【技术实现步骤摘要】
无摩擦的超洁净磁悬浮阀
本专利技术涉及阀
的一种磁悬浮阀，具体涉及一种适用于超洁净场合的无摩擦的超洁净磁悬浮阀。
技术介绍
半导体、生物医药、电子级化工等领域对颗粒物等污染物十分敏感，对于生产工艺所需的液体或气体提出了非常高的洁净度要求，达到一定洁净度标准的材料或工艺称为超洁净材料或超洁净工艺。在需要超洁净流体或腐蚀性流体输控的领域，要求阀门须做到严格杜绝内部介质与外界相通，要安全可靠耐腐蚀，同时阀本身的启闭过程中不能产生磨损和颗粒物。而传统阀通常设置有类似阀杆这样的外部伸入控制件，这导致其原理上难以消除动密封点，在长期、多次的启闭过程中易产生外泄漏，甚至内部介质与外界相通，而发生外漏所导致的安全隐患、输送的流体受污染等后果代价十分巨大。此外，传统阀(如球阀、闸阀、蝶阀)因普遍存在滑动密封副，这些部件在长期密封动作过程中本身会产生磨损和颗粒脱落，导致介质被污染和密封不严。对此，业界的一般措施是使用具有弹性的挠性元件作为密封件来将外侧阀杆等驱动器件和流道完全隔离开，如业内广为使用的隔膜阀(详情见专利WO20070...
【技术保护点】
1.一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，包括阀座(2)和阀盖(4)，阀盖(4)安装在阀座(2)上，其特征在于：包括磁悬浮阀芯(22)及致动组件；阀座(2)和阀盖(4)紧密装配并内部合围形成超洁净流室，超洁净流室具有与外部环境连通的进口流道(1)和出口流道(24)；磁悬浮阀芯(22)位于超洁净流室内；致动组件安装在阀盖(4)外，致动组件内嵌装有外置永磁体分层磁组(8/28)，通过致动组件带动外置永磁体分层磁组(8/28)沿超洁净流室上下移动，进而磁性带动超洁净流室中的磁悬浮阀芯(22)沿超洁净流室上下移动进而靠近或者远离进口流道(1)在阀座(2)的出口，实现阀控。/n
【技术特征摘要】
1.一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，包括阀座(2)和阀盖(4)，阀盖(4)安装在阀座(2)上，其特征在于：包括磁悬浮阀芯(22)及致动组件；阀座(2)和阀盖(4)紧密装配并内部合围形成超洁净流室，超洁净流室具有与外部环境连通的进口流道(1)和出口流道(24)；磁悬浮阀芯(22)位于超洁净流室内；致动组件安装在阀盖(4)外，致动组件内嵌装有外置永磁体分层磁组(8/28)，通过致动组件带动外置永磁体分层磁组(8/28)沿超洁净流室上下移动，进而磁性带动超洁净流室中的磁悬浮阀芯(22)沿超洁净流室上下移动进而靠近或者远离进口流道(1)在阀座(2)的出口，实现阀控。
2.根据权利要求1所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其特征在于：
所述的致动组件整体设置在阀盖(4)外壁，致动组件包括空间分层排布的外置永磁体分层磁组(8/28)、调距手轮(11)和连接卡箍(9)，调距手轮(11)通过螺纹(12)套装在阀盖(4)上端的螺纹轴(13)上，调距手轮(11)下方的阀盖(4)外套装有连接卡箍(9)，连接卡箍(9)底部和阀盖(4)之间设有环形腔，环形腔中安装外置永磁体分层磁组(8/28)。
3.根据权利要求2所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其特征在于：
所述的连接卡箍(9)上端设有环状凹槽和环状凸起(10)，调距手轮(11)下端也设有环状凹槽和环状凸起，调距手轮(11)的环状凸起嵌装于连接卡箍(9)的环状凹槽，连接卡箍(9)的环状凸起嵌装于调距手轮(11)的环状凹槽，使得连接卡箍(9)和调距手轮(11)相互之间形成轴向的固接关系。
4.根据权利要求1所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其特征在于：
所述的磁悬浮阀芯(22)包括环形体、块状体、内嵌空间分层磁组(19/32)和连接臂(20)；环形体位于块状体上方，环形体内设有环形空腔，环形空腔内嵌安装有内嵌空间分层磁组(19/32)，环形体开设通流孔(15)，环形体和块状体之间具有上下方向的间隙，环形体和块状体之间通过周围沿周向间隔设置的多个连接臂(20)紧密连接，环形体内部设置为带有环形腔的空心结构，块状体内部实心。
5.根据权利要求1所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其特征在于：
所述的阀座(2)顶面在进口流道(1)出口端处设有凸起表面作为密封凸台(23)，磁悬浮阀芯(22)底面设有内凹表面作为环形密封面(21)，密封凸台(23)和环形密封面(21)对应相线嵌装。
6.根据权利要求4所述的一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡亮，刘明潇，阳东，梁澍晗，阮晓东，苏芮，付新，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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