一种213nm紫外光的输出方法及系统技术方案

本发明专利技术属于激光技术领域，提供了一种213nm紫外光的输出方法及系统，包括：控制激光器产生激光脉冲，所述激光脉冲经倍频晶体后产生532nm倍频光，所述532nm倍频光和剩余的1064nm基频光经四倍频晶体后产生266nm激光脉冲；所述266nm激光脉冲和所述剩余的1064nm基频光照射到五倍频晶体，以产生213nm紫外光。本发明专利技术的提供的方法可以避免二倍频光和三倍频光进行和频产生213nm激光脉冲过程中偏振需要转换的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种213nm紫外光的输出方法及系统
本专利技术涉及激光
，尤其涉及一种213nm紫外光的输出方法及系统。
技术介绍
紫外波长的光源在半导体集成电路制造方面有着广泛的应用，且光源的波长越短，可以支持的集成电路的集成度越高。随着半导体芯片集成度越来越高,制版特征线宽越来越细,需要的光刻光源的波长越来越短。目前，在工业生产中主要采用ArF准分子激光器作为光刻光源，尽管ArF准分子激光器可以输出193nm的深紫外波长。但是，准分子激光器工作介质是有毒气体,会污染环境,危害人身安全,设备操作和维护费用高。同时，ArF准分子激光器输出重复频率低,不利于提高加工效率，输出的光束质量差、线宽大,不利于提高加工分辨率。和准分子激光器相比,固体激光器的工作物质无污染,运行时更安全,工作寿命长,结构紧凑,使用和维护方便,成本低,可输出高重复频率、低峰值功率的光脉冲,而且光束质量好。结合非线性光学频率变换技术,固体激光器可以获得满足光刻工艺要求的深紫外波长。因此,用固体深紫外激光器取代准分子激光器成为新一代深紫外光刻光源,可以提高系统可靠性、安全性,延本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种213nm紫外光的输出方法，其特征在于，包括：/n控制激光器产生1064nm基频光激光脉冲，所述1064nm激光脉冲经倍频晶体后产生532nm倍频光；/n所述532nm倍频光经四倍频晶体后产生266nm激光脉冲；/n所述266nm激光脉冲和所述剩余的1064nm基频光照射到五倍频晶体，以产生213nm紫外光。/n

【技术特征摘要】
1.一种213nm紫外光的输出方法，其特征在于，包括：
控制激光器产生1064nm基频光激光脉冲，所述1064nm激光脉冲经倍频晶体后产生532nm倍频光；
所述532nm倍频光经四倍频晶体后产生266nm激光脉冲；
所述266nm激光脉冲和所述剩余的1064nm基频光照射到五倍频晶体，以产生213nm紫外光。


2.根据权利要求1所述的213nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述输出方法还包括：
当所述激光器为1064nm皮秒激光器时，所述532nm倍频光经第一双色镜后照射到第一反射镜，并经所述第一反射镜反射到所述四倍频晶体，以产生266nm激光脉冲；
在所述剩余的1064nm基频光的光路上设置延迟线，剩余的1064nm基频光经第一双色镜后经所述延迟线后入射到第二双色镜；
所述266nm激光脉冲经第三双色镜后和所述剩余的1064nm基频光同时达到所述第二双色镜；
经所述第二双色镜后的266nm激光脉冲和剩余的1064nm基频光同时照射到五倍频晶体，以产生213nm紫外光。


3.根据权利要求1所述的213nm紫外光的输出方法，其特征在于，所述输出方法还包括：
当所述激光器为1064nm纳秒激光器时，所述532nm倍频光经第一双色镜后照射到第一反射镜，并经所述第一反射镜反射到所述四倍频晶体，以产生266nm激光脉冲；
剩余的1064nm基频光经第一双色镜后入射到第二双色镜；
所述266nm激光脉冲经第三双色镜后和所述剩余的1064nm基频光同时达...

【专利技术属性】
技术研发人员：王家赞，江锐，储玉喜，张旭东，范元媛，沙鹏飞，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11