弹性表面波谐振器和滤波器及天线共用器制造技术

本发明专利技术公开了弹性表面波谐振器和滤波器及天线共用器，其中，谐振器包括压电基板，以及形成于压电基板上的叉指换能器，所述叉指换能器包括两个对置的梳齿电极，每个所述梳齿电极均具有汇流条以及交替设置在所述汇流条上的多根金属电极指；在所述汇流条上形成有用以降低弹性表面波在垂直于弹性波传输方向的泄露的反射栅结构，所述反射栅结构包括多根横格条和竖格条，由所述横格条和竖格条垂直交叉形成阵列的栅格。本发明专利技术的谐振器通过在叉指换能器的汇流条上设置有反射栅结构，能够的有效的降低弹性表面波在垂直于弹性表面波传输方向的能量泄露比例，从而增加谐振器Q值，同时可使得谐振器设计更加紧凑，有利于小型化的实现。有利于小型化的实现。有利于小型化的实现。

【技术实现步骤摘要】
弹性表面波谐振器和滤波器及天线共用器


[0001]本专利技术涉及微波通信
，具体涉及一种弹性表面波谐振 器、滤波器以及天线共用器。

技术介绍

[0002]随着5G通信技术的发展，通信频带不断增长，要求射频前端器 件的高性能化和小型化。弹性表面波滤波器件(SAW滤波器)被广 泛应用到为射频前端器件中的滤波器。SAW滤波器的基本组成单元 为谐振器，或者换能器。当射频信号做为输入进行接入输入端时，通 过压电效应将电信号能量转化为弹性表面波声学能量，输出端插值通 过逆压电效应将弹性表面波转化为输出信号。
[0003]弹性表面波主要传播方向为垂直叉指的方向，同时在其他方向存 在衍射波。其中一部分声学能量会从垂直于谐振器传输方向泄露，影 响了谐振器Q值的提升。为了控制泄露声学能量的占比，一般对叉 指的最低长度进行限制，限制了滤波器小型化的。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供弹性表面波谐振器和滤波器及天线共用器，以解决上 述问题。
[0005]本专利技术提供的一种弹性表面波谐振器，包括压电基板，以及形成 于压电基板上的叉指换能器，所述叉指换能器包括两个对置的梳齿电 极，每个所述梳齿电极均具有汇流条以及交替设置在所述汇流条上的 多根金属电极指；在所述汇流条上形成有用以降低弹性表面波在垂直 于弹性波传输方向的泄露的反射栅结构，所述反射栅结构包括多根横 格条和竖格条，由所述横格条和竖格条垂直交叉形成阵列的栅格。
[0006]作为优选的，每个所述梳齿电极中，相邻两根金属电极指之间的 设置有一根与汇流条连接的虚设指，一个梳齿电极的虚设指与另一个 梳齿电极的金属电极指相对设置。
[0007]作为优选的，在每个所述梳齿电极中，竖格条的宽度与金属电极 指的宽度均为X1，栅格的长度与相邻的两根金属电极指的间距相同， 栅格的长度为X2。
[0008]作为优选的，在每个所述梳齿电极中，竖格条的宽度与金属电极 指的宽度均为X1，栅格的长度为X2，金属电极指的间距为 X3,X2＝2*X3+X1。
[0009]进一步优选的，在每个所述梳齿电极中，横格条的宽度为Y1， 栅格的宽度为Y2，Y1+Y2之和为X1+X3之和的0.8
‑
1.2倍。
[0010]进一步优选的，Y1与Y2的比值设置为1：0.8
‑
1.2。
[0011]作为优选的，所述反射栅结构中，所述栅格的行数设置为2
‑
10 行。
[0012]作为优选的，在每个所述梳齿电极中，栅格的长度与相邻金属电 极指和虚设指的间距相同，或者，栅格的长度与相邻两根虚设指的间 距相同。
[0013]作为优选的，所述叉指换能器的两端分别设置有反射栅。
[0014]本专利技术提供的一种弹性表面波滤波器，其具有以上所述的弹性表 面波谐振器。
[0015]本专利技术提供的一种天线共用器，其具有发送滤波器与接收滤波 器，并使用以上所
述的弹性表面波滤波器作为所述发送滤波器或接收 滤波器。
[0016]本专利技术至少具有以下技术效果：
[0017]本专利技术的谐振器通过在叉指换能器的汇流条上设置有反射栅结 构，能够的有效的降低弹性表面波在垂直于弹性表面波传输方向的能 量泄露比例，从而增加谐振器Q值，特别是在声孔径小于16倍波长 的情况下，Q值改善比较明显。可使得谐振器与滤波器设计可以更加 紧凑，有利于小型化的实现。
附图说明
[0018]图1为本专利技术一种实施例的谐振器的结构示意图；
[0019]图2为图1实施例中谐振器的放大结构示意图；
[0020]图3为本专利技术另一实施例的谐振器的结构示意图；
[0021]图4为图3实施例中谐振器的放大结构示意图；
