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，其特征在于，托盘(13)的外直径大于等于通孔(111)的直径，托盘(13)的内直径小于被镀膜工件的直径，被镀膜工件的直径大于托盘(13)的内直径、并且小于等于托盘(13)的外直径，压盖(14)压住被镀膜工件，托盘(13)与伞架基架(11)固定、或者分离、或者托盘(13)为伞架基架(11)的一部分。5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，其特征在于，通孔(111)、托盘(13)、压盖(14)的形状与被镀膜工件的形状相对应。6.如权利要求5所述的真空蒸镀机的伞架治具的双保险连接结构，其特征在于，压盖(14)包括气孔(141)，气孔(141)用于被镀膜工件镀膜的时候，将被镀膜工件与压盖(14)...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛蒙晓，
申请(专利权)人：苏州佑伦真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：