一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于晶圆切割机领域，具体涉及一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置，包括切割机，所述切割机的前表面滑动安装有滑动门，且所述切割机的内部安装有导轨，所述导轨上滑动安装有滑动台，所述滑动台上安装有切割机构，所述切割机构的下方设置有加工台；所述切割机的下方安装有循环柜，所述循环柜的内部设置有循环装置，所述循环装置包括安装在所述加工台下方的引水板，所述引水板的底部安装有导液管；对切割机进行改进，在切割机内置循环装置，可对使用后的冷却液进行收集、过滤、存储和循环供给，对处理后的冷却液进行循环使用以降低生产成本；循环装置使冷却液由原本的留置状态变为流通状态，防止留置的冷却液造成机体锈蚀。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置
本技术涉及晶圆切割机领域，具体涉及一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置。
技术介绍
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的加工工艺流程中包括切割这一步骤。现有技术存在以下问题：1、晶圆切割机在进行晶圆切割过程中，使用冷却液辅助晶圆的切割操作，使用后的冷却液留置在切割机切割室内，极易造成机体锈蚀；2、切割使用的冷却液直接排放，对环境存在污染，且冷却液直接排放存在使用上的浪费，不断补充冷却液存在成本上的浪费。为解决上述问题，本申请中提出一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置。
技术实现思路
(一)技术目的为解决
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置，具有冷却液循环使用降低生产成本的特点。(二)技术方案为解决上述技术问题，本技术提供了一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置，包括切割机，所述切割机的前表面滑动安装有滑动门，且所述切割机的内部安装有导轨，所述导轨上滑动安装有滑动台，所述滑动台上安装有切割机构，所述切割机构的下方设置有加工台；所述切割机的下方安装有循环柜，所述循环柜的内部设置有循环装置，所述循环装置包括安装在所述加工台下方的引水板，所述引水板的底部安装有导液管，所述导液管的底部连接有滤液箱，所述滤液箱的底部连接有传输水泵的进水端，所述传输水泵的一侧设置有安装在所述循环柜底部的冷却液箱，所述传输水泵与所述冷却液箱之间通过支管连接，所述冷却液箱的另一侧连接有循环水泵，所述冷却液箱的出水端连接有循环管，所述循环管的末端连接有安装在所述切割机构上的喷液装置。优选的，所述引水板为倾斜结构，沿所述导液管方向向下倾斜角度为30°。优选的，所述滤液箱内置叠层的上滤网和下滤网。优选的，所述下滤网的筛目数大于所述上滤网的筛目数。优选的，所述喷液装置的进水端连接所述循环管，且所述喷液装置的出水端连接有喷头。优选的，所述循环柜的前表面通过合页转动连接有两个柜门。本技术的上述技术方案具有如下有益的技术效果：1、对切割机进行改进，在切割机内置循环装置，可对使用后的冷却液进行收集、过滤、存储和循环供给，对处理后的冷却液进行循环使用以降低生产成本；2、循环装置使冷却液由原本的留置状态变为流通状态，防止留置的冷却液造成机体锈蚀。附图说明图1为本技术的切割机结构示意图；图2为本技术的柜门开启结构示意图；图3为本技术的切割机内部结构示意图；图4为本技术的滤液箱结构示意图。附图标记：1、切割机；11、滑动门；12、导轨；13、滑动台；14、切割机构；15、加工台；2、循环柜；3、柜门；41、引水板；42、导液管；43、滤液箱；431、上滤网；432、下滤网；44、传输水泵；45、支管；46、冷却液箱；47、循环水泵；48、循环管；5、喷液装置。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本技术进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本技术的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本技术的概念。如图1-4所示，本技术提出的一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置，包括切割机1，切割机1的前表面滑动安装有滑动门11，且切割机1的内部安装有导轨12，导轨12上滑动安装有滑动台13，滑动台13上安装有切割机构14，切割机构14的下方设置有加工台15；切割机1的下方安装有循环柜2，循环柜2的内部设置有循环装置，循环装置包括安装在加工台15下方的引水板41，引水板41的底部安装有导液管42，导液管42的底部连接有滤液箱43，滤液箱43的底部连接有传输水泵44的进水端，传输水泵44的一侧设置有安装在循环柜2底部的冷却液箱46，传输水泵44与冷却液箱46之间通过支管45连接，冷却液箱46的另一侧连接有循环水泵47，冷却液箱46的出水端连接有循环管48，循环管48的末端连接有安装在切割机构14上的喷液装置5。