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本发明公开了一种无摩擦的超洁净磁悬浮阀。阀座和阀盖围成超洁净流室，超洁净流室具有进出口流道；磁悬浮阀芯在超洁净流室内；致动组件安装在阀盖外，致动组件内嵌装有外置永磁体分层磁组，通过致动组件带动外置永磁体分层磁组沿超洁净流室上下移动，进而磁性...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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