【技术实现步骤摘要】
一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统
本技术涉及温度控制系统的
，具体的涉及一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统。
技术介绍
目前，我国半导体生产设备国产化较低，美国、意大利等国家实施技术壁垒，将其上世纪80、90年代的设备和技术输出我国，其中进口外延炉鼓泡器用的恒温控制系统采用硅晶片制冷技术，由通断模式控制，存在不能连续制冷、温度变化误差大、使用寿命短、备件不易寻找的技术问题。
技术实现思路
针对上述技术问题，本技术目的是提供一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，采用压缩机替代硅晶片制冷，改变制冷过程中使用通断模式导致的温度变化误差，形成不间断制冷，采用加热棒来中和压缩机制冷，通过单片机控制系统实现对温度的控制更加快速、稳定、精确，并且设备不易损坏、备件易购买。为实现此目的，本技术采用以下技术方案：一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，包括温度控制器，所述温度控制器与鼓泡器循环腔体连接，鼓泡器循环腔体内部设置鼓泡器，由温度控制器与鼓泡器循环腔体之间进行水循环工作，来控制...
【技术保护点】
1.一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，其特征在于：包括温度控制器，所述温度控制器与鼓泡器循环腔体(1)连接，鼓泡器循环腔体(1)内部设置鼓泡器(2)，由温度控制器与鼓泡器循环腔体(1)之间进行水循环工作，来控制鼓泡器(2)内部实现恒温。/n
【技术特征摘要】
1.一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，其特征在于：包括温度控制器，所述温度控制器与鼓泡器循环腔体(1)连接，鼓泡器循环腔体(1)内部设置鼓泡器(2)，由温度控制器与鼓泡器循环腔体(1)之间进行水循环工作，来控制鼓泡器(2)内部实现恒温。
2.根据权利要求1所述的一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，其特征在于：所述温度控制器包括单片机控制系统、显示屏、按键、水槽(3)、压缩机，所述单片机控制系统均与显示屏、按键电连接，且单片机控制系统还连接有固态继电器，所述水槽(3)内设有加热棒(4)和制冷管(5)，所述加热棒(4)与固态继电器的输出端连接，制冷管(5)与压缩机连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘凤辉，刘立超，冯哲，刘博伟，庞超，杜蕊，
申请(专利权)人：石家庄百耀电气科技有限公司，
类型：新型
国别省市：河北;13
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