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本发明涉及一种检测TFT清洗线MURA的方法,包括如下步骤:S1、使用水蒸气喷头向完成清洗流程的玻璃基板表面喷水蒸气,所述水蒸气喷头所喷出的水蒸气覆盖所述玻璃基板的表面;S2、使用能发出绿色光的钠灯作为唯一光源,使用所述钠灯照射所述玻璃基板...该专利属于信利(惠州)智能显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过信利(惠州)智能显示有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种检测TFT清洗线MURA的方法,包括如下步骤:S1、使用水蒸气喷头向完成清洗流程的玻璃基板表面喷水蒸气,所述水蒸气喷头所喷出的水蒸气覆盖所述玻璃基板的表面;S2、使用能发出绿色光的钠灯作为唯一光源,使用所述钠灯照射所述玻璃基板...