一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具制造技术

本发明专利技术公开了晶片镀膜技术领域的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，包括载具和与其适配的掩膜组件，载具包括载体和固定在载体前端的固定载臂和拉力载臂以及用于固定掩膜组件的固定板，拉力载臂顶部滑动连接有移动载板，固定载臂和移动载板顶部均开设有燕尾槽，掩膜组件包括中间载板和位于其两侧的限位载板以及位于最外侧的掩膜板，中间载板上下和两侧边均固定连接有边缘凸块，本发明专利技术晶片的定位安装，简单快捷，且较为稳定不会移位，受力稳定，不易破损，掩膜组件可张紧，镀膜精度高。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具
本专利技术涉及晶片镀膜
，具体为一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具。
技术介绍
镀膜是石英晶体谐振器生产的重要工序之一，也是自动化较低的工序。其作用为在晶片两面镀上Cr、Ag，形成电极。石英晶体的化学成分为SiO2，晶体属三方晶系的氧化物矿物，即低温石英，是石英族矿物中分布最广的一个矿物种，石英集合体通常呈粒状、块状或晶簇、晶腺等。纯净的石英无色透明，玻璃光泽，贝壳状断口上具油脂光泽，无解理，受压或受热能产生电效应。镀膜一般采用物理气相沉积法，磁控溅射是物理气相沉积(PhysicalVaporDeposition，PVD)的一种，一般的溅射法可被用于制备金属、半导体和绝缘体等材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。现有技术中适应晶片掩膜加工过程中常会用到掩膜工装进行固定，常用的掩膜工装固定点单一，装片较为复杂，镀膜效率低下，受力不均匀可能导致适应晶片破损，掩膜板在重力作用下有一定的下垂量，在重复使用过程中掩膜板液容易松弛变形，掩膜板的变形会导致镀膜区域的边界有误。基于此，本专利技术设计了一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，以解决上述问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，以解决上述
技术介绍
中提出的掩膜工装固定点单一，装片较为复杂，镀膜效率低下，受力不均匀可能导致适应晶片破损，掩膜板在重力作用下有一定的下垂量，在重复使用过程中掩膜板液容易松弛变形，掩膜板的变形会导致镀膜区域的边界有误的问题。>为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，包括载具和与其适配的掩膜组件，所述载具包括载体和固定在载体前端的固定载臂和拉力载臂以及用于固定掩膜组件的固定板，所述拉力载臂顶部滑动连接有移动载板，所述固定载臂和移动载板顶部均开设有燕尾槽，所述掩膜组件包括中间载板和位于其两侧的限位载板以及位于最外侧的掩膜板，所述中间载板上下和两侧边均固定连接有边缘凸块。优选的，所述拉力载臂中间开设有U形槽，其两端与外界连通，所述移动载板底部固定连接有张紧板，所述U形槽内固定安装有收紧件用于驱动张紧板移动。优选的，所述收紧件包括固定连接在张紧板内侧的固定螺杆和螺纹连接在固定螺杆外的同步螺套，所述同步螺套外壁固定连接有驱动锥轮，所述拉力载臂中间转动连接有六角头锥轮，所述驱动锥轮与六角头锥轮啮合。优选的，所述固定载臂的每两个之间设有拉力载臂，所述拉力载臂上的移动载板设有两组。优选的，所述燕尾槽顶部均固定连接有定位柱，位于侧边的边缘凸块中间均开设有定位孔，所述定位柱与定位孔配合。优选的，所述固定板侧壁固定连接有顶部固定臂，所述顶部固定臂与固定载臂通过螺钉固定连接。优选的，所述中间载板中间开设有安装框，所述限位载板中间开设有限位框，所述掩膜板中间开设有镀膜框，所述限位框面积小于安装框面积，所述镀膜框底部无遮挡。优选的，所述边缘凸块位于上下两端的顶部开设有防呆边，所述限位载板和掩膜板四边也均开设有燕尾槽，所述掩膜板上下两端的燕尾槽小于边缘凸块面积且与防呆边配合。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术将晶片保持在掩膜组件内，实现晶片的定位安装，简单快捷，且较为稳定不会移位，受力稳定，不易破损；掩膜板和限位载板通过其侧边的燕尾槽与边缘凸块的套接实现精准对位，从而保持内部所开始的各种框的位置对准，从而保证镀膜精度，对位稳定；将组掩膜组件通过边缘凸块与固定载臂和移动载板的燕尾槽套接，安装在载体上，旋转六角头锥轮调整好张紧度，安装较为简单快捷，且载具与掩膜组件可拆卸设计，较为容易更换，方便生产，提高效率，镀膜效果较好。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术载具俯视角结构示意图；图2为本专利技术载具侧视角阶梯剖局部放大结构示意图；图3为本专利技术载具A部放大结构示意图；图4为本专利技术掩膜组件侧视角结构示意图；图5为本专利技术掩膜组件俯视角示意图。