一种扩散器框架安装螺栓的遮蔽结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扩散器框架安装螺栓的遮蔽结构，包括有扩散器框架本体，沿扩散器框架本体的上表面的四周设有环形开槽，扩散器框架本体上分别设有贯穿其底面与环形开槽的底面的若干个螺孔，若干个螺孔内分别螺合有用于连接扩散器框架本体与扩散器的螺栓；环形开槽内分别插装有若干个挡条，若干个挡条的底面分别对应与螺栓的顶端相抵触，压紧并遮蔽螺栓。本实用新型专利技术结构简单，在扩散器框架上设置环形开槽，采用螺栓将扩散器框架与扩散器连接完成后，将若干个挡条插装到环形开槽内，压紧螺栓并将其完全遮蔽，使其不会暴露在CVD基板沉积腔室中，避免了螺栓发生脱落和螺栓的端部发生电弧击穿，从而保证了CVD设备的正常运行。从而保证了CVD设备的正常运行。从而保证了CVD设备的正常运行。

【技术实现步骤摘要】
一种扩散器框架安装螺栓的遮蔽结构


[0001]本技术涉及TFT
‑
LCD(薄膜晶体管液晶显示器)制造
，具体是一种扩散器框架安装螺栓的遮蔽结构。

技术介绍

[0002]在TFT
‑
LCD(薄膜晶体管液晶显示器)制造领域，镀膜(PECVD)工艺是一种利用化学反应方式，将反应物(气体)生成固态的产物，并沉积在基片表面的薄膜沉积技术，利用了等离子体的活性来促进反应使化学反应能在较低的温度下进行的工艺。
[0003]扩散器是使工艺气体和射频(RF)能量均匀地扩散进CVD基板沉积腔室(PROCESS CHAMBER)的装置，通常情况下，扩散器框架通过螺栓与扩散器相连接，属于耗材部件，需要周期性的更换进行维护管理。现有扩散器框架的四周设有均匀分布的螺栓安装孔，通过螺栓实现将扩散器框架与扩散器连接固定，此种结构的螺栓通常直接暴露在CVD基板沉积腔室中。
[0004]因此，在CVD设备的实际运行过程中，一方面由于螺栓与扩散器框架均为铝材质易磨损，且螺纹孔经周期性维修后会变大导致连接松动，会出现螺栓发生脱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扩散器框架安装螺栓的遮蔽结构，包括有扩散器框架本体，其特征在于：沿所述扩散器框架本体的上表面的四周设有环形开槽，扩散器框架本体上分别设有贯穿其底面与所述环形开槽的底面的若干个螺孔，所述的若干个螺孔内分别螺合有用于连接所述扩散器框架本体与扩散器的螺栓；所述的环形开槽内分别插装有若干个挡条，所述若干个挡条的底面分别对应与所述螺栓的顶端相抵触，压紧并遮蔽所述的螺栓。2.根据权利要求1所述的一种扩散器框架安装螺栓的遮蔽结构，其特征在于：所述环形开槽和若干个挡条的截面均呈倒T形。3.根据权利要求1或2所述的一种扩散器框架安装螺栓的遮蔽结构，其特征在于：所述的若干个挡条均采...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯卫东，蔡广云，王超群，刘永基，
申请(专利权)人：合肥微睿光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：