【技术实现步骤摘要】
一种芯片封装方法和芯片封装结构
本专利技术涉及芯片封装
,更具体地说,涉及一种芯片封装方法。此外,本专利技术还涉及一种应用上述芯片封装方法制得的芯片封装结构。
技术介绍
随着消费类电子产品的逐渐进步,市场对半导体元器件的性能要求也越来越高,传统的封装技术(如打线塑封工艺)在性能或者效率上已经不能完全满足市场需求,因此催生了新型的半导体器件先进封装技术。先进封装是将现有的小尺寸(63mm*237mm)加工转化为大尺寸(500mm*600mm)以上的面板级加工,同时将芯片的互联引出工艺由传统的打线(WireBonding)转化为镭射金属孔互联或者铜球以提升产品的电气性能。但是,先进的面板级封装在实际的加工过程中也会存在如下问题:第一,受限于加工工艺的设计,面板级的外部焊盘一般为凹陷设计,这就极大的增大了器件表面处理的难度,并且影响器件的焊接强度和可靠性;第二,面板级封装的外部焊盘一般是孤立的嵌入在封装体内,通过打线等方式与芯片互联,焊盘强度不够,很容易焊盘脱落;第三,面板级封装的封装体的内部焊盘和外部焊盘必须是同一尺寸且同一位置的设计,影响整个封装体的空间利用率,限制了封装尺寸,既造成了成本的提升,也加大了工艺难度。综上所述,如何在不增加工艺难度的同时提升芯片封装的结构可靠度,是目前本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术的目的是提供一种芯片封装方法,该方法工艺过程简单,制作方便,且能够明显提升芯片封装的可靠度。本专利技术的另一目 ...
【技术保护点】
1.一种芯片封装方法,其特征在于,包括:/n在载体(10)侧部的可剥离金属层(101)上,设置第一焊盘(1021)和第二焊盘(1022),在所述第一焊盘(1021)上连接芯片(104);/n对所述载体(10)、所述芯片(104)、所述第一焊盘(1021)和所述第二焊盘(1022)的整体进行第一次塑封,在形成的塑封结构(105)表面分别打孔(106)至所述芯片(104)和所述第二焊盘(1022),在所述孔(106)内和所述塑封结构(105)表面设置导通结构,以实现所述芯片(104)和所述第二焊盘(1022)的电导通;/n对所述孔(106)和所述导通结构进行第二次塑封;将所述载体(10)与所述可剥离金属层(101)剥离,刻蚀所述可剥离金属层(101),形成至少两个凸出于所述塑封结构(105)的外部焊盘(201),两个所述外部焊盘(201)分别对应连接所述第一焊盘(1021)和所述第二焊盘(1022)。/n
【技术特征摘要】
1.一种芯片封装方法,其特征在于,包括:
在载体(10)侧部的可剥离金属层(101)上,设置第一焊盘(1021)和第二焊盘(1022),在所述第一焊盘(1021)上连接芯片(104);
对所述载体(10)、所述芯片(104)、所述第一焊盘(1021)和所述第二焊盘(1022)的整体进行第一次塑封,在形成的塑封结构(105)表面分别打孔(106)至所述芯片(104)和所述第二焊盘(1022),在所述孔(106)内和所述塑封结构(105)表面设置导通结构,以实现所述芯片(104)和所述第二焊盘(1022)的电导通;
对所述孔(106)和所述导通结构进行第二次塑封;将所述载体(10)与所述可剥离金属层(101)剥离,刻蚀所述可剥离金属层(101),形成至少两个凸出于所述塑封结构(105)的外部焊盘(201),两个所述外部焊盘(201)分别对应连接所述第一焊盘(1021)和所述第二焊盘(1022)。
2.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,刻蚀所述可剥离金属层(101),形成至少两个凸出于所述塑封结构(105)的外部焊盘(201),包括:
刻蚀形成两个所述外部焊盘(201),且分别正对所述第一焊盘(1021)和所述第二焊盘(1022)。
3.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,刻蚀所述可剥离金属层(101),形成至少两个凸出于所述塑封结构(105)的外部焊盘(201),包括:
刻蚀形成的所述外部焊盘(201)的尺寸大于所述第一焊盘(1021)或所述第二焊盘(1022)的尺寸。
4.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,刻蚀所述可剥离金属层(101),形成至少两个凸出于所述塑封结构(105)的外部焊盘(201),包括:
刻蚀形成的所述外部焊盘(201)与所述第一焊盘(1021)、所述第二焊盘(1022)错位设置。
5.根据权利要求1所述的芯片封装方法,其特征在于,所述第一焊盘(1021)或所述第二焊盘(1021)的数量至少为一个;
刻蚀所述可剥离金属层(101),形成至少两个凸出于所述塑封结构(105)的外部焊盘(201),包括:
刻蚀形成的所述外部焊盘(201)的数量大...
【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人,
申请(专利权)人:华宇华源电子科技深圳有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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