需要说明的是：1、引水板41为倾斜结构，沿导液管42方向向下倾斜角度为30°；加工台15上滴落的冷却液掉入引水板41上，沿引水板41倾斜的板面滑动，将冷却液引流至导液管42处进行传输，防止冷却液留置在引水板41内。2、作为滤液箱43对冷却液中的杂质过滤示例，需要说明的是：滤液箱43内置叠层的上滤网431和下滤网432，下滤网432的筛目数大于上滤网431的筛目数；滤液箱43内收集使用后的冷却液，由于冷却液内附着晶圆切割废屑，可通过叠层的上滤网431和下滤网432进行废屑的滤除，由于下滤网432的筛目数大于上滤网431的筛目数，可在两个滤网上实现废屑的双级过滤，有效解决冷却液中混杂废屑的问题。在本实施例中，晶圆切割过程中，冷却液在使用后向加工台15下方滴落，滴落的冷却液沿引水板41倾斜的板面滑动至导液管42处进入滤液箱43内，冷却液在滤液箱43内过滤杂质后，经传输水泵44配合支管45传输至冷却液箱46内进行储存，在需要使用冷却液时，循环水泵47吸入冷却液箱46内的冷却液并通过循环管48传输至喷液装置5内，喷液装置5喷洒冷却液进行晶圆加工过程的降温，实现了冷却液的循环使用，降低了生产过程中冷却液的浪费，节省加工成本。如图3所示，喷液装置5的进水端连接循环管48，且喷液装置5的出水端连接有喷头；冷却液箱46和喷液装置5两者通过循环管48配合循环水泵47将组成冷却液传输通路，传输至喷液装置5的冷却液通过喷头进行冷却液的喷洒，辅助晶圆的切割。在一个可选的实施例中，循环柜2的前表面通过合页转动连接有两个柜门3。柜门3为可开启结构，方便打开柜门3对循环柜2内的循环装置进行检修维护。本技术的工作原理及使用流程：作为晶圆切割示例：将晶圆放置在加工台15上，导轨12上的滑动台13滑动位移带动晶圆切割机构14对加工台15上的晶圆进行切割，切割过程中，喷液装置5输出端喷头喷洒冷却液辅助晶圆切割；作为冷却液循环供给示例：晶圆切割过程中，冷却液在使用后向加工台15下方滴落，滴落的冷却液沿引水板41倾斜的板面滑动至导液管42处进入滤液箱43内，冷却液在滤液箱43内过滤杂质后，经传输水泵44配合支管45传输至冷却液箱46内进行储存，在需要使用冷却液时，循环水泵47吸入冷却液箱46内的冷却液并通过循环管48传输至喷液装置5内，通过喷液装置5进行冷却液的再次喷洒。应当理解的是，本技术的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本技术的原理，而不构成对本技术的限制。因此，在不偏离本技术的精神和范围的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置，其特征在于，包括切割机(1)，所述切割机(1)的前表面滑动安装有滑动门(11)，且所述切割机(1)的内部安装有导轨(12)，所述导轨(12)上滑动安装有滑动台(13)，所述滑动台(13)上安装有切割机构(14)，所述切割机构(14)的下方设置有加工台(15)；/n所述切割机(1)的下方安装有循环柜(2)，所述循环柜(2)的内部设置有循环装置，所述循环装置包括安装在所述加工台(15)下方的引水板(41)，所述引水板(41)的底部安装有导液管(42)，所述导液管(42)的底部连接有滤液箱(43)，所述滤液箱(43)的底部连接有传输水泵(44)的进水端，所述传输水泵(44)的一侧设置有安装在所述循环柜(2)底部的冷却液箱(46)，所述传输水泵(44)与所述冷却液箱(46)之间通过支管(45)连接，所述冷却液箱(46)的另一侧连接有循环水泵(47)，所述冷却液箱(46)的出水端连接有循环管(48)，所述循环管(48)的末端连接有安装在所述切割机构(14)上的喷液装置(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆切割机的冷却液循环供给装置，其特征在于，包括切割机(1)，所述切割机(1)的前表面滑动安装有滑动门(11)，且所述切割机(1)的内部安装有导轨(12)，所述导轨(12)上滑动安装有滑动台(13)，所述滑动台(13)上安装有切割机构(14)，所述切割机构(14)的下方设置有加工台(15)；
所述切割机(1)的下方安装有循环柜(2)，所述循环柜(2)的内部设置有循环装置，所述循环装置包括安装在所述加工台(15)下方的引水板(41)，所述引水板(41)的底部安装有导液管(42)，所述导液管(42)的底部连接有滤液箱(43)，所述滤液箱(43)的底部连接有传输水泵(44)的进水端，所述传输水泵(44)的一侧设置有安装在所述循环柜(2)底部的冷却液箱(46)，所述传输水泵(44)与所述冷却液箱(46)之间通过支管(45)连接，所述冷却液箱(46)的另一侧连接有循环水泵(47)，所述冷却液箱(46)的出水端连接有循环管(48)，所述循环管(48)的末端连接有安装在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦可勇，何彬，
申请(专利权)人：江苏众晶半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32