本实用新型专利技术公开了一种硅片干燥装置，该种硅片干燥装置包括制绒花篮传送装置、第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔和第二缓冲腔，制绒花篮传送装置用于输送等距排放的装载硅片的制绒花篮，所述制绒花篮传送装置沿传送方向依次设置有第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔和第二缓冲腔，各腔室之间有双侧门隔开成封闭空间，缓冲腔和低压腔分别与真空系统相连，干燥腔内置有气体过滤还原系统、加热温控系统、气体吹扫系统和水汽冷凝循环系统。通过上述方式，本实用新型专利技术能够将制绒后的硅片及制绒花篮干燥，且避免了干燥过程中由于水汽及氧化性气氛导致的硅片表面氧化，减小了产品制程不良。产品制程不良。产品制程不良。
【技术实现步骤摘要】
一种硅片干燥装置
[0001]本技术涉及半导体器件生产
，特别是涉及一种硅片干燥装置。
技术介绍
[0002]环境污染、能源危机日益凸显，近几年来，我国注重能源结构调整，优先发展清洁能源，并取得了重大成效，太阳能取之不尽、用之不竭，是最有发展潜力的新能源，是未来能源系统的主力，太阳能电池是可将太阳能转换成电能的器件，技术主要分为三类：第一类为单晶/多晶传统扩散法技术，效率较低已被市场淘汰；第二类为PERC技术，是前一种技术的升级，经增加一些设备可提升效率，已是现有市场的主流技术；第三类技术为HIT、IBC或HBC技术为代表的N型高效太阳能技术，该类技术中尤其HIT异质结技术由于效率提升潜力大，2020年已呈现井喷现象，取代PERC市场成为新的市场主流将是必然趋势。
[0003]无论是常规PERC电池还是TOPcon结构、HIT结构，都需要硅片清洗制绒工序，常规的制绒烘干设备结构示意图如图1所示，设备包括上下料平台、烘干腔、空气过滤、压缩风机、加热与温控系统；制绒经慢提拉过程后的制绒花篮01置于上料平台02上，制绒花篮经传动装置03的皮带带动，制绒花篮被传送至烘干腔04，烘干腔内装有若干个压缩风机05，压缩风机可将经空气过滤器06过滤后的空气压缩加速后吹扫至花篮上，吹扫烘干后，经传送皮带传送至下料平台完成整个烘干过程。
[0004]硅片清洗完后的烘干过程常常采用加热的高压空气吹扫烘干，此时硅片表面处于湿热且氧气充分的环境中，表面有水及氧气的暴露环境下不可避免的硅片表面会被氧化，但是高效电池对其硅片表面有较高的标准，硅片表面的氧化层不可过厚，否则将影响后续制程尤其是镀膜工艺，所以为了减弱烘干过程导致的硅片表面氧化，常常会选择降低烘干温度、减弱风速、添加氮气辅助吹扫等方式来改善，虽然这些方式可起到一定的效果，但是却增加了烘干的时间而影响产能，且往往由于影响因素较多很难找一个稳定的工艺条件，基于以上缺陷和不足，有必要对现有的技术予以改进，设计出一种硅片干燥装置。
技术实现思路
[0005]本技术主要解决的技术问题是提供一种硅片干燥装置，结构紧凑，运行平稳，能够将制绒后的硅片及制绒花篮干燥，且避免了干燥过程中由于水汽及氧化性气氛导致的硅片表面氧化，减小了产品制程不良。
[0006]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：提供一种硅片干燥装置，该种硅片干燥装置包括制绒花篮传送装置、第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔、第二缓冲腔、真空系统、过滤还原系统、加热温控系统、气体吹扫系统和水汽冷凝循环系统，制绒花篮传送装置用于输送等距排放的装载硅片的制绒花篮，所述制绒花篮传送装置沿传送方向依次设置有第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔和第二缓冲腔，各腔室之间有双侧门隔开成封闭空间，缓冲腔和低压腔分别与真空系统相连，可被真空泵短时间内抽气至低压状态，其抽气后压强可维持在10～1000Pa以内，干燥腔内置有气体过滤还
原系统、加热温控系统、气体吹扫系统和水汽冷凝循环系统。
[0007]优选的是，所述干燥腔顶部设置有进气管，进气管出口处设置有高效过滤器，高效过滤器下方的出气管道上外装有加热装置，出气管道下方通过三个管道连接有三个吹扫室，吹扫室里装有压缩风机，压缩风机处的干燥腔内装有温度传感器，干燥腔两侧通过回流管连接到高效过滤器，回流管中部安装有冷凝装置，所述高效过滤器组成过滤还原系统；所述加热装置和温度传感器组成加热温控系统；吹扫室和压缩风机组成气体吹扫系统，回流管和冷凝装置组成水汽冷凝循环系统。
[0008]优选的是，所述高效过滤器的滤芯内置有具有还原性的活性炭，用于过滤气体中的固体颗粒、水汽、有机气体、SO2及臭氧等氧化性强的气体，高效过滤器可过滤空气、氮气或两者混合气体。
