一种用于蓝宝石抛光机的清洗轮结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种用于蓝宝石抛光机的清洗轮结构，它包括清洗轮底板轮、毛刷、边毛刷、尼龙线，清洗轮底板轮两侧均有“V”型凹槽，中间有可供尼龙线穿过的通孔；毛刷安装在凹槽内，且毛刷呈“V”型散开状；边毛刷分布在底板轮的周围；尼龙线穿过底板轮上的通孔，将毛刷系紧固定在底板轮的凹槽内及底板轮的周围。本实用新型专利技术可有效清洁抛光垫上的杂质，同时也可以清洁设备周围因抛光液结晶形成的颗粒杂质，保证设备洁净度，提高晶片抛光的质量。提高晶片抛光的质量。提高晶片抛光的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种用于蓝宝石抛光机的清洗轮结构


[0001]本技术属于蓝宝石晶片抛光
，具体涉及一种用于蓝宝石抛光机的清洗轮结构，一种通过毛刷清洗抛光垫和设备边缘因抛光液结晶而形成杂质颗粒的清洗轮结构。

技术介绍

[0002]蓝宝石又称白宝石，化学式为α
‑
Al2O3，其结构中氧原子间的八面体配位约有2/3的空隙是由铝原子所填充，由此使它具有强度大、硬度高、耐高温、耐磨擦、耐腐蚀能力强的特点。其化学性质稳定，不受酸腐蚀，只有在高温下（3000℃以上）才能被氢氟酸、磷酸以及熔化的氢氧化钾所侵蚀。蓝宝石单晶作为一种优良透波材料，在紫外、可见光、红外波段、微波都具有良好的透过率，可以满足多模式复合制导（电视、红外成像、雷达等）的要求，在军事工业等领域被用作窗口材料及整流罩部件，但蓝宝石作为LED衬底材料应用最为广泛。
[0003]目前在LED制程中，蓝宝石基板虽然受到来自Si与GaN基板的挑战，但是考虑到成本与良率，蓝宝石在近两年内仍然具有优势，可以预见接下来蓝宝石基板的发展方向是大尺寸与图形化（PSS）。对于应用在LED衬底材料的蓝宝石基板来说，它大致经历了从晶棒切割、晶片粗磨、晶片精磨以及晶片抛光几道工序。其中抛光工序是将精磨过程中研磨液在晶片表面的刮伤去除，留下完美的表面，但抛光工序中由于抛光液在使用过程中会结晶为小颗粒杂质，随着上盘及下盘的转动进入到抛光垫上，影响晶片抛光的质量，因此，在抛光工序前会对抛光垫进行清洗。传统的清洗方式只能清洗抛光垫的表面，清洗的效率也不高，所以有必要研究一种新型的清洗轮，既可清洗抛光垫表面，也可清洗掉侧面结晶的杂质，同时提高清洗效率，进而提升晶片抛光的质量。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种可有效清洁抛光设备上抛光垫表面的杂质，同时也可以清洁设备周围因抛光液结晶形成的颗粒杂质，该结构可以保证设备的洁净度，提高晶片抛光质量的用于蓝宝石抛光机的清洗轮结构。
[0005]本技术的目的是这样实现的：它包括清洗轮底板轮、毛刷、边毛刷及尼龙线，清洗轮底板轮两侧均设置有“V”型凹槽，由内向外分四圈排列，每圈“V”型凹槽中间都设置有可供尼龙线穿过的通孔；毛刷安装在凹槽内，且毛刷呈“V”型散开状；边毛刷分布在清洗轮底板轮的周围，且在清洗轮底板轮齿牙的上部排列；尼龙线穿过清洗轮底板轮上的通孔，将毛刷系紧固定在清洗轮底板轮的凹槽内及清洗轮底板轮的周围。
[0006]本技术还有这样一些特征：
[0007]1、 所述的清洗轮底板轮为PVC圆形齿轮，周围的齿牙与抛光设备上太阳轮和内齿圈的齿相匹配，厚度8~16mm，外直径为322mm，内直径为150~170mm；底板轮上共四圈紧密排列的“V”型凹槽，深4~8mm，每圈凹槽间隔6~12mm，且每排交叉排列；底板轮周围分布孔的直径为Φ4mm，在齿的上方；
[0008]2、 所述的毛刷的最内圈和最外圈的距离与抛光垫的宽度相同，保证毛刷可以清洗到抛光垫的每个部位，每根毛刷毛的直径为Φ0.5mm，每扎直径Φ4~Φ6mm；
