环吸除尘式装料设备制造技术

环吸除尘式装料设备，包括底座，在底座上安装水平转动的底托，在底托上方悬置与底托同轴的吸尘环，所述吸尘环为中空结构，且在吸尘环内圆面设有周向均匀分布的吸尘孔，在吸尘环上设有排尘孔。在向石英坩埚中装填单晶硅原料过程中，其可去除空气的粉尘和附着在单晶硅原料表面的多晶硅粉，提高产品质量，改善车间作业环境。业环境。业环境。

【技术实现步骤摘要】
环吸除尘式装料设备


[0001]本技术涉及单晶硅装料设备，尤其涉及一种环吸除尘式装料设备。

技术介绍

[0002]在单晶硅生长工序前的装料工序中，单晶硅原料是以一定规律铺至石英坩埚内，此过程中无论是空气的粉尘还是附着在单晶硅原料表面的多晶硅粉都会被带入石英坩埚内，污染了单晶硅原料，造成产品质量低，同时也污染了车间作业环境。

技术实现思路

[0003]本技术是为了解决上述技术问题，提供一种环吸除尘式装料设备，在向石英坩埚中装填单晶硅原料过程中，其可去除空气的粉尘和附着在单晶硅原料表面的多晶硅粉，提高产品质量，改善车间作业环境。
[0004]本技术的技术解决方案是：
[0005]环吸除尘式装料设备，包括底座，在底座上安装水平转动的底托，其特殊之处在于：在底托上方悬置与底托同轴的吸尘环，所述吸尘环为中空结构，且在吸尘环内圆面设有周向均匀分布的吸尘孔，在吸尘环上设有排尘孔。
[0006]进一步优选，在吸尘环内设有多个周向均匀分布的弧形隔板，所述弧形隔板位于吸尘孔与排尘孔之间，相邻二个弧形隔板之间形成分流口，平均各吸尘孔风力大小。
[0007]进一步优选，在底座上安装立柱，所述吸尘环安装在立柱上。
[0008]进一步优选，在立柱上安装旋臂，所述旋臂将吸尘环夹持固定。
[0009]进一步优选，所述旋臂是由对扣布置的左旋臂和右旋臂构成，所述左旋臂和右旋臂分别与立柱铰接。
[0010]进一步优选，在排尘孔上安装止逆阀，防止粉尘回流。
[0011]进一步优选，在底座上安装驱动底托匀速转动的驱动机构，在装料过程中，提高物料径向分布均匀性。
[0012]进一步优选，所述驱动机构是由马达、连接在马达输出轴端与底托之间的减速机构成。
[0013]本技术的有益效果是：
[0014]吸尘环的排尘孔通过管路连接吸尘器，在吸尘环内圆面周向均匀分布的吸尘孔形成环吸气流，单晶硅原料经过吸尘环的过程中，掺杂在单晶硅原料中的多晶硅粉及空气中的粉尘均经吸尘环吸入吸尘器，除杂效果佳，提高了产品质量，改善了车间作业环境。
附图说明
[0015]图1是本技术的结构示意图；
[0016]图2是图1中吸尘环的结构示意图；
[0017]图中：1
‑
底座，2
‑
底托，3
‑
马达，4
‑
减速机，5
‑
立柱，6
‑
旋臂，7
‑
吸尘环，8
‑
吸尘孔，9
‑
弧形隔板，10
‑
分流口，11
‑
止逆阀。
具体实施方式
[0018]如图1、图2所示，环吸除尘式装料设备，包括底座1，在底座1上安装水平转动的底托2，在底座1上安装驱动底托2匀速转动的驱动机构，所述驱动机构是由马达3、连接在马达3输出轴端与底托2之间的减速机4构成，在底座1上位于底托2一侧安装立柱5，在立柱5上端安装旋臂6，所述旋臂6是由对扣布置的左旋臂6和右旋臂6构成，所述左旋臂6和右旋臂6分别与立柱5铰接，在左旋臂6与右旋臂6支架夹持与底托2同轴的吸尘环7，所述吸尘环7为中空结构，且在吸尘环7内圆面设有周向均匀分布的吸尘孔8，在吸尘环7底面设有排尘孔，在排尘孔上安装止逆阀11，在吸尘环7内设有多个周向均匀分布的弧形隔板9，所述弧形隔板9位于吸尘孔8与排尘孔之间，相邻二个弧形隔板9之间形成分流口10。
[0019]操作时，首先将止逆阀11出风口通过管路连接吸尘器，然后将承托石英坩埚的石墨埚帮安装在底托2上，并启动启动马达3带动石墨埚帮转动，再将单晶硅原料经过吸尘环7缓慢倒入石英坩埚中，在单晶硅原料经过吸尘环7的过程中，掺杂在单晶硅原料中的多晶硅粉及空气中的粉尘均经吸尘环7吸入吸尘器。
[0020]以上仅为本技术的具体实施例而已，并不用于限制本技术，对于本领域的技术人员来说，本技术可以有各种更改和变化。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.环吸除尘式装料设备，包括底座，在底座上安装水平转动的底托，其特征在于：在底托上方悬置与底托同轴的吸尘环，所述吸尘环为中空结构，且在吸尘环内圆面设有周向均匀分布的吸尘孔，在吸尘环上设有排尘孔。2.根据权利要求1所述的环吸除尘式装料设备，其特征在于：在吸尘环内设有多个周向均匀分布的弧形隔板，所述弧形隔板位于吸尘孔与排尘孔之间，相邻二个弧形隔板之间形成分流口。3.根据权利要求1所述的环吸除尘式装料设备，其特征在于：在底座上安装立柱，所述吸尘环安装在立柱上。4.根据权利要求3所述的环吸除尘式装料设...

【专利技术属性】
技术研发人员：李辰宇，潘连胜，
申请(专利权)人：锦州神工半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：