一种双体镀膜机制造技术

本发明专利技术公开了一种双体镀膜机，包括两个独立共存的镀膜腔体，两个独立共存的镀膜腔体公用一组电源、和

【技术实现步骤摘要】
一种双体镀膜机
本专利技术涉及一种双体镀膜机，属于PVD镀膜领域。
技术介绍
目前，在市场上销售的镀膜机普遍为单体镀膜机组，请参阅图1，所谓单体镀膜机组，即一个设备只有一个真空镀膜腔体1'。单体镀膜机的一个腔体1'配备一套真空泵组2'，一组电源3'，一个电柜4'。真空泵组2'用于抽气获得成膜所需真空；电源3'用于离子清洗供电、溅射成膜供电；电柜4'用于所有电源控制。真空泵组2'包括机械泵/罗茨泵21'、分子泵22'和维持泵23'。真空镀膜设备的使用，其步骤包括：S1，真空泵组抽气获得所需真空度S11，机械泵/罗茨泵21'抽气获得真空度a；S12，在真空1的条件下开启分子泵22'抽气获得真空度b，并启动维持泵23'维持真空度；S2，离子清洗；S3，溅射沉积成膜。通常的抽气过程需要的时间为50～500min，离子清洗过程需要的时间为5～120min，溅射镀膜的时间为20～500min。三个步骤独立进行，使用的真空泵组、电源独立运行，互不干涉。这样的工作状态下，部分真空泵、电源将有至少一半的时间处于待机状态。
技术实现思路
本专利技术的目的是克服现有技术的缺陷，提供一种双体镀膜机，具有两个独立共存的镀膜腔体，两个独立的镀膜腔体公用一组电源和/或一个电柜和/或一组机械泵/罗茨泵，极大地提高了真空镀膜设备中硬件的利用效率，减少镀膜设备的成本。实现上述目的的技术方案是：一种双体镀膜机，包括两个独立共存的镀膜腔体，两个独立共存的镀膜腔体公用一组电源、和/或一个电柜、和/或一组机械泵/罗茨泵，每个镀膜腔体的抽气口上均设置有分子泵和与其相连的维持泵；两个镀膜腔体的抽气口分别与所述机械泵/罗茨泵相连；每个镀膜腔体镀膜时均包括抽气步骤、离子清洗步骤和溅射镀膜步骤。上述的一种双体镀膜机，其中，一个镀膜腔体进行离子清洗步骤或溅射镀膜步骤时，另一个镀膜腔体独立进行抽气步骤。上述的一种双体镀膜机，其中，一个镀膜腔体进行离子清洗或溅射镀膜步骤时，另一个镀膜腔体出炉并继续进行抽气步骤。本专利技术的双体镀膜机，具有两个独立共存的镀膜腔体，两个独立的镀膜腔体公用一组电源和/或一个电柜和/或一组机械泵/罗茨泵，极大地提高了真空镀膜设备中硬件的利用效率，减少镀膜设备的成本。附图说明图1为现有技术中的单体镀膜机的结构图；图2为本专利技术的双体镀膜机的结构图。具体实施方式为了使本
的技术人员能更好地理解本专利技术的技术方案，下面结合附图对其具体实施方式进行详细地说明：请参阅图2，本专利技术的最佳实施例，一种双体镀膜机，包括两个独立共存的镀膜腔体A、B，两个独立共存的镀膜腔体A、B公用一组电源3、一个电柜4和一组机械泵/罗茨泵21，每个镀膜腔体的抽气口上均设置有分子泵22和与其相连的维持泵23；两个镀膜腔体的抽气口分别与机械泵/罗茨泵2相连；每个镀膜腔体镀膜时均包括抽气步骤、离子清洗步骤和溅射镀膜步骤。一个镀膜腔体A进行离子清洗步骤或溅射镀膜步骤时，另一个镀膜腔体B独立进行抽气步骤。一个镀膜腔体B进行离子清洗或溅射镀膜步骤时，另一个镀膜腔体A出炉并继续进行抽气步骤。如此循环，极大地提高了真空镀膜设备中硬件的利用效率，减少镀膜设备的成本。本专利技术的双体镀膜机，在工作时，镀膜腔体A开门进样品，进完样品依次开始机械泵、罗茨泵抽气→镀膜腔体B开门进样品，进完样品等待抽气→镀膜腔体A到达真空度a，开启分子泵抽气→镀膜腔体B依次开始机械泵、罗茨泵抽气→镀膜腔体A获得真空度b,开始离子清洗→镀膜腔体B到达真空度a，开启分子泵抽气→镀膜腔体A开始沉积镀膜→镀膜腔体B获得真空度b,开始离子清洗→镀膜腔体A开门出炉取出样品，继续进炉→镀膜腔体B开始沉积镀膜→镀膜腔体A进完样品依次开始机械泵、罗茨泵抽气→镀膜腔体B开门出炉取出样品，继续进炉→镀膜腔体A到达真空度a，开启分子泵抽气→镀膜腔体B依次开始机械泵、罗茨泵抽气……如此循环。整个过程中，维持泵23一直开启；两个镀膜腔体有序工作，随着过程循环进行，两个镀膜腔体所处的步骤将处于不同阶段，并不影响本宗旨之共用部分组件、各两腔体的镀膜步骤错开进行，节约设备成本。本专利技术的双体镀膜机，利用真空设备镀膜制程的特点，即抽气步骤、离子清洗步骤、溅射镀膜步骤依次独立进行，机械泵/罗茨泵，离子清洗用电源，溅射用电源阶段性独立运行，设计两个镀膜腔体公用一组机械泵/罗茨泵、一组电源和一个电柜，两个镀膜腔体依次进行抽气步骤、镀膜步骤。综上所述，本专利技术的双体镀膜机，具有两个独立共存的镀膜腔体，两个独立的镀膜腔体公用一组电源和/或一个电柜和/或一组机械泵/罗茨泵，极大地提高了真空镀膜设备中硬件的利用效率，减少镀膜设备的成本。本
中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本专利技术，而并非用作为对本专利技术的限定，只要在本专利技术的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本专利技术的权利要求书范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双体镀膜机，其特征在于，包括两个独立共存的镀膜腔体，两个独立共存的镀膜腔体公用一组电源、和/或一个电柜、和/或一组机械泵/罗茨泵，每个镀膜腔体的抽气口上均设置有分子泵和与其相连的维持泵；两个镀膜腔体的抽气口分别与所述机械泵/罗茨泵相连；每个镀膜腔体镀膜时均包括抽气步骤、离子清洗步骤和溅射镀膜步骤。/n

【技术特征摘要】
1.一种双体镀膜机，其特征在于，包括两个独立共存的镀膜腔体，两个独立共存的镀膜腔体公用一组电源、和/或一个电柜、和/或一组机械泵/罗茨泵，每个镀膜腔体的抽气口上均设置有分子泵和与其相连的维持泵；两个镀膜腔体的抽气口分别与所述机械泵/罗茨泵相连；每个镀膜腔体镀膜时均包括抽气步骤、离子清洗步骤和溅射镀膜步骤。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐智，
申请(专利权)人：纳峰真空镀膜上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31