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本发明提供一种扫描探针显微镜和扫描探针显微镜的光轴调整方法，其目的在于缩短检测部的位置的调整所花费的时间。在检测器的位置调整处理中，控制装置使检测器在检测器运动的平面上以使光电二极管彼此分开的边界线为基准倾斜地运动，并且响应于激光的至少一部...
该专利属于株式会社岛津制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社岛津制作所授权不得商用。

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