【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体及微电子，尤其涉及一种多工器。
技术介绍
1、随着当今集成电路的飞速发展，射频通信系统面临着高功率，小尺寸，低成本的挑战。fbar体声波滤波器和saw声表面波滤波器都属于声波滤波器，在不同方面展现出各自的优势。fbar体声波滤波器相比saw声表面波滤波器，具有高功率、插入损耗小等优点；而saw声表面波滤波器相比fbar体声波滤波器具有成本低，尺寸小，生产周期短等优点。
2、在射频通信系统中有发射信号和接收信号，多工器(即多个滤波器组合)中的一半滤波器用于发射链路，即发射滤波器，简称tx，用于过滤发射链路的无用信号；另一半滤波器用于接收链路，即接收滤波器，简称rx，用于过滤接收链路的无用信号。接收链路和发射链路对滤波器的要求不完全相同，tx需要更高的功率容量，更低的插入损耗，而rx则需要更高的灵敏度。如何具有高功率、小尺寸、低成本等优点的声波多工器成为亟待解决的问题。
技术实现思路
1、针对现有技术中的上述不足，本技术提供的一种多工器，本技术通过合理地布局多工器的...
【技术保护点】
1.一种多工器，其特征在于，包括由至少一个金属层与介质层交替压合组成的支持板，以及均位于支持板上的第一支路FBAR谐振器、第二支路FBAR谐振器、第三支路SAW谐振器和第四支路SAW谐振器；
2.根据权利要求1所述的多工器，其特征在于，所述金属层中位于最下面的金属层为电连接引角，除最下面金属层外的金属层布有螺旋电感以及平面金属层块，两层金属层中的平面金属层块形成平板电容。
3.根据权利要求1所述的多工器，其特征在于，所述介质层的层数比金属层少一层，所述介质层中填充有金属孔，并通过金属孔连接上下两层金属层。
4.根据权利要求1所述的多...
【技术特征摘要】
1.一种多工器，其特征在于，包括由至少一个金属层与介质层交替压合组成的支持板，以及均位于支持板上的第一支路fbar谐振器、第二支路fbar谐振器、第三支路saw谐振器和第四支路saw谐振器；
2.根据权利要求1所述的多工器，其特征在于，所述金属层中位于最下面的金属层为电连接引角，除最下面金属层外的金属层布有螺旋电感以及平面金属层块，两层金属层中的平面金属层块形成平板电容。
3.根据权利要求1所述的多工器，其特征在于，所述介质层的层数比金属层少一层，所述介质层中填充有金属孔，并通过金属孔连接上下两层金属层。
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【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，董元旦，赵孟娟，雷强，
申请(专利权)人：成都频岢微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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