[0022]图5为本专利技术实施例与对比例的Y参数测试曲线图；
[0023]图6为本专利技术实施例与对比例的Z参数测试曲线图。
[0024]附图标记：
[0025]1‑
汇流条、2
‑
金属电极指、3
‑
虚设指、4
‑
反射栅结构、41
‑
横格条、 42
‑
竖格条、43
‑
栅格、5
‑
反射栅。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方 案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分 实施例，而不是全部的实施例。若未特别指明，实施例中所用的技术 手段为本领域技术人员所熟知的常规手段。
[0027]结合附图1
‑
6，本专利技术提供如下实施例：
[0028]本实施例提供一种弹性表面波谐振器，包括压电基板(图中未示 出)，以及形成于压电基板上的叉指换能器，所述叉指换能器包括两 个对置的梳齿电极，每个所述梳齿电极均具有汇流条1以及交替设置 在所述汇流条1上的多根金属电极指2，金属电极指2垂直于汇流条 1的长度方向设置；在所述汇流条1上形成有用以降低弹性表面波在 垂直于弹性波传输方向的泄露的反射栅结构4，所述反射栅结构包括 多根横格条41和竖格条42，由所述横格条41和竖格条42垂直交叉 形成阵列的栅格43。为方便进行说明，在本专利技术实施例中，设定弹 性表面波的传输方向为X方向，并设定垂直于弹性波传输方向的方 向为Y方向。应该说明的是，在本实施例提供的谐振器中，通过在 叉指换能器的汇流条1上设置反射栅结构4，能够的有效的降低弹性 表面波在Y方向的能量泄露比例，从而增加谐振器Q值。现有的谐 振器设计中，为了控制泄露声学能量的占比，一般对叉指的最低长度 (或者声孔径)进行限制，从而限制了滤波器实现小型化。本实施例 采用了不同于现有谐振器的设计方案，可有效控制能量在Y方向的 泄露，同时可进一步缩小声孔径尺寸。
[0029]参阅图1和图2所示，作为一种优选实施方式，在每个所述梳齿 电极中，相邻两根金属电极指2之间设置有一根与所述汇流条垂直连 接的虚设指3，一个梳齿电极的虚设指3与另一个梳齿电极的金属电 极指2相对设置。作为进一步优选的设置方式，在每个梳齿电极中， 将栅格43的长度(栅格在X方向的尺寸)设置为与相邻的两根金属 电极指2的间距相
同，或者，将栅格43的长度设置为与相邻的两根 虚设指3的间距相同。由此，可更为有效的减少能量在Y方向的泄 露。
[0030]作为一种优选的实施方式，在每个所述梳齿电极中，竖格条42 的宽度与金属电极指2的宽度均为X1，栅格43的长度为X2，相邻两 根金属电极指2的间距为X3,则X2＝2*X3+X1。
[0031]作为进一步的优选，在每个所述梳齿电极中，横格条41的宽度 为Y1，栅格43的宽度为Y2，Y1+Y2之和为X1+X3之和的0.8
‑
1.2倍。 由此，可进一步减少能量在Y方向的泄露量。
[0032]作为进一步的优选，Y1与Y2的比值设置为Y1：Y2＝1：0.8
‑...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种弹性表面波谐振器，包括压电基板，以及形成于压电基板上的叉指换能器，其特征在于，所述叉指换能器包括两个对置的梳齿电极，每个所述梳齿电极均具有汇流条以及交替设置在所述汇流条上的多根金属电极指；在所述汇流条上形成有用以降低弹性表面波在垂直于弹性波传输方向的泄露的反射栅结构，所述反射栅结构包括多根横格条和竖格条，由所述横格条和竖格条垂直交叉形成阵列的栅格。2.根据权利要求1所述的弹性表面波谐振器，其特征在于：每个所述梳齿电极中，相邻两根金属电极指之间的设置有一根与汇流条连接的虚设指，一个梳齿电极的虚设指与另一个梳齿电极的金属电极指相对设置。3.根据权利要求1或2所述的弹性表面波谐振器，其特征在于：在每个所述梳齿电极中，竖格条的宽度与金属电极指的宽度均为X1，栅格的长度与相邻两根金属电极指的间距相同，栅格的长度为X2。4.根据权利要求1或2所述的弹性表面波谐振器，其特征在于：在每个所述梳齿电极中，竖格条的宽度与金属电极指的宽度均为X1，栅格的长度为X2，金属电极指...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵孟娟，薛浩，董元旦，杨涛，
申请(专利权)人：成都频岢微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：