下载一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板的技术资料

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本实用新型公开了一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板,包括石墨载板本体、分隔杆、搭载孔和承载板,本实用新型使用石墨载板时,通过将硅片放置在搭载孔中,因硅片的规格不同,选择合适的承载板一、承载板二或承载板三进行放置硅片,硅片放置在承载板一上时,...
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