【技术实现步骤摘要】
扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法
本专利技术涉及一种扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法。
技术介绍
在扫描探针显微镜中使用形成有探针的被称为悬臂的悬臂梁。在扫描探针显微镜中，将悬臂的翘曲或振动的变化变换为照射至悬臂背面的激光的反射光的变化，从而利用光电检测器进行检测。光电检测器检测反射光的位置、强度以及相位等的变化。扫描探针显微镜将光电检测器检测出的信息转换为各种物理信息(例如参照专利文献1(日本特开2000-346782号公报))。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000-346782号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在扫描探针显微镜中，在测定试样之前，需要调整光电检测器的位置，以使悬臂的反射光准确地入射到光电检测器，并且反射光的光斑位于光电检测器的中央。光电检测器的位置的调整由于是每当更换悬臂时都需要进行的作业，因此期望在短时间内完成。另外，光电检测器的位置的调整由于是每当更换悬臂时都需要进行的作业，因此期望自动地进行。
【技术保护点】
1.一种扫描探针显微镜，具备：/n悬臂；/n照射部，其向所述悬臂照射激光；/n检测部，其包括用于接收被所述悬臂反射的所述激光的受光面，检测入射到所述受光面的所述激光；/n驱动部，其使所述检测部在与入射到所述受光面的所述激光的光轴交叉的面移动；以及/n控制部，其控制所述驱动部，/n其中，所述受光面具有多个受光区域，/n所述控制部进行第一控制并且进行第二控制，在所述第一控制中，控制所述驱动部，以使所述检测部相对于与使所述多个受光区域彼此分开的边界线平行的轴倾斜地移动，在所述第二控制中，响应于所述受光面接收到所述激光，进行调整以使所述受光面中的所述激光的光斑的重心位于所述受光面的中央。/n
【技术特征摘要】
20200226 JP 2020-0304681.一种扫描探针显微镜，具备：
悬臂；
照射部，其向所述悬臂照射激光；
检测部，其包括用于接收被所述悬臂反射的所述激光的受光面，检测入射到所述受光面的所述激光；
驱动部，其使所述检测部在与入射到所述受光面的所述激光的光轴交叉的面移动；以及
控制部，其控制所述驱动部，
其中，所述受光面具有多个受光区域，
所述控制部进行第一控制并且进行第二控制，在所述第一控制中，控制所述驱动部，以使所述检测部相对于与使所述多个受光区域彼此分开的边界线平行的轴倾斜地移动，在所述第二控制中，响应于所述受光面接收到所述激光，进行调整以使所述受光面中的所述激光的光斑的重心位于所述受光面的中央。
2.根据权利要求1所述的扫描探针显微镜，其特征在于，
所述控制部响应于所述检测部检测到所述光斑的重心在使所述多个受光区域彼此分开的边界线上通过，来进行所述第二控制。
3.根据权利要求2所述的扫描探针显微镜，其特征在于，
所述受光面具有四个所述受光区域，
所述控制部响应于所述检测部检测到所述光斑的重心在第一边界线和第二边界线上通过，来进行所述第二控制，所述第一边界线在第一方向上分割所述受光面，所述第二边界线在与所述第一方向不同的第二方...
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