【技术实现步骤摘要】
一种玻璃抛光设备抛光垫修整器的安装运送装置
[0001]本技术涉及玻璃生成加工设备领域,尤其涉及抛光垫修整器的安装运送装置。
技术介绍
[0002]抛光垫是化学机械抛光(CMP)系统的重要组成部分。它具有贮存抛光液,并把它均匀运送到工件的整个加工区域等作用。抛光垫的性能主要由抛光垫的材料种类、材料性能、表面结构与状态以及修整参数等决定。长时间抛光会使抛光垫表面粗糙度降低,表面不平整影响抛光效率。为此抛光垫修整是极有必要的。当前对抛光垫修整所用的修整盘为钢制材料较重难以搬运及上下机台,尤其是G5玻璃抛光机台修整盘的尺寸、重量大,安装、运送难度更大。
[0003]现有的修整盘运送装置的缺点:
[0004]1、现有的运送工装仅具有装载作用,上下机台时需人工搬抬递送至下盘中心,耗时耗力,同时存在安全隐患;
[0005]2、因没有缓冲垫材,修整盘搬抬过程中对工装和抛光吸附贴磨损较大,生产中对工装状态确认频次较高,并且工装寿命有所降低。
技术实现思路
[0006]本技术所要解决的技术问题是实现一种 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种玻璃抛光设备抛光垫修整器的安装运送装置,其特征在于:装置设有支架,所述支架顶部固定有水平设置的支撑杆,所述支撑杆上设有至少两个能够旋转的滑轮,所述支撑杆一侧的支架上固定有减震垫,所述滑轮的上檐和减震垫的顶部位于在同一水平面。2.根据权利要求1所述的安装运送装置,其特征在于:所述滑轮设有两个,且滑轮均为橡胶轮。3.根据权利要求2所述的安装运送装置,其特征在于:所述减震垫由橡胶包裹钢杆构成,所述钢杆的两端焊接在支架上,所述支撑杆和钢杆相互平行。4.根据权利要求1、2或3所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:江梦华,苗聪,马建彪,岳伟,郑建军,
申请(专利权)人:芜湖长信科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。