【技术实现步骤摘要】
一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板
本技术涉及石墨载板
，具体为一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板。
技术介绍
石墨载板一般用于搭载硅片，然后通过移动载板来移动硅片，从而进行镀膜加工，但现有的硅片规格各有不同，载板的承载位置一般为固定的，不利于搭载不同规格的硅片，给人们带来不便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，包括石墨载板本体、分隔杆、搭载孔和承载板，所述石墨载板本体为方形框结构，石墨载板本体内部安装有若干相互垂直的分隔杆，若干分隔杆将石墨载板本体内部分成若干大小相同的方形搭载孔，搭载孔拐角处分别安装有承载板，所述承载板包括呈阶梯式排列的承载板一、承载板二和承载板三，承载板一、承载板二和承载板三均为直角三角形板，且承载板一、承载板二和承载板三的直角处位于同一竖直线上，承载板一、承载板二和承载板三的直角边分别与搭载孔连接，承载板二和承载板三斜边的中心处
【技术保护点】
1.一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，其特征在于：包括石墨载板本体（1）、分隔杆（2）、搭载孔（3）和承载板（4），所述石墨载板本体（1）为方形框结构，石墨载板本体（1）内部安装有若干相互垂直的分隔杆（2），若干分隔杆（2）将石墨载板本体（1）内部分成若干大小相同的方形搭载孔（3），搭载孔（3）拐角处分别安装有承载板（4），所述承载板（4）包括呈阶梯式排列的承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43），承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）均为直角三角形板，且承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）的直角处位于同一竖直线上，承载板一（41...
【技术特征摘要】
1.一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，其特征在于：包括石墨载板本体（1）、分隔杆（2）、搭载孔（3）和承载板（4），所述石墨载板本体（1）为方形框结构，石墨载板本体（1）内部安装有若干相互垂直的分隔杆（2），若干分隔杆（2）将石墨载板本体（1）内部分成若干大小相同的方形搭载孔（3），搭载孔（3）拐角处分别安装有承载板（4），所述承载板（4）包括呈阶梯式排列的承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43），承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）均为直角三角形板，且承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）的直角处位于同一竖直线上，承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）的直角边分别与搭载孔（3）连接，承载板二（42）和承载板三（43）斜边的中心处设置有卡接槽（44）。
2.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员：余波，郑方渊，张华，冯晓倩，
申请(专利权)人：上海弘竣新能源材料有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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