附图中，各标号所代表的部件列表如下：1-载体，2-固定载臂，3-拉力载臂，4-固定板，5-移动载板，6-燕尾槽，7-中间载板，8-限位载板，9-掩膜板，10-边缘凸块，11-U形槽，12-张紧板，13-固定螺杆，14-同步螺套，15-驱动锥轮，16-六角头锥轮，17-定位柱，18-定位孔，19-顶部固定臂，20-安装框，21-限位框，22-镀膜框，23-防呆边。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-5，本专利技术提供一种技术方案：一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，包括载具和与其适配的掩膜组件，载具包括载体1和固定在载体1前端的固定载臂2和拉力载臂3以及用于固定掩膜组件的固定板4，拉力载臂3顶部滑动连接有移动载板5，固定载臂2和移动载板5顶部均开设有燕尾槽6，掩膜组件包括中间载板7和位于其两侧的限位载板8以及位于最外侧的掩膜板9，中间载板7上下和两侧边均固定连接有边缘凸块10。将两侧为掩膜板9，通过限位载板8和中间载板7保持晶片在内，从而可以实现双面镀膜，将组装好的掩膜组件安装在固定载臂2和拉力载臂3之间，通过移动调节移动载板5从而保持掩膜组件的张紧，通过固定板4固定在固定载臂2上将掩膜组件边缘夹在内，从而固定掩膜组件，限制其上下移动，使其稳定的保持在载体1上，从而方便电镀，且没有设有复杂的定位孔、槽等，节省了掩膜板9的面积，使其可以安装更多的晶体，以便提高生产效率。其中，为了将掩膜组件安装在载具上后保持一定的张紧度，避免塌陷弯曲等，影响镀膜质量，通过工具将六角头锥轮16转动，通过驱动锥轮15与六角头锥轮16的传动使得同同步螺套14转动，进而带动其内的固定螺杆13同步向中间收紧一定距离，从而将固定在燕尾槽6内的掩膜组件向一侧张紧，每个拉力载臂3上设有两组移动载板5可以同时作用于其两侧的掩膜组件，提高调整效率。其中，为了使得掩膜组件和载具的连接更为稳定，通过增加定位柱17和定位孔18的配合，使得对位准确，连接稳定。安装完掩膜组件后，将顶部固定臂19与固定载臂2通过螺钉固定连接，从而盖在掩膜组件顶部并将其压紧，避免移位等。其中，通过安装框20安装需要镀膜的晶片，而后在其两侧套上限位载板8，通过限位框21将晶片保持在内，无挤压，且放置稳定准确，不会移动，通过镀膜框22镀出所需形状的膜层。通过设有防呆边23，掩膜板9不能安装在中间载板7两侧边，从而避免安装顺序错误，避免本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：包括载具和与其适配的掩膜组件，所述载具包括载体(1)和固定在载体(1)前端的固定载臂(2)和拉力载臂(3)以及用于固定掩膜组件的固定板(4)，所述拉力载臂(3)顶部滑动连接有移动载板(5)，所述固定载臂(2)和移动载板(5)顶部均开设有燕尾槽(6)，所述掩膜组件包括中间载板(7)和位于其两侧的限位载板(8)以及位于最外侧的掩膜板(9)，所述中间载板(7)上下和两侧边均固定连接有边缘凸块(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：包括载具和与其适配的掩膜组件，所述载具包括载体(1)和固定在载体(1)前端的固定载臂(2)和拉力载臂(3)以及用于固定掩膜组件的固定板(4)，所述拉力载臂(3)顶部滑动连接有移动载板(5)，所述固定载臂(2)和移动载板(5)顶部均开设有燕尾槽(6)，所述掩膜组件包括中间载板(7)和位于其两侧的限位载板(8)以及位于最外侧的掩膜板(9)，所述中间载板(7)上下和两侧边均固定连接有边缘凸块(10)。


2.根据权利要求1所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：所述拉力载臂(3)中间开设有U形槽(11)，其两端与外界连通，所述移动载板(5)底部固定连接有张紧板(12)，所述U形槽(11)内固定安装有收紧件用于驱动张紧板(12)移动。


3.根据权利要求2所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载具，其特征在于：所述收紧件包括固定连接在张紧板(12)内侧的固定螺杆(13)和螺纹连接在固定螺杆(13)外的同步螺套(14)，所述同步螺套(14)外壁固定连接有驱动锥轮(15)，所述拉力载臂(3)中间转动连接有六角头锥轮(16)，所述驱动锥轮(15)与六角头锥轮(16)啮合。


4.根据权利要求1所述的一种用于晶片镀膜的掩膜板及载...

【专利技术属性】
技术研发人员：何晓明，吴成秀，何文俊，
申请(专利权)人：铜陵市峰华电子有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34