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本发明属于激光技术领域，提供了一种213nm紫外光的输出方法及系统，包括：控制激光器产生激光脉冲，所述激光脉冲经倍频晶体后产生532nm倍频光，所述532nm倍频光和剩余的1064nm基频光经四倍频晶体后产生266nm激光脉冲；所述266n...
该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。

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