一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟，要解决的是现有石墨舟在承载太阳能硅片时存在的问题。本产品包括舟片本体，所述舟片本体上的不同位置加工有多个孔位，每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸。本产品设计合理，在舟片本体上设置有多个孔位，每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸，只需要调整卡点装配的位置就能实现各种太阳能硅片的相互切换，从而大大降低了改造成本；孔位上安装有堵头，需要生产某种规格的太阳能硅片时，用堵头将其他的孔位堵上，可以保证太阳能硅片在舟片本体内固定的位置和角度。

【技术实现步骤摘要】
一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟
本技术涉及太阳能硅片承载领域，具体是一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟。
技术介绍
随着科技的进步，目前市面上推出了多晶M3、M4、M6以及更大尺寸的太阳能硅片新产品，比此前推出的M2多晶硅硅片的能量转换效率有了较大幅度的提升。太阳能硅片在使用时需要进行PECVD镀膜工艺，石墨舟是太阳能硅片进行PECVD镀膜工艺的载体，现有的石墨舟只能匹配一种M2及更小尺寸的硅片，如果放入较大尺寸的太阳能硅片就会出现反向倾斜，不居中等现象，而换一种需要采购较大的设备和石墨舟来生产大尺寸的太阳能硅片，成本太高。
技术实现思路
本技术实施例的目的在于提供一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术实施例提供如下技术方案：一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟，包括舟片本体，所述舟片本体上的不同位置加工有多个孔位，每个孔位对应一种太阳能硅片的尺寸，当人们面对不同尺寸的太阳能硅片的加工时，只需调整与孔位配合使用的卡点之间的位置和框间距，即可本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟，包括舟片本体（1），其特征在于，所述舟片本体（1）上的不同位置加工有多个孔位（2），孔位（2）上活动安装有堵头，舟片本体（1）采用石墨材质制作，堵头采用石墨材料制作，孔位（2）之间的间距为158-175mm。/n

【技术特征摘要】
1.一种能兼容不同规格尺寸的硅片的石墨舟，包括舟片本体（1），其特征在于，所述舟片本体（1）上的不同位置加工有多个孔位（2）...

【专利技术属性】
技术研发人员：余波，郑方渊，张华，冯晓倩，
申请(专利权)人：上海弘竣新能源材料有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31