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MEMS气体变送装置，包括测量气室、进气双卡套接头、出气双卡套接头、压力传感器和MEMS氢气浓度传感器，测量气室内设有内端口相互连通的进气孔、出气孔、第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，进气双卡套接头的一端安装在进气孔的外端口内，出气双卡套...
该专利属于河南省日立信股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南省日立信股份有限公司授权不得商用。

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