下载一种双端面研磨机的晶片夹持装置的技术资料

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本实用新型公开了一种双端面研磨机的晶片夹持装置,包括底箱,底箱顶部外壁上通过螺栓安装有工作台,且工作台顶部外壁靠近四角处均通过螺栓安装有支撑柱,支撑柱顶部外壁上通过螺栓安装有顶板,工作台顶部外壁上转动连接有底部研磨盘,且底部研磨盘靠近中心处...
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