[0009]优选的是，所述第一缓冲腔和第一低压腔上依次设置有第一侧门、第二侧门和第三侧门，第二低压腔上第二缓冲腔依次设置第四侧门、第五侧门和第六侧门，第一缓冲腔、第一低压腔、第二低压腔和第二缓冲腔分别通过第一真空泵、第二真空泵、第三真空泵和第四真空泵与真空系统连接。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]整体装置密闭空间正压及缓冲腔抽气换气，减小了装载硅片制绒花篮进出带入的空气污染；
[0012]水汽冷凝循环系统，热的水汽骤然遇低温的玻璃壁后迅速被液化，而后汇流入收集瓶中，气体中其他气体继续传输循环下去，加快降低烘干区域气体的湿度，有利于加快烘干的速度，减小烘干时间；
[0013]气体经过滤还原高效过滤器，尽可能保证吹扫至硅片表面的气体洁净，减少其表面的氧化及污染；
[0014]根据温度传感器感知的温度反馈调节加热装置功率，从而精确控制干燥温度，温度高有利于加速干燥过程，但存在加快硅片表面与水汽的氧化过程，加热温控系统用于干燥过程的工艺调试。
附图说明
[0015]图1为现有技术中的制绒烘干设备的结构示意图。
[0016]图2为一种硅片干燥装置的结构示意图。
具体实施方式
[0017]下面结合附图对本技术较佳实施例进行详细阐述，以使技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。
[0018]请参阅图1和图2，本技术实施例包括：
[0019]一种硅片干燥装置，该种硅片干燥装置包括制绒花篮传送装置1、第一缓冲腔2、第一低压腔3、干燥腔4、第二低压腔5、第二缓冲腔6、真空系统、过滤还原系统、加热温控系统、气体吹扫系统和水汽冷凝循环系统，制绒花篮传送装置1用于输送等距排放的装载硅片的制绒花篮11，所述制绒花篮传送装置1沿传送方向依次设置有第一缓冲腔2、第一低压腔3、
干燥腔4、第二低压腔5和第二缓冲腔6，各腔室之间有双侧门隔开成封闭空间，缓冲腔和低压腔分别与真空系统相连，可被真空泵短时间内抽气至低压状态，其抽气后压强可维持在10～1000Pa以内，干燥腔4内置有气体过滤还原系统、加热温控系统、气体吹扫系统和水汽冷凝循环系统。
[0020]所述干燥腔4顶部设置有进气管41，进气管41出口处设置有高效过滤器42，高效过滤器42下方的出气管道43上外装有加热装置44，出气管道43下方通过三个管道连接有三个吹扫室45，吹扫室45里装有压缩风机46，压缩风机46处的干燥腔4内装有温度传感器47，干燥腔4两侧通过回流管48连接到高效过滤器42，回流管48中部安装有冷凝装置49，所述高效过滤器42组成过滤还原系统；所述加热装置44和温度传感器47组成加热温控系统；吹扫室45和压缩风机46组成气体吹扫系统，回流管48和冷凝装置49组成水汽冷凝循环系统。
[0021]所述高效过滤器42的滤芯内置有具有还原性的活性炭，用于过滤气体中的固体颗粒、水汽、有机气体、SO2及臭氧等氧化性强的气体，高效过滤器42可过滤空气、氮气或两者混合气体。
[0022]所述第一缓冲腔2和第一低压腔3上依次设置有第一侧门6本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片干燥装置，其特征在于：该种硅片干燥装置包括制绒花篮传送装置、第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔、第二缓冲腔、真空系统、过滤还原系统、加热温控系统、气体吹扫系统和水汽冷凝循环系统，制绒花篮传送装置用于输送等距排放的装载硅片的制绒花篮，所述制绒花篮传送装置沿传送方向依次设置有第一缓冲腔、第一低压腔、干燥腔、第二低压腔和第二缓冲腔，各腔室之间有双侧门隔开成封闭空间，缓冲腔和低压腔分别与真空系统相连，干燥腔内置有气体过滤还原系统、加热温控系统、气体吹扫系统和水汽冷凝循环系统。2.根据权利要求1所述的一种硅片干燥装置，其特征在于：所述干燥腔顶部设置有进气管，进气管出口处设置有高效过滤器，高效过滤器下方的出气管道上外装有加热装置，出气管道下方通过三个管道连接有三个吹扫室，吹扫室里装有压缩风机，压缩风机处的干燥腔内装有温度传...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨星，李长江，周文彬，
申请(专利权)人：苏州晟成光伏设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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