一种双端面研磨机的晶片夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种双端面研磨机的晶片夹持装置，包括底箱，底箱顶部外壁上通过螺栓安装有工作台，且工作台顶部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑柱，支撑柱顶部外壁上通过螺栓安装有顶板，工作台顶部外壁上转动连接有底部研磨盘，且底部研磨盘靠近中心处开有凹槽，凹槽贯穿至工作台底部内壁，底箱内部焊接有安装板，且安装板顶部外壁上通过螺栓安装有第二伸缩汽缸，第二伸缩汽缸顶部外壁上通过螺栓安装有固定座，且固定座顶部外壁上粘接有软性密封垫。本实用新型专利技术通过设置的固定座和吸气孔，通过吸气孔产生吸力从而将晶片吸附在固定座的顶部外壁上，从而能够在使用时对晶片起到固定的作用，能够方便工作人员对晶片的固定和安装。安装。安装。

【技术实现步骤摘要】
一种双端面研磨机的晶片夹持装置


[0001]本技术涉及双面研磨机
，尤其涉及一种双端面研磨机的晶片夹持装置。

技术介绍

[0002]半导体晶片常用于生产集成电路芯片，在这些集成电路芯片上印刷有电路，电路首先以微缩形式印刷在晶片表面上，然后将晶片切割成电路芯片，但是这微型电路要求晶片表面极端平整且平行以确保将电路恰当地印刷在晶片的整个表面上；为此，通常在晶片从晶锭上切割下来以后使用研磨工艺来提高它们的某些特征。
[0003]但是现有的晶片在加工的过程中所用到的夹持装置，在使用的过程中不方便工作人员对晶片的固定，这就导致了工作人员在对晶片固定的过程中需要消耗大量的时间，这就导致了工作效率的降低。因此，亟需设计一种双端面研磨机的晶片夹持装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的不方便工作人员对晶片的固定，在固定时需要较多的步骤，导致工作效率降低的缺点，而提出的一种双端面研磨机的晶片夹持装置。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种双端面研磨机的晶片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双端面研磨机的晶片夹持装置，包括底箱（1），其特征在于，所述底箱（1）顶部外壁上通过螺栓安装有工作台（2），且工作台（2）顶部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑柱（3），所述支撑柱（3）顶部外壁上通过螺栓安装有顶板（4），所述工作台（2）顶部外壁上转动连接有底部研磨盘（10），且底部研磨盘（10）靠近中心处开有凹槽（11），所述凹槽（11）贯穿至工作台（2）底部内壁，所述底箱（1）内部焊接有安装板（16），且安装板（16）顶部外壁上通过螺栓安装有第二伸缩汽缸（20），所述第二伸缩汽缸（20）顶部外壁上通过螺栓安装有固定座（12），且固定座（12）顶部外壁上粘接有软性密封垫（13），所述固定座（12）顶部外壁靠近中心处焊接有密封头（14），且密封头（14）一侧外壁上和固定座（12）底部内壁上均开有吸气孔（15）。2.根据权利要求1所述的一种双端面研磨机的晶片夹持装置，其特征在于，所述顶板（4）顶部外壁靠近中心处通过螺栓安装有第一伸缩汽缸（5），且第一伸缩汽缸（5）输出端贯穿至顶板（4）底部外壁，所述第一伸缩汽缸（5）输出端通过螺栓安装有连接板（6），且连接板（6）底部外壁上通过螺栓安装有驱动电机（7），所述驱动电机（7）输出端通过螺栓安装...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄金民，范玉辉，黄绮珊，胡国喜，
申请(专利权)人：新乡市斯凯夫机械有限公司，
类型：新型
国别省市：