[0009]3、 所述的边毛刷每扎直径为Φ4mm，用尼龙线系紧分布在底板轮的周围，边毛刷顶端所围成的圆直径大于边齿的直径；
[0010]4、 所述的尼龙线直径为Φ0.5~Φ1mm，每圈毛刷用单独的尼龙线系紧固定在凹槽内。
[0011]本技术底板轮上下“V”型凹槽内的毛刷呈散开状，可以增大与抛光垫的接触面积，可有效去除抛光垫上的杂质，清洗效果好；在设备清洗的过程中，底板轮周围的边毛刷可以清洁太阳轮和内齿圈上因抛光液结晶产生的杂质颗粒，进一步降低抛光垫上引入杂质的可能，保证蓝宝石晶片抛光的质量；同时尼龙线在底板轮内部排线可以减小清洗轮断线的可能，延长其使用寿命。
[0012]本技术有益效果有：
[0013]1. 本技术清洗轮底板轮上“V”型凹槽的设计，可以使毛刷呈锥型分布，增大与抛光垫的接触面积，清洗效果好，效率高。
[0014]2.本技术清洗轮底板轮上边毛刷的设计可有效的将设备内齿和外齿上抛光液结晶产生的颗粒杂质去除，防止结晶的杂质进入到抛光垫上，减少晶片在抛光过程中因杂质的进入影响抛光的质量。
[0015]3.本技术固定毛刷用的尼龙线在底板轮的内部绕线，且每圈单独排线，降低清洗轮在使用和存放的过程中断线的机率，延长其使用寿命。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为图1A
‑
A剖面图；
[0018]图3为边毛刷局部剖面图。
具体实施方式
[0019]下面结合附图和具体实施例对本技术进行详细说明：
[0020]结合图1
‑
3，本实施例结构整体由清洗轮底板轮1、毛刷2、边毛刷3及尼龙线4组成。尼龙线穿过底板轮内的通孔6将毛刷系紧固定在“V”型凹槽5内，且双面植毛，同时保证每个毛刷安装后的高度保持一致。边毛刷通过尼龙线系紧安装在底板轮的周围，且在底板轮齿牙7的上部排列，边毛刷安装完成后顶端为与底板轮同心的圆形。清洗轮整体安装完成后，放在平台上进行毛刷长度一致性检测、校准，保证精度，可提高晶片抛光的质量。清洗轮检测校准完成后进行刷盘，机台上每隔90
°
摆放一个，每盘共摆放4个，摆放时需将有边毛刷的一侧向上。
[0021]以上内容是结合具体的优选实施方式对本技术所做的进一步详细说明，不能认定本技术的具体实施只限于这些说明。对于具有本技术所属领域基础知识的人员来讲，可以很容易对本技术进行变更和修改，这些变更和修改都应当视为属于本技术所提交的权利要求书确定的专利保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于蓝宝石抛光机的清洗轮结构，其特征在于它包括清洗轮底板轮、毛刷、边毛刷及尼龙线，清洗轮底板轮两侧均设置有“V”型凹槽，由内向外分四圈排列，每圈“V”型凹槽中间都设置有可供尼龙线穿过的通孔；毛刷安装在凹槽内，且毛刷呈“V”型散开状；边毛刷分布在清洗轮底板轮的周围，且在清洗轮底板轮齿牙的上部排列；尼龙线穿过清洗轮底板轮上的通孔，将毛刷系紧固定在清洗轮底板轮的凹槽内及清洗轮底板轮的周围。2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石抛光机的清洗轮结构，其特征在于所述的清洗轮底板轮为PVC圆形齿轮，周围的齿牙与抛光设备上太阳轮和内齿圈的齿相匹配，厚度8~16mm，外直径为322mm，内直径为150~170mm；底板轮上共四圈紧...

【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，李铁，周德印，
申请(专利权)人：哈尔滨秋冠光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：