【技术实现步骤摘要】
引线框制造工艺
本专利技术涉及引线框
技术介绍
引线框是芯片封装过程中使用的一种重要部件。QFN(QuadFlatNo-leadsPackage,方形扁平无引脚封装),表面贴装型封装之一,该封装所使用的引线框,在制作过程中一般是先电镀、后蚀刻的,电镀前,需要对铜板正反两面贴感光膜,通过曝光显影的方式将电镀线路转移到铜板正面的感光膜上,为了在电镀过程中保护铜板反面,对铜板正面的感光膜进行线路转移的过程中,会将铜板反面的感光膜全部曝光,以在显影过程中全部保留从而覆盖铜板反面,电镀完成后退膜。蚀刻前,在对铜板正反两面贴感光膜,通过曝光显影的方式将蚀刻线路转移到两面感光膜上,然后对铜板进行蚀刻,蚀刻完成后退膜。在这个过程中,需要使用至少4张感光膜,感光膜的消耗较高,成本较高。
技术实现思路
有鉴于此,本专利技术提供一种引线框制造工艺,可减少感光膜的消耗,降低成本。为实现上述目的,本专利技术提供以下技术方案。1、引线框制造工艺,包括以下步骤:第一次线路转移:在铜板正面、反面贴感光膜 ...
【技术保护点】
1.引线框制造工艺,其特征是,包括以下步骤:/n第一次线路转移:在铜板正面、反面贴感光膜,将电镀线路通过曝光显影的方式转移到铜板正面的感光膜,保留铜板反面的感光膜的保护膜;/n电镀:继续保留铜板反面的感光膜的保护膜,然后对铜板正面进行电镀;/n第二次线路转移:在铜板正面再次贴感光膜,将蚀刻线路通过曝光显影的方式转移到铜板正面和反面的感光膜;/n蚀刻:对铜板进行蚀刻。/n
【技术特征摘要】
1.引线框制造工艺,其特征是,包括以下步骤:
第一次线路转移:在铜板正面、反面贴感光膜,将电镀线路通过曝光显影的方式转移到铜板正面的感光膜,保留铜板反面的感光膜的保护膜;
电镀:继续保留铜板反面的感光膜的保护膜,然后对铜板正面进行电镀;
第二次线路转移:在铜板正面再次贴感光膜,将蚀刻线路通过曝光显影的方式转移到铜板正面和反面的感光膜;
蚀刻:对铜板进行蚀刻。
2.根据权利要求1所述的引线框制造工艺,其特征是,在电镀步骤之后、第二次线路转移步骤之前还包括以下步骤:
粗化:电镀后退除铜板正面的感光膜,对铜板正面进行粗化处理。
3.根据权利要求1所述的引线框制造工艺,其特征是,第一次线路转移步骤具体为:在铜板反面贴感光膜,然后对铜板正面进行粗化处理,再在铜板正面贴感光膜,然后将电镀线路通过曝光显影的方式转移到铜板正面的感光膜,显影过程中保留铜板反面的感光膜的保护膜。
4.根据权利要求1所述的引线框制造工艺,其特征是,蚀刻步骤之后还包括以下步骤:
缺陷处理:退除感光膜之前,去除电镀层的悬空部分。<...
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