一种检测TFT清洗线MURA的方法技术

本发明专利技术涉及一种检测TFT清洗线MURA的方法，包括如下步骤：S1、使用水蒸气喷头向完成清洗流程的玻璃基板表面喷水蒸气，所述水蒸气喷头所喷出的水蒸气覆盖所述玻璃基板的表面；S2、使用能发出绿色光的钠灯作为唯一光源，使用所述钠灯照射所述玻璃基板的表面，检查所述玻璃基板的表面是否存在光散射部分。

【技术实现步骤摘要】
一种检测TFT清洗线MURA的方法
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种检测TFT清洗线MURA的方法。
技术介绍
目前，液晶显示器(LiquidCrystalDisplay，LCD)大部分为背光型液晶显示器，背光型液晶显示器包括液晶显示面板及背光模组(backlightmodule)。液晶显示面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子，两片玻璃基板中间有许多垂直和水平的细小电线，通过控制通电从而控制液晶分子偏转，将背光模组的光线折射出来产生画面。液晶显示面板由彩膜(CF，ColorFilter)基板、薄膜晶体管(TFT，ThinFilmTransistor)基板、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，LiquidCrystal)及密封胶框(Sealant)组成。在TFT基板的生产过程包括化学气相沉积(CVD)、微影(Photo)、蚀刻(Etch)、溅镀(Sputter)等，每一道制程步骤都存在潜在性的污染源，可导致缺陷(Defect)的生成。污染源包括粒子(Particles)、无机物金属离子(MetalIon本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测TFT清洗线MURA的方法，其特征在于，包括如下步骤：/nS1、使用水蒸气喷头向完成清洗流程的玻璃基板表面喷水蒸气，所述水蒸气喷头所喷出的水蒸气覆盖所述玻璃基板的表面；/nS2、使用能发出绿色光的钠灯作为唯一光源，使用所述钠灯照射所述玻璃基板的表面，检查所述玻璃基板的表面是否存在光散射部分。/n

【技术特征摘要】
1.一种检测TFT清洗线MURA的方法，其特征在于，包括如下步骤：
S1、使用水蒸气喷头向完成清洗流程的玻璃基板表面喷水蒸气，所述水蒸气喷头所喷出的水蒸气覆盖所述玻璃基板的表面；
S2、使用能发出绿色光的钠灯作为唯一光源，使用所述钠灯照射所述玻璃基板的表面，检查所述玻璃基板的表面是否存在光散射部分。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所述清洗...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾纯，徐阳，李伟界，
申请(专利权)人：信利惠州智能显示有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44