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本实用新型公开了一种半导体产线外延炉鼓泡器用恒温控制系统，包括温度控制器，所述温度控制器与鼓泡器循环腔体连接，鼓泡器循环腔体内部设置鼓泡器，所述温度控制器包括单片机控制系统、显示屏、按键、水槽、压缩机，所述单片机控制系统均与显示屏、按键电连...
该专利属于石家庄百耀电气科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过石家庄百耀电气科技有限公司授权不得商用。

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