MEMS气体变送装置制造方法及图纸

MEMS气体变送装置，包括测量气室、进气双卡套接头、出气双卡套接头、压力传感器和MEMS氢气浓度传感器，测量气室内设有内端口相互连通的进气孔、出气孔、第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，进气双卡套接头的一端安装在进气孔的外端口内，出气双卡套接头的一端安装在出气孔的外端口内，压力传感器的连接端安装在第一传感器安装孔内，MEMS氢气浓度传感器安装在第二传感器安装孔内。本实用新型专利技术结构简单、体积小巧，便于安装及拆卸，测量气室内部空间小，测量过程中气体残留少，且通过引入压力传感器，使得本实用新型专利技术测量速度迅速，测量数值准确。准确。准确。

【技术实现步骤摘要】
MEMS气体变送装置


[0001]本技术属于氢气浓度监测
，具体涉及一种MEMS气体变送装置。

技术介绍

[0002]当核电站轻水堆发生严重事故时，在较高的燃料覆层温度下，水蒸气会与金属锆发生反应，同时高温下熔化的堆芯残骸会与混凝土发生反应，这两个反应都可以生成大量氢气，反应产生的氢气泄漏进入安全壳大气中，并与空气和水蒸气混合，在局部就可能形成易燃条件。因此，监测安全壳内的氢气浓度对整个系统的安全性至关重要。

技术实现思路

[0003]本技术为了解决现有技术中的不足之处，提供一种对从安全壳引出的气体的氢气浓度进行检测的MEMS气体变送装置。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：MEMS气体变送装置，包括测量气室、进气双卡套接头、出气双卡套接头、压力传感器和MEMS氢气浓度传感器，测量气室内设有内端口相互连通的进气孔、出气孔、第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，进气双卡套接头的一端安装在进气孔的外端口内，出气双卡套接头的一端安装在出气孔的外端口内，压力传感器的连接端安装在第一传感器安装孔内，MEMS氢本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.MEMS气体变送装置，其特征在于：包括测量气室、进气双卡套接头、出气双卡套接头、压力传感器和MEMS氢气浓度传感器，测量气室内设有内端口相互连通的进气孔、出气孔、第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，进气双卡套接头的一端安装在进气孔的外端口内，出气双卡套接头的一端安装在出气孔的外端口内，压力传感器的连接端安装在第一传感器安装孔内，MEMS氢气浓度传感器安装在第二传感器安装孔内。2.根据权利要求1所述的MEMS气体变送装置，其特征在于：进气孔和出气孔具有同一条中心线，两个传感器安装孔具有同一条中心线，传感器安装孔的中心线与进气孔的中心线垂直。3.根据权利要求1或2所述的MEMS气体变送装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪献忠，李建国，曹威，侯新梅，
申请(专利权)人：河南省日立信股份有限公司，
类型：新型
国别省市：